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公开(公告)号：CN103038855B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201180037664.X
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明提供了一种用于使用永久磁铁有效地绘制微细图案的装置。所述装置具有：外筒（201），其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁（202），其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈（204），其位于所述圆筒形永久磁铁的内部，并且与所述筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路（203），其位于所述筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流过其中并且控制在所述筒形永久磁铁中的温度变化。
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公开(公告)号：CN103392216B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201180068539.5
申请日：2011-02-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J1/13 , H01J1/26 , H01J1/304 , H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01J29/485 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/148 , H01J1/26 , H01J37/065 , H01J37/07 , H01J37/075 , H01J37/26 , H01J37/3174
Abstract: 本发明涉及一种电子枪及电子束装置。电子枪阴极(104）为柱状，且通过被加热而放射电子。设置有如下的保持件(103)，所述保持件(103)覆盖该电子枪阴极的底面及侧面并对电子枪阴极进行保持，并且由具有导电性且在被加热了的状态下难以与所述电子枪阴极发生反应的材料而构成。电子枪阴极(104）的顶端部露出且从保持件(103）突出，通过向顶端部施加电场而从所述顶端部朝向前方放射电子。
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公开(公告)号：CN103858211B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201280048943.0
申请日：2012-09-27
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01L21/027 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/147 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/045 , H01J37/3007 , H01J37/3026 , H01J37/3177 , H01J2237/0437 , H01J2237/31762 , H01J2237/31764 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明形成间隔为波束尺寸整数倍的二维平面内的正方形格栅矩阵波束群，通过位映像信号打开/关闭待光刻的元件的网格，修整希望的波束形状，将波束偏向于需要位置，波束状态稳定后，打开全体遮光器，通过照射波束而获得高精度且高速的光刻图案。提供给各波束的打开/关闭信号和向量扫描信号，在波束稳定后，解除全体遮光器，并且从而以少数数据量进行高精度、高速的光刻。当全体拍摄数量超过一定值时，修改图案数据并且实现高速光刻。半导体反偏压PN结技术被优选地用于个别遮光电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103858211A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280048943.0
申请日：2012-09-27
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01L21/027 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/147 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/045 , H01J37/3007 , H01J37/3026 , H01J37/3177 , H01J2237/0437 , H01J2237/31762 , H01J2237/31764 , H01J2237/31774 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明形成间隔为波束尺寸整数倍的二维平面内的正方形格栅矩阵波束群，通过位映像信号打开/关闭待光刻的元件的网格，修整希望的波束形状，将波束偏向于需要位置，波束状态稳定后，打开全体遮光器，通过照射波束而获得高精度且高速的光刻图案。提供给各波束的打开/关闭信号和向量扫描信号，在波束稳定后，解除全体遮光器，并且从而以少数数据量进行高精度、高速的光刻。当全体拍摄数量超过一定值时，修改图案数据并且实现高速光刻。半导体反偏压PN结技术被优选地用于个别遮光电极。
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公开(公告)号：CN103392216A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201180068539.5
申请日：2011-02-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J1/13 , H01J1/26 , H01J1/304 , H01J37/06 , H01L21/027
CPC classification number: H01J29/485 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/148 , H01J1/26 , H01J37/065 , H01J37/07 , H01J37/075 , H01J37/26 , H01J37/3174
Abstract: 本发明涉及一种电子枪及电子束装置。电子枪阴极(104）为柱状，且通过被加热而放射电子。设置有如下的保持件(103)，所述保持件(103)覆盖该电子枪阴极的底面及侧面并对电子枪阴极进行保持，并且由具有导电性且在被加热了的状态下难以与所述电子枪阴极发生反应的材料而构成。电子枪阴极(104）的顶端部露出且从保持件(103）突出，通过向顶端部施加电场而从所述顶端部朝向前方放射电子。
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公开(公告)号：CN113678224B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202080017998.X
申请日：2020-07-13
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01J29/48
Abstract: 电子枪装置在真空中加热至高温而发射电子线。发射电子线的材料(108、125)的表面为高温工作时融解为液体的氢化金属，液体的氢化金属，作为氢化后的液体金属或未氢化的液体金属容纳于在高温工作时为固体的中空的套管容器(102、124)，与套管容器(102、124)一同加热至高温，氢化后的液体金属从套管容器(102、124)露出，形成重力、电场以及液面的表面张力相互平衡的液面，从该露出的氢化后的液体金属表面发射电子线。
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公开(公告)号：CN113678224A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202080017998.X
申请日：2020-07-13
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01J29/48
Abstract: 电子枪装置在真空中加热至高温而发射电子线。发射电子线的材料(108、125)的表面为高温工作时融解为液体的氢化金属，液体的氢化金属，作为氢化后的液体金属或未氢化的液体金属容纳于在高温工作时为固体的中空的套管容器(102、124)，与套管容器(102、124)一同加热至高温，氢化后的液体金属从套管容器(102、124)露出，形成重力、电场以及液面的表面张力相互平衡的液面，从该露出的氢化后的液体金属表面发射电子线。
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公开(公告)号：CN103038855A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201180037664.X
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明提供了一种用于使用永久磁铁有效地绘制微细图案的装置。所述装置具有：外筒（201），其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁（202），其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈（204），其位于所述圆筒形永久磁铁的内部，并且与所述筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路（203），其位于所述筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流过其中并且控制在所述筒形永久磁铁中的温度变化。
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