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公开(公告)号：CN101416295A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200780011762.X
申请日：2007-04-03
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01J37/28 , G01R31/307 , H01J37/244 , H01J2237/0635 , H01J2237/22 , H01J2237/244 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592 , H01J2237/281 , H01J2237/2817 , H01J2237/317 , H01L22/12 , H01L22/14
Abstract: 本发明公开了一种用于利用电子束检查半导体器件的通孔的装置和方法。该装置包括电子束辐射装置、电流测量装置和电流测量装置和数据处理装置。电子束辐射装置照射相应的电子束以检查多个检查对象孔。电流测量装置通过位于孔下面的导电层或通过导电层和单独的检测仪测量电流，该电流通过辐射从电子束辐射装置照射的电子束而产生。数据处理装置处理通过电流测量装置的测量而获得的数据。
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公开(公告)号：CN101243532A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680030161.9
申请日：2006-08-18
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/244 , H01J2237/2444
Abstract: 在传统的微通道板(MCP)、二次电子(SE)检测器或半导体检测器中，通过其自身结构来放大电子的数量。对于这样的放大，从外部施加了微小的电压差，或者由于其自身结构和材料而产生微小的电压差。通过外部放大电路来放大经过上述处理的电子的电流。在本发明中，通过环绕的导电线来检测由微柱所产生的电子束的碰撞而得到的电子。类似于传统的检测方法，在外部使用放大电路来放大所检测的电子。
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公开(公告)号：CN106272276B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201510245783.4
申请日：2015-05-14
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: B25H1/00
Abstract: 本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。
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公开(公告)号：CN101322218B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN200680045633.8
申请日：2006-12-05
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174
Abstract: 本发明涉及用于在产生电子束的电子柱中改善聚焦的方法。根据本发明的用于控制电子束的聚焦的方法减小了当电子束到达试件时该电子束的光斑大小，从而能够提高分辨率并能够减小半导体光刻处理中的图案的线宽，由此能够改善电子的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101128909B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200680006079.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/023 , H01J37/067
Abstract: 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。
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公开(公告)号：CN101681751B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200880017294.1
申请日：2008-05-28
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J1/30
CPC classification number: H01J37/073 , H01J1/14 , H01J1/304 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/26
Abstract: 本发明涉及在包括电子发射源和透镜的电子柱结构中使用附着有一个或多个碳纳米管(CNT)的电子发射源的电子柱。更具体地，本发明涉及容易地对准碳纳米管(CNT)针尖的方法以及能够使用该方法的电子柱。
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公开(公告)号：CN100587521C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200680019662.7
申请日：2006-05-29
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G02B3/00
CPC classification number: H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，并执行源透镜功能和聚焦功能。此外，所述电子柱的特征在于：所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层，从而附加地执行偏转器功能。
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公开(公告)号：CN101379585A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780004403.1
申请日：2007-02-02
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/18 , H01J2237/1205 , H01J2237/188
Abstract: 公开了一种用于为电子柱维持不同真空度的装置，该装置用于将电子柱和样品保持在不同的真空度下，所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定电子发射器、透镜部件的壳体。所述装置包括：柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到壳体以隔离真空；中空部，所述中空部通过装置的中心部分限定，以允许从电子柱发出的电子束通过该中空部；以及真空隔离部，所述真空隔离部具有用于真空连接的垫圈的结构，其中，通过选择最后定位在发射电子束所沿的路径中的透镜电极层的合适的直径或利用所述中空部，将装置的两侧之间的真空度差保持为不小于10托。
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公开(公告)号：CN101681783A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880016052.0
申请日：2008-05-15
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/152 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明主要涉及一种用于生成电子束的微柱的偏转器，并且尤其涉及一种能够使用磁场来对电子束进行扫描或偏移、或用作象散校正装置的偏转器。根据本发明的偏转器(100)包括一个或多个偏转器电极。所述偏转器电极中的各个偏转器电极包括由导体或半导体制成的铁芯(12)以及缠绕该铁芯(12)的线圈(11)。
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