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公开(公告)号：CN101315524A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200810108859.9
申请日：2008-05-29
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置，不用将基板的预备位置决定机构设置于搬入台、曝光台，却可在搬运至曝光台之前进行基板的预备位置决定，且销的设置位置调整也简化作为课题。基板搬运装置包括：预备位置决定机构(2)，押动上述搬入台(30)上的基板(W)的端面，进行预备位置决定；以及搬运机构(20)，将此预备位置决定机构藉由支持本体(12)支持，且将预备位置决定完成的基板吸着保持而搬运至上述曝光台(40)；其中上述预备位置决定机构系，具有被支持在上述支持本体的驱动装置(6)、以及藉由此驱动装置驱动而押动上述基板的端面的押动装置(3)；上述驱动装置系，具有圆筒形的磁性轴体(7)、使此磁性轴体在轴周围转动的转动装置(8)、以及与藉由此转动装置转动的磁性轴体的周面相对而设置的直线状的第一纵长磁性体(9A)和第二纵长磁性体(9B)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101470357A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810185297.8
申请日：2008-12-25
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种不需要复杂的结构就能够一边使粘着辊与转印辊接触一边对掩模表面和载物台表面或者工件表面同时进行除尘的曝光装置。对于各曝光部(2、4)内的清洁单元(12)，使粘着辊(57、57)突出并旋转自如地枢轴支承在分别与掩模(10)和载物台(8)对置的一侧。这两个粘着辊(57、57)的外周面和平行于该粘着辊地枢轴支承的大径转印辊(58)的外周面彼此接触。进而，Y－Z载物台(40)使粘着辊(57)与掩模(10)接触并对该掩模(10)的表面进行除尘，使粘着辊(57)与载物台(8)的上表面接触并对该载物台(8)的上表面进行除尘。另外，反转装置(9)使吸附基座(30)以旋转轴为中心进行旋转，吸附基座(30)越过水平方向停止在倾斜的位置，在利用清洁单元(13)对工件(W)的表面进行除尘之后，使所述吸附基座(30)朝向水平方向。
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公开(公告)号：CN119472159A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410213729.0
申请日：2024-02-27
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供中间掩模检查装置和投影曝光装置。在检查矩形的中间掩模的异物的情况下，抑制或者防止无法检查范围。一种中间掩模检查装置，其具有：照明部，其向矩形的中间掩模照射光；拍摄部，其拍摄中间掩模；以及检查部，其通过检查拍摄到的图像来检测异物，其中，照明部以中间掩模的检查面的整个面作为光的照射范围，拍摄部以检查面的整个面作为视野范围。
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公开(公告)号：CN101470357B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200810185297.8
申请日：2008-12-25
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种不需要复杂的结构就能够一边使粘着辊与转印辊接触一边对掩模表面和载物台表面或者工件表面同时进行除尘的曝光装置。对于各曝光部(2、4)内的清洁单元(12)，使粘着辊(57、57)突出并旋转自如地枢轴支承在分别与掩模(10)和载物台(8)对置的一侧。这两个粘着辊(57、57)的外周面和平行于该粘着辊地枢轴支承的大径转印辊(58)的外周面彼此接触。进而，Y-Z载物台(40)使粘着辊(57)与掩模(10)接触并对该掩模(10)的表面进行除尘，使粘着辊(57)与载物台(8)的上表面接触并对该载物台(8)的上表面进行除尘。另外，反转装置(9)使吸附基座(30)以旋转轴为中心进行旋转，吸附基座(30)越过水平方向停止在倾斜的位置，在利用清洁单元(13)对工件(W)的表面进行除尘之后，使所述吸附基座(30)朝向水平方向。
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公开(公告)号：CN101315524B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200810108859.9
申请日：2008-05-29
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置，不用将基板的预备位置决定机构设置于搬入台、曝光台，却可在搬运至曝光台之前进行基板的预备位置决定，且销的设置位置调整也简化作为课题。基板搬运装置包括：预备位置决定机构(2)，押动上述搬入台(30)上的基板(W)的端面，进行预备位置决定；以及搬运机构(20)，将此预备位置决定机构藉由支持本体(12)支持，且将预备位置决定完成的基板吸着保持而搬运至上述曝光台(40)；其中上述预备位置决定机构系，具有被支持在上述支持本体的驱动装置(6)、以及藉由此驱动装置驱动而押动上述基板的端面的押动装置(3)；上述驱动装置系，具有圆筒形的磁性轴体(7)、使此磁性轴体在轴周围转动的转动装置(8)、以及与藉由此转动装置转动的磁性轴体的周面相对而设置的直线状的第一纵长磁性体(9A)和第二纵长磁性体(9B)。
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公开(公告)号：CN300952166D
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200830129204.0
申请日：2008-06-04
Applicant: 株式会社ORC制作所
Designer： 石田肇
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