公开(公告)号：CN106457511A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580024470.4

申请日：2015-05-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 末政秀一 ,  篠崎弘行 ,  小林裕

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/20 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明揭示一种用于更换使用于研磨晶片等基板的研磨装置的研磨台的装置。研磨台更换装置(10)是用于从研磨装置(1)取出研磨台(3)的装置。该研磨台更换装置(10)具备：使研磨台(12)；放置研磨台(3)的台座(14)；及使台座(14)相对于水平方向倾斜的台座倾斜移动机构(15)。(3)在铅直方向上及水平方向上移动的起重机

公开(公告)号：CN106457511B

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201580024470.4

申请日：2015-05-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 末政秀一 ,  篠崎弘行 ,  小林裕

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/20 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明揭示一种用于更换使用于研磨晶片等基板的研磨装置的研磨台的装置。研磨台更换装置(10)是用于从研磨装置(1)取出研磨台(3)的装置。该研磨台更换装置(10)具备：使研磨台(3)在铅直方向上及水平方向上移动的起重机(12)；放置研磨台(3)的台座(14)；及使台座(14)相对于水平方向倾斜的台座倾斜移动机构(15)。