公开(公告)号：CN113376828B

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202110691198.2

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G02B26/08 ,  G02B27/14 ,  G02B7/182 ,  G01J3/453 ,  G01J3/45 ,  G01J3/14 ,  G01J3/10 ,  G01J3/06 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02015 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN113375797A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110691714.1

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/10 ,  G01J3/14 ,  G01J3/45 ,  G01J3/453 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08 ,  G02B27/14 ,  G01B9/02 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN110799881B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN201880040989.5

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G02B26/00 ,  G01B9/02 ,  G01J3/45

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路的一部分的光透射部(14)。光透射部(14)是对分束器组件(3)与可动反射镜(22)间的光路和分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路之间产生的光程差进行修正的部分。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN113376828A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110691198.2

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G02B26/08 ,  G02B27/14 ,  G02B7/182 ,  G01J3/453 ,  G01J3/45 ,  G01J3/14 ,  G01J3/10 ,  G01J3/06 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN110799881A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201880040989.5

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G02B26/00 ,  G01B9/02 ,  G01J3/45

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路的一部分的光透射部(14)。光透射部(14)是对分束器组件(3)与可动反射镜(22)间的光路和分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路之间产生的光程差进行修正的部分。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN113375797B

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202110691714.1

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/10 ,  G01J3/14 ,  G01J3/45 ,  G01J3/453 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08 ,  G02B27/14 ,  G01B9/02001 ,  G01B9/02055 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN111630645B

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN201880087178.0

申请日：2018-11-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 高木慎一郎 ,  米田康人 ,  村松雅治 ,  井上直 ,  山本宙和 ,  中田慎一 ,  小山卓雄

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L27/146

Abstract: 本发明提供一种半导体装置，其具备：支承体，其具有安装区域；半导体芯片，其经由规定距离配置于安装区域上；凸块，其配置于支承体与半导体芯片之间；壁部，其以沿半导体芯片的外缘的一部分的方式配置于支承体与半导体芯片之间；及底部填充树脂层，其配置于支承体与半导体芯片之间；底部填充树脂层覆盖壁部的外侧的侧面。

公开(公告)号：CN111630645A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201880087178.0

申请日：2018-11-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 高木慎一郎 ,  米田康人 ,  村松雅治 ,  井上直 ,  山本宙和 ,  中田慎一 ,  小山卓雄

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18 ,  H01L27/146

Abstract: 本发明提供一种半导体装置，其具备：支承体，其具有安装区域；半导体芯片，其经由规定距离配置于安装区域上；凸块，其配置于支承体与半导体芯片之间；壁部，其以沿半导体芯片的外缘的一部分的方式配置于支承体与半导体芯片之间；及底部填充树脂层，其配置于支承体与半导体芯片之间；底部填充树脂层覆盖壁部的外侧的侧面。

公开(公告)号：CN113376827B

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202110691193.X

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G02B26/08 ,  G02B27/14 ,  G02B7/182 ,  G01J3/453 ,  G01J3/45 ,  G01J3/14 ,  G01J3/10 ,  G01J3/06 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02055 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

公开(公告)号：CN113376827A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110691193.X

申请日：2018-07-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  藏本丰 ,  柴山胜己 ,  细川畅郎 ,  山本宙和 ,  小山卓雄

IPC: G02B26/08 ,  G02B27/14 ,  G02B7/182 ,  G01J3/453 ,  G01J3/45 ,  G01J3/14 ,  G01J3/10 ,  G01J3/06 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。