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发明公开
气体溶解液供给装置和使用该气体溶解液供给装置执行的方法审中-公开

公开(公告)号：CN117643807A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202311123205.4

申请日：2023-09-01

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 , 荒木裕二 , 中川洋一 , 渡边敏史 , 木村梨沙 , 加藤龙汰

IPC: B01F23/23 , H01L21/67 , B01D19/00

Abstract: 提供一种即使提供至使用点的气体溶解液为高浓度，也能够抑制在使用点处使用时产生气泡的气体溶解液供给装置和使用该气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：使原料气体溶解于原料液体而生成第一气体溶解液的气体溶解部(4)；供生成的第一气体溶解液贮留，并且生成从第一气体溶解液气液分离出的第二气体溶解液的第一气液分离器(10)；对通过第一气液分离器(10)生成的第二气体溶解液进行减压的减压器(17)；以及供减压后的第二气体溶解液贮留，并且生成从第二气体溶解液气液分离出的第三气体溶解液的第二气液分离器(12)。向使用点供给第三气体溶解液。

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