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公开(公告)号：CN101103247A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580031578.2
申请日：2005-09-20
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G01B11/27
CPC classification number: G02B27/62 , G01B11/272
Abstract: 本发明提供了一种利用激光衍射图校准部件的微孔的方法及利用该方法的系统。提供的方法用于利用激光器校准孔。通过利用所述激光器的光束产生衍射图而垂直校准所述孔。
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