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公开(公告)号：CN102299037B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110172913.8
申请日：2011-06-24
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/09 , H01J2237/043 , H01J2237/223 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802
Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。
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公开(公告)号：CN104272425A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380022774.8
申请日：2013-04-25
Applicant: 阿卡姆股份有限公司
IPC: H01J37/077 , B29C67/00
CPC classification number: H01J29/52 , B29C64/153 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , H01J37/077 , H01J37/305 , H01J37/3178 , H01J2237/043 , H01J2237/3128 , H01J2237/31732
Abstract: 本发明涉及一种等离子体电子源装置(150)。所述装置包含阴极放电室(100)，在阴极放电室(100)中产生等离子体；提供在所述阴极放电室中的出口孔(120)，通过提供在所述阴极放电室(100)与阳极(104)之间的加速场从出口孔(120)并从所述等离子体(107)中提取电子；至少一个等离子体约束设备(例如，电磁线圈103)；以及切换机构(190)，其用于在允许从所述等离子体中提取电子的第一值与阻止从所述等离子体中提取电子的第二值之间切换所述至少一个等离子体约束设备。也提供了关联方法，特别是使用所述装置(150)的方法，所述装置(150)用于通过连续熔合提供在工作台上的粉床的至少一个层的部分而形成三维物品。
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公开(公告)号：CN102299037A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110172913.8
申请日：2011-06-24
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/09 , H01J2237/043 , H01J2237/223 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802
Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。
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公开(公告)号：CN103050361B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210543969.4
申请日：2012-10-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/045 , H01J37/1472 , H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/15 , H01J2237/2487 , H01J2237/2602
Abstract: 一种运行粒子束系统的方法，其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间；确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间；产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令，以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间；按照命令时间将数据结构的记录分类；基于数据结构，产生一组数字命令；以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。
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公开(公告)号：CN106098519A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610096405.9
申请日：2016-02-22
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3045 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/043 , H01J2237/0435 , H01J2237/15 , H01J2237/2025 , H01J2237/20285 , H01J2237/30455 , H01J2237/31766 , H01J2237/31774 , H01J37/3174
Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101443877A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200680054644.2
申请日：2006-03-27
Applicant: 多束系统公司 , 东京毅力科创株式会社
Inventor： N·W·帕克
IPC: H01J37/302
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J2237/043 , H01J2237/045 , H01J2237/049 , H01J2237/10 , H01J2237/30472 , H01J2237/30477 , H01J2237/31754 , H01J2237/31761 , H01J2237/31776 , H01J2237/31793
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子射束平版印刷系统和/或方法，包括用于无需多个射束成形孔就可生成高电流密度成形射束(222)的构图射束定义孔(212)、用于将带电粒子束(222)聚焦到晶片(221)上的透镜(205、216)，及用于无需电子源(201)与晶片(221)之间的中间跨接结构就可以偏转带电粒子束(222)的消隐偏转器(277、278)。
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公开(公告)号：CN1271461A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：CN98807852.X
申请日：1998-07-15
Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174 , H01J2237/043 , H01J2237/30488 , H01J2237/30494 , H01J2237/31769
Abstract: 一种通过电子束在衬底(13)表面上写图形如在抗蚀剂涂敷的晶片上写电路的方法,包括以下步骤:将衬底表面暴露到电子束(12),通过表面上束的聚焦点的步进移动,可控地逐渐绘制图形,在连续步进移动期间,例如通过将偏转板(17)偏转到消除元件(16)和从消除元件(16)上移回,选择性地调节束,从而改变束对表面的曝光,以减小表面上束点的预定位置中的电子剂量。
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公开(公告)号：CN107039225A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710276773.6
申请日：2017-04-25
Applicant: 上海新傲科技股份有限公司
IPC: H01J37/04 , H01J37/302 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/045 , H01J37/3023 , H01J2237/0206 , H01J2237/043 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。
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公开(公告)号：CN102737937B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210099031.8
申请日：2012-04-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/302 , H01J2237/0203 , H01J2237/043 , H01J2237/065 , H01J2237/22 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/24507 , H01J2237/26 , H01J2237/262 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及在带电粒子射束设备中保护辐射检测器的方法。本发明涉及一种在TEM中保护直接电子检测器（151）的方法。本发明包括在设置新的射束参数诸如改变聚光透镜（104）、投影器透镜（106）和/或射束能量的激发之前预测检测器上的电流密度。该预测是使用光学模型或者查表实现的。当预测的检测器暴露小于预定数值时，实现所期改变，否则产生警告消息并且推迟设置的改变。
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公开(公告)号：CN102737937A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210099031.8
申请日：2012-04-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/302 , H01J2237/0203 , H01J2237/043 , H01J2237/065 , H01J2237/22 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/24507 , H01J2237/26 , H01J2237/262 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及在带电粒子射束设备中保护辐射检测器的方法。本发明涉及一种在TEM中保护直接电子检测器（151）的方法。本发明包括在设置新的射束参数诸如改变聚光透镜（104）、投影器透镜（106）和/或射束能量的激发之前预测检测器上的电流密度。该预测是使用光学模型或者查表实现的。当预测的检测器暴露小于预定数值时，实现所期改变，否则产生警告消息并且推迟设置的改变。
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