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公开(公告)号：CN109155236A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780030472.3
申请日：2017-05-15
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/04 , C08F2/44 , C08F220/18 , C08F290/06
Abstract: 本发明提供一种光固化性组合物，该光固化性组合物能够形成具有耐溶剂性的树脂层，且能够容易地将剥离层形成于树脂层上。根据本发明，提供一种光固化性树脂组合物，该光固化性树脂组合物包含具有与硅原子键合的烷氧基的有机硅低聚物以及(甲基)丙烯酸酯化合物。
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公开(公告)号：CN108025484B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201680052313.9
申请日：2016-09-14
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C59/04 , B29C33/38 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供不易产生转印不良的压印用模具的制造方法。根据本发明，所述压印用模具的制造方法具备如下工序：卷绕工序，将具有形成有由所期望的微细凹凸图案的反转图案构成的基体图案的树脂层的膜模具，以能够在两端的对接部形成不存在上述基体图案的间隙的方式卷绕于圆柱形的转印辊；树脂填充工序，向上述间隙填充树脂组合物；以及，图案形成工序，将设置在图案追加模具的转印图案按压于上述树脂组合物而将由上述转印图案的反转图案构成的追加图案形成在上述树脂组合物上；上述树脂组合物以如下方式填充：在将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之前或者将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之时，上述树脂组合物从上述间隙溢出而在上述树脂层的表面上形成上述树脂组合物的溢出部分。
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公开(公告)号：CN108025484A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052313.9
申请日：2016-09-14
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C59/04 , B29C33/38 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供不易产生转印不良的压印用模具的制造方法。根据本发明，所述压印用模具的制造方法具备如下工序：卷绕工序，将具有形成有由所期望的微细凹凸图案的反转图案构成的基体图案的树脂层的膜模具，以能够在两端的对接部形成不存在上述基体图案的间隙的方式卷绕于圆柱形的转印辊；树脂填充工序，向上述间隙填充树脂组合物；以及，图案形成工序，将设置在图案追加模具的转印图案按压于上述树脂组合物而将由上述转印图案的反转图案构成的追加图案形成在上述树脂组合物上；上述树脂组合物以如下方式填充：在将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之前或者将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之时，上述树脂组合物从上述间隙溢出而在上述树脂层的表面上形成上述树脂组合物的溢出部分。
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