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公开(公告)号：CN119526260A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411183298.4
申请日：2024-08-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/10 , B24B37/04 , B24B37/34 , B24B27/00 , B24B37/005
Abstract: 适当或容易地判定用于基板研磨处理的基板保持装置中的弹性膜的状态的信息处理装置、基板处理装置及信息处理方法。信息处理装置具备：信息获取部，该信息获取部获取包含表示基板的研磨处理的状态的研磨处理信息和表示基板的输送处理的状态的输送处理信息的装置动作信息作为基板处理装置动作时的动作状态；以及状态判定部，该状态判定部向通过机器学习而学习了所述装置动作信息与弹性膜状态信息的相关关系的学习模型输入由所述信息获取部获取的所述装置动作信息，从而判定相对于该装置动作信息的所述弹性膜状态信息，该弹性膜状态信息表示进行了所述装置动作信息所示的所述研磨处理和/或所述输送处理时的顶环中的弹性膜的状态。
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