公开(公告)号：CN119631165A

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202380056818.2

申请日：2023-06-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐竹正行 ,  田岛一博

IPC: H01L21/304

Abstract: 本发明关于一种填充剂涂布装置，该填充剂涂布装置将填充剂涂布于在构成叠层基板的多个基板的边缘部之间形成的空隙。填充剂涂布装置(100)具备：基板保持部(33)，其保持将第一基板(W1)与第二基板(W2)接合而制造的叠层基板(Ws)并使该叠层基板旋转；涂布装置(39)，其与由基板保持部(33)保持的叠层基板(Ws)分离地配置，朝向在第一基板(W1)的周缘部与第二基板(W2)的周缘部之间形成的空隙(G)排出填充剂(F)；以及保护器(12)，其阻止从涂布装置(39)排出的填充剂(F)与空隙(G)碰撞时产生的填充剂(F)的液体飞溅物(Fs)附着于叠层基板(Ws)的上表面及/或下表面。

公开(公告)号：CN118176088A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202280067725.5

申请日：2022-10-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 田岛一博 ,  柏木诚 ,  古泽磨奈人

IPC: B24B37/30 ,  B24B37/32 ,  H01L21/683

Abstract: 无论基板的被吸附面的平坦度如何都能可靠地吸附基板。基板吸附构件(330)包含：多孔质构件(334)，具有用于吸附基板(WF)的基板吸附面(334a)和与减压装置连通的减压部(334b)；遮蔽构件(332)，具有第一遮蔽构件(332‑1)和框状的第二遮蔽构件(332‑2)，该第一遮蔽构件遮蔽多孔质构件(334)中与基板吸附面(334a)为相反侧的面(334c)，该第二遮蔽构件遮蔽多孔质构件(334)的侧面(334d)的至少一部分；及框状的弹性密封构件(336)，以将多孔质构件(334)包围的方式安装于第二遮蔽构件(332‑2)，并具有与基板(WF)接触的接触面(336a)。