公开(公告)号：CN101414132A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200810166610.3

申请日：2008-10-15

Applicant: 株式会社迅动

Inventor： 春本将彦 ,  山口晃 ,  久井章博 ,  杉山念 ,  黑田拓也

IPC: G03F7/30

CPC classification number: G03F7/30 ,  B05D1/005 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/3021 ,  H01L21/6715

Abstract: 一种显影装置，具有：旋转卡盘，其用于保持基板，而且所保持的所述基板能够自由旋转；显影液喷嘴，其形成有排成一列的喷出显影液的多个喷出口，并且使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着到基板上；水平移动机构，在俯视观察时，其将喷出口的排列方向保持在朝向基板中心的一个方向，同时沿该一个方向移动显影液喷嘴，从而在俯视观察时于基板的大致中心和周边缘之间移动显影液喷嘴；控制部，其控制旋转卡盘和水平移动机构，使显影液分别以螺旋状从各喷出口附着到基板上，从而对基板进行显影。

公开(公告)号：CN101414132B

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN200810166610.3

申请日：2008-10-15

Applicant: 株式会社迅动

Inventor： 春本将彦 ,  山口晃 ,  久井章博 ,  杉山念 ,  黑田拓也

IPC: G03F7/30

CPC classification number: G03F7/30 ,  B05D1/005 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/3021 ,  H01L21/6715

Abstract: 一种显影装置，具有：旋转卡盘，其用于保持基板，而且所保持的所述基板能够自由旋转；显影液喷嘴，其形成有排成一列的喷出显影液的多个喷出口，并且使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着到基板上；水平移动机构，在俯视观察时，其将喷出口的排列方向保持在朝向基板中心的一个方向，同时沿该一个方向移动显影液喷嘴，从而在俯视观察时于基板的大致中心和周边缘之间移动显影液喷嘴；控制部，其控制旋转卡盘和水平移动机构，使显影液分别以螺旋状从各喷出口附着到基板上，从而对基板进行显影。