一种氧化岛反谐振波导垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118508230A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410654886.5

    申请日:2024-05-24

    Abstract: 本发明公开了一种氧化岛反谐振波导垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用,涉及半导体技术领域,解决了现有的保证输出功率的基横模垂直腔面发射激光器的制备方法复杂、出光功率较小、成本高且对精度要求较高,不利于广泛应用的问题。激光器自上而下包括,第一电极、P型布拉格反射镜、第一氧化层、第一有源区、隧道结、第二氧化层、第二有源区、N型布拉格反射镜、衬底、第二电极,P型布拉格反射镜的第二对以及第九对p‑DBR的通光孔径中分别设有氧化岛,且靠近的第一电极的氧化岛的宽度大于另一个氧化岛,氧化岛用于反波导高阶模式限制。本发明的基横模垂直腔面发射激光器,出光功率大,制备简单,成本低,对精度要求较低,能广泛应用。

    双振膜光学麦克风
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115442687B

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202211065575.2

    申请日:2022-08-31

    Abstract: 本发明公开了一种双振膜光学麦克风,包括平行设置可随声音共振的第一振膜和第二振膜,所述第一振膜、第二振膜以及支撑第一振膜、第二振膜的支撑件围成一谐振腔;所述第一振膜与第二振膜相邻的一面为反射面,所述第二振膜与第一振膜相邻的一面为透射面且与第一振膜远离的一面为半透半反面;包括光源,所述光源射出的光线被分光镜一分为二,其一束射入光源噪声探测器,另一束射向谐振腔;还包括低噪模拟放大器,所述低噪模拟放大器用于将主探测器探测到的光电流与光源噪声探测器探测到的光电流进行差分处理,并将差分处理后的电流信号转换为电压信号。本发明具有较高的灵敏度和信噪比,并且结构简单,易于加工制造。

    一种衍射光栅、其制备方法及一种光学麦克风

    公开(公告)号:CN115802261A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211632148.8

    申请日:2022-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅、其制备方法及一种光学麦克风,涉及集成光学器件技术领域,解决了现有的衍射光栅的光学稳定性较低、制备工艺复杂,不便于大规模制造生产的问题。衍射光栅,包括底部薄膜层及设在所述底部薄膜层上的至少一个光栅块,所述光栅块的周围的设有数个气孔,所述气孔开设于所述底部薄膜层上,每个所述气孔的直径为70~100微米,气孔边缘的厚度至光栅块边缘的厚度逐渐减薄。还提供衍射光栅的制备方法,包括以下步骤:提供底部薄膜层,在底部薄膜层上刻蚀至少一个光栅块得到第一预制件;在所述第一预制件的每个光栅块周围,均匀开设数个气孔得到衍射光栅。还提供了基于此种衍射光栅的一种光学麦克风。

    一种高折射率拓展腔垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN115799981A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211508073.2

    申请日:2022-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种高折射率拓展腔垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用,涉及半导体技术领域,解决了现有的垂直腔面发射激光器线宽较大,且现有技术窄线宽控制困难的问题。激光器自上而下包括,顶电极、p型布拉格反射镜组、氧化层、有源区、n型拓展层、n型布拉格反射镜组、衬底、底电极,所述n型拓展层为AlyGa1‑yAs,其中y为0.1~0.9。通过设置n型拓展层,并将n型拓展层设置为特定的材质,抑制了拓展层中电阻和自由载流子吸收,能够有效增长激光器的有效腔长,增大了谐振腔长,增大了输出功率,减小了线宽增强因子α,实现了压窄光谱线宽。

    一种耦合腔垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN115764548A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211513751.4

    申请日:2022-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种耦合腔垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用,涉及半导体技术领域,具体为一种耦合腔垂直腔面发射激光器、制备方法及其应用,解决了现有的垂直腔面发射激光器由于有效腔长较短,光谱线宽较大使其应用受限的问题。所述激光器自上而下包括,第一布拉格反射镜组、氧化层、有源区、第二布拉格反射镜组、无源腔、第三布拉格反射镜组、衬底,所述第一布拉格反射镜组远离所述氧化层的一侧设有第一电极,所述无源腔靠近所述第二布拉格反射镜组的一侧的两端设有第二电极。性能优异,腔长较长,线宽能达到小于20MHz的水平,比传统垂直腔面发射激光器的线宽小2个数量级以上,所能应用的领域更广。

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