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公开(公告)号：CN101609265B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200910088892.4
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台多台交换系统包括基台、硅片台组和硅片台驱动装置，所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面电机，磁悬浮平面电机的定子设置在基台顶部，平面电机的动子设置在硅片台底部。本发明给出了该硅片台多台交换系统的一个采用动圈式永磁磁悬浮平面电机的具体实例。实例中，平面电机的定子采用了相邻永磁体充磁方向互成45°角的新型平面永磁阵列。该硅片台多台交换系统通过平面电机直接驱动硅片台实现平面上的多台交换和步进扫描运动，提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。
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公开(公告)号：CN101610054A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910088893.9
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
IPC: H02N15/00
CPC classification number: H02K41/03 , H02K2201/18
Abstract: 采用三维永磁阵列的平面电机，该平面电机包括动子和定子。所述动子采用三维永磁阵列，该三维永磁阵列由上底面分别为S极和N极的S型和N型正四棱台大永磁体以及小永磁体组成，所述S型和N型大永磁体都沿各自的上下两底面中心连线方向充磁，小永磁体由底面为等腰三角形的直三棱柱在上下底面处对称截去一个四棱锥得到，充磁方向平行于底面等腰三角形的底边方向，S型和N型大永磁体下底面朝下，且沿X方向和Y方向交错排列成平面阵列；小永磁体布置在相邻两个大永磁体之间，且小永磁体充磁方向由N型大永磁体的N极指向相邻的S型大永磁体的S极。该动子能在气隙产生更高的场强质量比，从而提高平面电机的推力和加速度。
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公开(公告)号：CN103956880A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 陈安林 , 支凡 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02K41/03
Abstract: 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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公开(公告)号：CN101610022B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910088894.3
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
IPC: H02K33/18
CPC classification number: H02K41/03 , H02K2201/18
Abstract: 一种采用槽型线圈的平面电机，主要应用于机械制造设备与机器人领域。该平面电机包括动子和定子，所述动子由四个一维线圈阵列组成，相邻线圈阵列的排列方向互成90°，每个一维线圈阵列由无铁芯矩形线圈和矩形两短边上翘成槽型的无铁芯槽型线圈交错排列而成，每个矩形线圈的两条长边之间嵌入一个相邻槽型线圈的长边，或每个矩形线圈的两条长边之间嵌入左右两个相邻槽型线圈的一条长边，且两种线圈的长边都布置在同一平面上；所述定子由永磁阵列组成。与矩形无铁芯线圈组成的线圈阵列相比，该线圈阵列在永磁阵列的周期磁场中能产生更大的推力，从而提高平面电机的推力和加速度。
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公开(公告)号：CN101610054B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910088893.9
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
IPC: H02N15/00
CPC classification number: H02K41/03 , H02K2201/18
Abstract: 采用三维永磁阵列的平面电机，该平面电机包括动子和定子。所述动子采用三维永磁阵列，该三维永磁阵列由上底面分别为S极和N极的S型和N型正四棱台大永磁体以及小永磁体组成，所述S型和N型大永磁体都沿各自的上下两底面中心连线方向充磁，小永磁体由底面为等腰三角形的直三棱柱在上下底面处对称截去一个四棱锥得到，充磁方向平行于底面等腰三角形的底边方向，S型和N型大永磁体下底面朝下，且沿X方向和Y方向交错排列成平面阵列；小永磁体布置在相邻两个大永磁体之间，且小永磁体充磁方向由N型大永磁体的N极指向相邻的S型大永磁体的S极。该动子能在气隙产生更高的场强质量比，从而提高平面电机的推力和加速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101610022A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910088894.3
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
IPC: H02K33/18
CPC classification number: H02K41/03 , H02K2201/18
Abstract: 一种采用槽型线圈的平面电机，主要应用于机械制造设备与机器人领域。该平面电机包括动子和定子，所述动子由四个一维线圈阵列组成，相邻线圈阵列的排列方向互成90°，每个一维线圈阵列由无铁芯矩形线圈和矩形两短边上翘成槽型的无铁芯槽型线圈交错排列而成，每个矩形线圈的两条长边之间嵌入一个相邻槽型线圈的长边，或每个矩形线圈的两条长边之间嵌入左右两个相邻槽型线圈的一条长边，且两种线圈的长边都布置在同一平面上；所述定子由永磁阵列组成。与矩形无铁芯线圈组成的线圈阵列相比，该线圈阵列在永磁阵列的周期磁场中能产生更大的推力，从而提高平面电机的推力和加速度。
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公开(公告)号：CN103956880B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 陈安林 , 支凡 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02K41/03
Abstract: 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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公开(公告)号：CN103973074B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410222779.1
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 朱煜 , 张鸣 , 陈安林 , 支凡 , 成荣 , 杨开明 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华 , 胡金春 , 刘召
IPC: H02K41/02
Abstract: 一种动铁式直线电机单盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极。线圈阵列中的线圈通过导线与线圈电极相连，驱动器通过导线与驱动器电极相连。线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同线圈的供电。本发明实现了动铁式直线电机线圈的每一相单独切换，降低了发热并减少了驱动器数量，结构简单，不需要复杂的控制，解决了漏电流和电子切换时间延迟等问题。
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公开(公告)号：CN103973074A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410222779.1
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 朱煜 , 张鸣 , 陈安林 , 支凡 , 成荣 , 杨开明 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华 , 胡金春 , 刘召
IPC: H02K41/02
Abstract: 一种动铁式直线电机单盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极。线圈阵列中的线圈通过导线与线圈电极相连，驱动器通过导线与驱动器电极相连。线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同线圈的供电。本发明实现了动铁式直线电机线圈的每一相单独切换，降低了发热并减少了驱动器数量，结构简单，不需要复杂的控制，解决了漏电流和电子切换时间延迟等问题。
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公开(公告)号：CN101609265A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910088892.4
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台多台交换系统包括基台、硅片台组和硅片台驱动装置，所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面电机，磁悬浮平面电机的定子设置在基台顶部，平面电机的动子设置在硅片台底部。本发明给出了该硅片台多台交换系统的一个采用动圈式永磁磁悬浮平面电机的具体实例。实例中，平面电机的定子采用了相邻永磁体充磁方向互成45°角的新型平面永磁阵列。该硅片台多台交换系统通过平面电机直接驱动硅片台实现平面上的多台交换和步进扫描运动，提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。
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