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公开(公告)号：CN114272776A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111158227.5
申请日：2021-09-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动的气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：积存气体溶解液的第一气液分离器(8)、设置于第一气液分离器的后段并积存向使用点供给的气体溶解液的第二气液分离器(16)、设置于第一气液分离器和第二气液分离器之间的中间线路(17)、设置于中间线路并使从第一气液分离器向第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升的升压泵(18)、供给成为气体溶解液的原料的气体的气体供给线路(2)、设置于中间线路并使从气体供给线路供给的气体溶解于从第一气液分离器供给的气体溶解液的气体溶解部(20)。
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公开(公告)号：CN112585303B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201980054296.6
申请日：2019-07-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及一种使用有不溶性阳极的基板的镀覆中使用的氧化铜固体物质。进而，本发明涉及一种制造该氧化铜固体物质的方法。进而，本发明涉及一种用于将溶解有氧化铜固体物质的镀覆液供给至镀覆槽的装置。供给至基板(W)的镀覆用镀覆液的氧化铜固体物质(CS)包含氧化铜粉体和作为将氧化铜粉体固体化的粘合剂的液体。
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公开(公告)号：CN112585303A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201980054296.6
申请日：2019-07-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及一种使用有不溶性阳极的基板的镀覆中使用的氧化铜固体物质。进而，本发明涉及一种制造该氧化铜固体物质的方法。进而，本发明涉及一种用于将溶解有氧化铜固体物质的镀覆液供给至镀覆槽的装置。供给至基板(W)的镀覆用镀覆液的氧化铜固体物质(CS)包含氧化铜粉体和作为将氧化铜粉体固体化的粘合剂的液体。
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公开(公告)号：CN110219038A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910153504.X
申请日：2019-02-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本申请提供一种搅拌器、镀覆装置及镀覆方法，通过搅拌镀覆液的搅拌器，提高面内均匀性。根据一个实施方式，提供一种用于对具有非图案区域的基板进行电镀的镀覆装置，所述镀覆装置具有：用于保持镀覆液的镀覆槽；以与电源的正极连接的方式构成的阳极；和为了对保持在上述镀覆槽内的镀覆液进行搅拌而能够在上述镀覆槽内运动的搅拌器，上述搅拌器构成为在搅拌镀覆液时，从上述阳极观察而基板的非图案区域的至少一部分始终被遮蔽。
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公开(公告)号：CN117643807A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311123205.4
申请日：2023-09-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种即使提供至使用点的气体溶解液为高浓度，也能够抑制在使用点处使用时产生气泡的气体溶解液供给装置和使用该气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：使原料气体溶解于原料液体而生成第一气体溶解液的气体溶解部(4)；供生成的第一气体溶解液贮留，并且生成从第一气体溶解液气液分离出的第二气体溶解液的第一气液分离器(10)；对通过第一气液分离器(10)生成的第二气体溶解液进行减压的减压器(17)；以及供减压后的第二气体溶解液贮留，并且生成从第二气体溶解液气液分离出的第三气体溶解液的第二气液分离器(12)。向使用点供给第三气体溶解液。
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公开(公告)号：CN110219038B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201910153504.X
申请日：2019-02-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本申请提供一种搅拌器、镀覆装置及镀覆方法，通过搅拌镀覆液的搅拌器，提高面内均匀性。根据一个实施方式，提供一种用于对具有非图案区域的基板进行电镀的镀覆装置，所述镀覆装置具有：用于保持镀覆液的镀覆槽；以与电源的正极连接的方式构成的阳极；和为了对保持在上述镀覆槽内的镀覆液进行搅拌而能够在上述镀覆槽内运动的搅拌器，上述搅拌器构成为在搅拌镀覆液时，从上述阳极观察而基板的非图案区域的至少一部分始终被遮蔽。
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