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公开(公告)号：CN103529048B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310269100.X
申请日：2013-06-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/89
CPC classification number: H05K13/0815 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。基板检查装置具有：搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板；照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板；移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置。在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成，能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。
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公开(公告)号：CN101034070B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200710086202.2
申请日：2007-03-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N21/9515 , G01N21/8851
Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中，固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2，并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中，为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势，进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时，以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。
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公开(公告)号：CN101034070A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710086202.2
申请日：2007-03-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N21/9515 , G01N21/8851
Abstract: 本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中，固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2，并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中，为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势，进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时，以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1746667A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510099500.6
申请日：2005-09-06
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/956 , G06K9/03
Abstract: 本发明提供一种基板检查方法以及基板检查装置，以高精度进行对被检查部位的检查区域的设定，提高检查的精度。针对检查对象的基板，预先作成全体图像(103)，预先使检查区域(31)与该全体图像(103)上的被检查部位建立对应。检查时，将照相机(3A)定位于与拍摄对象区域(30)对应的位置上而进行拍摄，获取处理对象图像(40)时，在全体图像(103)上提取与该处理对象图像(40)对应的区域(41)，计算出相对于该区域(41)的拍摄对象区域(30)的偏差量(Δx、Δy)。另外，使用偏差量(Δx、Δy)修正检查区域(31)的设定位置，根据该修正后的坐标，在处理对象图像(40)上设定检查区域。
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公开(公告)号：CN103529048A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310269100.X
申请日：2013-06-28
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/89
CPC classification number: H05K13/0815 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种上游装置和下游装置的连接容易且能够实现检查节拍的最优化的基板检查装置。基板检查装置具有：搬运单元，其从装置的上游侧向下游侧搬运基板；照相机，其用于拍摄上述搬运单元上的基板；移动机构，其使上述照相机移动至上述基板上的拍摄位置。在将基板的搬运方向设为X方向且将在水平面内与X方向垂直的方向设为Y方向的情况下，上述搬运单元沿着Y方向排列配置，且由分别能够独立搬运基板的多条搬运路形成，能够变更上述多条搬运路的各Y方向位置。
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公开(公告)号：CN100533132C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200510099500.6
申请日：2005-09-06
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/956 , G06K9/03
Abstract: 本发明提供一种基板检查方法以及基板检查装置，以高精度进行对被检查部位的检查区域的设定，提高检查的精度。针对检查对象的基板，预先作成全体图像(103)，预先使检查区域(31)与该全体图像(103)上的被检查部位建立对应。检查时，将照相机(3A)定位于与拍摄对象区域(30)对应的位置上而进行拍摄，获取处理对象图像(40)时，在全体图像(103)上提取与该处理对象图像(40)对应的区域(41)，计算出相对于该区域(41)的拍摄对象区域(30)的偏差量(Δx、Δy)。另外，使用偏差量(Δx、Δy)修正检查区域(31)的设定位置，根据该修正后的坐标，在处理对象图像(40)上设定检查区域。
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