公开(公告)号：CN106098519A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610096405.9

申请日：2016-02-22

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  濑山雅裕 ,  那须野秀树

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3045 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2025 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31766 ,  H01J2237/31774 ,  H01J37/3174

Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。

公开(公告)号：CN106098519B

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201610096405.9

申请日：2016-02-22

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  濑山雅裕 ,  那须野秀树

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3045 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2025 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31766 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。