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公开(公告)号：CN118664515A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410299657.6
申请日：2024-03-15
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B53/017 , B24B37/10
Abstract: 提供一种液体供给装置和研磨装置，该液体供给装置具备：能够在研磨台的上方水平地摆动的摆动臂；和沿着所述摆动臂的长边方向排列设置，并向所述研磨台上喷射清洗流体的多个喷射喷嘴，所述多个喷射喷嘴分别具有狭缝状的流体出口，并且被定向为，在俯视下越是靠近所述摆动臂的顶端的喷射喷嘴的流体出口，相对于所述摆动臂的长边方向的倾斜角度就越大。
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