公开(公告)号：CN104903072A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201380060898.5

申请日：2013-11-18

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 三泽毅秀 ,  坂田郁美

IPC: B29C59/04 ,  B29C33/38 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C41/36 ,  B05D3/067 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/3878 ,  B29C33/424 ,  B29C37/0067 ,  B29C53/562 ,  B29C59/02 ,  B29C59/04 ,  B29C2033/385 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2059/023 ,  B29D99/0035 ,  B29L2031/757

Abstract: 本发明提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明，可以提供一种压印用模具的制造方法，其具备：卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。

公开(公告)号：CN108475622A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201780007099.X

申请日：2017-01-23

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大 ,  坂田郁美

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/38 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C33/38 ,  B29C59/02 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种具有微细图案的结构体，其微细图案中高度不同区域的高度差小。根据本发明，提供一种结构体，其具有弹性层和设置在其上侧的树脂层，上述树脂层在上述弹性层的相反一侧的面具备微细图案，上述微细图案具有高度不同的多个区域，该结构体具备以下(1)或(2)的构成:(1)上述弹性层的杨氏模量为1GPa以下；(2)上述弹性层的杨氏模量小于支承上述弹性层的基材的杨氏模量。

公开(公告)号：CN108025484B

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201680052313.9

申请日：2016-09-14

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 坂田郁美 ,  武田亚衣

IPC: B29C59/04 ,  B29C33/38 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供不易产生转印不良的压印用模具的制造方法。根据本发明，所述压印用模具的制造方法具备如下工序：卷绕工序，将具有形成有由所期望的微细凹凸图案的反转图案构成的基体图案的树脂层的膜模具，以能够在两端的对接部形成不存在上述基体图案的间隙的方式卷绕于圆柱形的转印辊；树脂填充工序，向上述间隙填充树脂组合物；以及，图案形成工序，将设置在图案追加模具的转印图案按压于上述树脂组合物而将由上述转印图案的反转图案构成的追加图案形成在上述树脂组合物上；上述树脂组合物以如下方式填充：在将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之前或者将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之时，上述树脂组合物从上述间隙溢出而在上述树脂层的表面上形成上述树脂组合物的溢出部分。

公开(公告)号：CN108025484A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680052313.9

申请日：2016-09-14

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 坂田郁美 ,  武田亚衣

IPC: B29C59/04 ,  B29C33/38 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供不易产生转印不良的压印用模具的制造方法。根据本发明，所述压印用模具的制造方法具备如下工序：卷绕工序，将具有形成有由所期望的微细凹凸图案的反转图案构成的基体图案的树脂层的膜模具，以能够在两端的对接部形成不存在上述基体图案的间隙的方式卷绕于圆柱形的转印辊；树脂填充工序，向上述间隙填充树脂组合物；以及，图案形成工序，将设置在图案追加模具的转印图案按压于上述树脂组合物而将由上述转印图案的反转图案构成的追加图案形成在上述树脂组合物上；上述树脂组合物以如下方式填充：在将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之前或者将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之时，上述树脂组合物从上述间隙溢出而在上述树脂层的表面上形成上述树脂组合物的溢出部分。