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公开(公告)号：CN118302837B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202380014704.1
申请日：2023-05-17
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/04 , H01J37/14 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 形成数百个小射束的多电子束系统可聚焦所述小射束，降低库仑相互作用效应，且改进所述小射束的分辨率。具有静电及磁偏转场的维恩过滤器可将二次电子束与初级电子束分离且可同时校正所有所述小射束的像散及源能量分散模糊。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118019972A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202380013694.X
申请日：2023-01-18
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2204 , H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/20 , H01L21/66
Abstract: 双聚焦离子束及扫描电子束系统包含产生电子束的电子源及产生离子束的离子源。电子束柱将电子束以相对于载物台的顶表面的法线角进行引导。离子束柱将所述离子束引向所述载物台。所述离子束相对于所述电子束成某个角度。检测器接收从所述载物台上的晶片反射的所述电子束。
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公开(公告)号：CN118302837A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202380014704.1
申请日：2023-05-17
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/04 , H01J37/14 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 形成数百个小射束的多电子束系统可聚焦所述小射束，降低库仑相互作用效应，且改进所述小射束的分辨率。具有静电及磁偏转场的维恩过滤器可将二次电子束与初级电子束分离且可同时校正所有所述小射束的像散及源能量分散模糊。
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公开(公告)号：CN118251746A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202380014500.8
申请日：2023-05-31
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/073 , H01J37/04 , H01J37/28
Abstract: 一种电子束装置包含激光器及光电阴极薄膜。所述光电阴极薄膜具有正面及背面，且在使用所述激光器从所述背面照明时发射多个电子小射束。所述电子束装置还包含电极，所述电极用以从所述光电阴极薄膜的所述正面提取所述多个电子小射束及用以控制所述多个电子小射束的形状。
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公开(公告)号：CN117561586B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202280044103.0
申请日：2022-10-05
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/147
Abstract: 提供用于检测来自样品的带电粒子的方法及系统。一种系统包含：第一排斥网，其经配置以排斥来自样品的具有低于第一预定能量的能量的带电粒子；及第二排斥网，其经配置以排斥通过所述第一排斥网且具有低于第二预定能量的能量的所述带电粒子。所述系统还包含第一吸引网，其经配置以吸引通过所述第一排斥网、被所述第二排斥网排斥及具有高于所述第一预定能量且低于所述第二预定能量的能量的所述带电粒子。所述系统进一步包含第一检测器，其经配置以响应于通过所述第一吸引网的所述带电粒子而产生输出。
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公开(公告)号：CN117561586A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202280044103.0
申请日：2022-10-05
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/244
Abstract: 提供用于检测来自样品的带电粒子的方法及系统。一种系统包含：第一排斥网，其经配置以排斥来自样品的具有低于第一预定能量的能量的带电粒子；及第二排斥网，其经配置以排斥通过所述第一排斥网且具有低于第二预定能量的能量的所述带电粒子。所述系统还包含第一吸引网，其经配置以吸引通过所述第一排斥网、被所述第二排斥网排斥及具有高于所述第一预定能量且低于所述第二预定能量的能量的所述带电粒子。所述系统进一步包含第一检测器，其经配置以响应于通过所述第一吸引网的所述带电粒子而产生输出。
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