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公开(公告)号：CN113825860B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202080035595.8
申请日：2020-07-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点。本发明提供一种用于对基板的表面进行镀覆的基板保持器，该基板具备能够容易地进行更换的电接点。基板保持器(1)的特征在于，具备：第一保持部件(2)；第二保持部件(3)，具有用于使基板(W)的表面露出的开口部(3a)，与第一保持部件(2)一起夹住并保持基板(W)；多个卡合轴部(36)，在末端部具有膨头状的头部(36b)，沿第二保持部件(3)的周向配置；以及电接点(32)，具有与基板(W)的边缘部抵接的接点部(32a)，且具有与相邻的卡合轴部(36)卡合并沿着第二保持部件(3)的开口部(3a)的周围排列的切口状的卡合承接部(32b)。
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公开(公告)号：CN119631165A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202380056818.2
申请日：2023-06-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明关于一种填充剂涂布装置，该填充剂涂布装置将填充剂涂布于在构成叠层基板的多个基板的边缘部之间形成的空隙。填充剂涂布装置(100)具备：基板保持部(33)，其保持将第一基板(W1)与第二基板(W2)接合而制造的叠层基板(Ws)并使该叠层基板旋转；涂布装置(39)，其与由基板保持部(33)保持的叠层基板(Ws)分离地配置，朝向在第一基板(W1)的周缘部与第二基板(W2)的周缘部之间形成的空隙(G)排出填充剂(F)；以及保护器(12)，其阻止从涂布装置(39)排出的填充剂(F)与空隙(G)碰撞时产生的填充剂(F)的液体飞溅物(Fs)附着于叠层基板(Ws)的上表面及/或下表面。
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公开(公告)号：CN117916859A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202280058888.7
申请日：2022-08-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明关于抑制将多片基板接合而制造的层叠基板的破裂和缺损的基板处理方法，特别是关于将填充剂涂布于构成层叠基板的多片基板的边缘部之间形成的间隙的技术。本基板处理方法包含：将第一填充剂(F1)涂布于第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)之间隙(G)的工序；以及在涂布第一填充剂(F1)后将第二填充剂(F2)涂布于第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)的间隙(G)的工序，第一填充剂(F1)的粘度低于第二填充剂(F2)。
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公开(公告)号：CN110629276B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN201910532201.9
申请日：2019-06-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明减少附着于基板支架的电镀液的量。提供一种构成为保持基板的基板支架。该基板支架具有：第一保持部件；第二保持部件，构成为与上述第一保持部件一起夹住上述基板；密封部件，构成为在上述基板支架的内部形成被密封的空间；销，固定于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的一方；环，设置于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的另一方，与上述销卡合；以及移动机构，构成为使上述环沿周向移动。通过将上述销和上述环相互卡合上述第一保持部件与上述第二保持部件被相互固定。上述销以及上述环设置于上述被密封的空间的内部。
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公开(公告)号：CN114430780A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202080067282.0
申请日：2020-08-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/06 , C25D17/00 , C25D7/00 , C23C18/16 , H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供即便在基板从支承面承受摩擦力等的情况下也能够进行基板的定位的基板支架以及基板处理装置。本发明的基板支架(200)具备：第一保持部件(300)；第二保持部件(500)，其用于与第一保持部件(300)一起夹持基板(W)；3个以上的定位部件(360)，其具有用于与基板(W)的侧端部接触的接触面(342)；第一移动部件(380)，其维持理想轴线(L)与各个定位部件(360)的接触面(376)之间的各距离相等的状态，并具有多个卡合部(384)，该多个卡合部(384)与各个定位部件(360)卡合，使定位部件(360)移动；以及第一施力部件(310)，其对第一移动部件(380)施力，第一移动部件(380)将第一施力部件(310)的作用力传递至各个定位部件(360)，通过传递的作用力以接触面(376)向理想轴线(L)接近的朝向对定位部件(360)施力。
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公开(公告)号：CN113825860A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202080035595.8
申请日：2020-07-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点。本发明提供一种用于对基板的表面进行镀覆的基板保持器，该基板具备能够容易地进行更换的电接点。基板保持器(1)的特征在于，具备：第一保持部件(2)；第二保持部件(3)，具有用于使基板(W)的表面露出的开口部(3a)，与第一保持部件(2)一起夹住并保持基板(W)；多个卡合轴部(36)，在末端部具有膨头状的头部(36b)，沿第二保持部件(2)的周向配置；以及电接点(32)，具有与基板(W)的边缘部抵接的接点部(32d)，且具有与相邻的卡合轴部(36)卡合并沿着第二保持部件(3)的开口部(3a)的周围排列的切口状的卡合承接部(32d)。
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公开(公告)号：CN110629276A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910532201.9
申请日：2019-06-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明减少附着于基板支架的电镀液的量。提供一种构成为保持基板的基板支架。该基板支架具有：第一保持部件；第二保持部件，构成为与上述第一保持部件一起夹住上述基板；密封部件，构成为在上述基板支架的内部形成被密封的空间；销，固定于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的一方；环，设置于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的另一方，与上述销卡合；以及移动机构，构成为使上述环沿周向移动。通过将上述销和上述环相互卡合上述第一保持部件与上述第二保持部件被相互固定。上述销以及上述环设置于上述被密封的空间的内部。
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公开(公告)号：CN111349960B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN201911293312.5
申请日：2019-12-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种通过将液体从基板保持件的密封件除去，从而能够防止液体与电触点的接触的方法。在本方法中，在使基板保持件(24)的密封件(48)以及电触点(50)与基板W接触的状态下，使基板W浸渍于镀覆液，在存在镀覆液的情况下，在基板W与阳极(26)之间施加电压对基板W进行镀覆，将被镀覆的基板W从镀覆液中拉起，使密封件(48)与被镀覆的基板W分离，在被镀覆的基板W与密封件(48)之间的间隙G1形成从基板保持件(24)的内部朝向外部的气流。
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公开(公告)号：CN117836902A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202280057182.9
申请日：2022-08-03
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/02 , B05C5/00 , B05C9/14 , B05C11/10 , B05D1/26 , B05D1/28 , B05D3/00 , B05D7/00 , B05D7/24 , G06N20/00 , H01L21/00 , H01L21/304 , H01L21/66 , H01L27/12
Abstract: 本发明关于抑制将多片基板接合而制成的层叠基板的破裂和缺损的基板处理方法和基板处理装置，特别关于将填充剂涂布于构成层叠基板的多片基板的边缘部之间形成的间隙的技术。在本方法中，测定第一基板(W1)的边缘部(E1)和第二基板(W2)的边缘部(E2)的表面形状，并根据测定结果来决定涂布于层叠基板(Ws)的填充剂(F)的涂布条件，以已决定的涂布条件将填充剂(F)涂布于层叠基板(Ws)的第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)的间隙(G)。
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公开(公告)号：CN115885367A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202180052111.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明关于一种抑制接合多个基板而制造的层叠基板的裂纹和碎裂的基板处理方法。进而，本发明关于一种能够实施这样的基板处理方法的基板处理装置。本方法使将第一基板(W1)与第二基板(W2)接合而制造的层叠基板(Ws)旋转，将具有热固化性的填充剂(F)涂敷至第一基板(W1)的周缘部与第二基板(W2)的周缘部之间的间隙，使该填充剂(F)固化，涂敷填充剂(F)的工序与使填充剂(F)固化的工序在同一个处理室(21)内连续进行。
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