公开(公告)号：CN108475622A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201780007099.X

申请日：2017-01-23

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大 ,  坂田郁美

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/38 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C33/38 ,  B29C59/02 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种具有微细图案的结构体，其微细图案中高度不同区域的高度差小。根据本发明，提供一种结构体，其具有弹性层和设置在其上侧的树脂层，上述树脂层在上述弹性层的相反一侧的面具备微细图案，上述微细图案具有高度不同的多个区域，该结构体具备以下(1)或(2)的构成:(1)上述弹性层的杨氏模量为1GPa以下；(2)上述弹性层的杨氏模量小于支承上述弹性层的基材的杨氏模量。

公开(公告)号：CN106575605B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201580040832.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供一种可以简单地制作复合图案、嵌套结构的微细结构体的制造方法。根据本发明，提供一种微细结构体的制造方法，具备如下工序，在将第1模具的第1图案按压于在具有遮光图案的透明基材上涂敷第1光固化性树脂组合物而获得的第1被转印树脂层的状态下，通过第1模具向第1被转印树脂层照射活性能量射线，由此形成转印了第1图案的第1固化树脂层，在将第2模具的第2图案按压于在第1固化树脂层上涂敷第2光固化性树脂组合物而获得的第2被转印树脂层的状态下，使用所述遮光图案作为掩模向第2被转印树脂层照射活性能量射线而使第2被转印树脂层的一部分的区域固化，由此形成具有包含低阶部与高阶部在内的阶梯形状的第2固化树脂层，第1图案以及第2图案中的至少一方具有微细形状。

公开(公告)号：CN109155236A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780030472.3

申请日：2017-05-15

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大 ,  武田亚衣

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/38 ,  B29C59/04 ,  C08F2/44 ,  C08F220/18 ,  C08F290/06

Abstract: 本发明提供一种光固化性组合物，该光固化性组合物能够形成具有耐溶剂性的树脂层，且能够容易地将剥离层形成于树脂层上。根据本发明，提供一种光固化性树脂组合物，该光固化性树脂组合物包含具有与硅原子键合的烷氧基的有机硅低聚物以及(甲基)丙烯酸酯化合物。

公开(公告)号：CN104350580A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201380027093.0

申请日：2013-05-15

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 山田纮子 ,  须藤康夫 ,  宫泽幸大

IPC: H01L21/027 ,  B81C99/00 ,  C08F2/50

CPC classification number: C08F22/10 ,  B29C59/005 ,  B29C59/026 ,  C08F2/50 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供一种在光压印中抑制了固化收缩的光固化性树脂组合物。此外，本发明还提供一种由光压印制造的表面硬度高、即使受到紫外线等照射黄变产生也被抑制的结构体的光固化性树脂组合物。本发明的压印用光固化性树脂组合物是一种含有(甲基)丙烯酸类单体(A)和光引发剂(B)的光固化性树脂组合物，其特征在于，所述光引发剂(B)由苯烷基酮类光引发剂(B1)和酰基氧化膦类光引发剂(B2)组合而成，所述苯烷基酮类光引发剂(B1)和所述酰基氧化膦类光引发剂(B2)的掺合重量比(B1∶B2)在1∶99～90∶10的范围内。

公开(公告)号：CN106663603A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580038910.1

申请日：2015-07-16

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B05D3/06 ,  B05D3/12 ,  B29C59/02 ,  B29C59/026 ,  B29C2059/023 ,  B29C2791/001 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种可以抑制在压印时产生不良情况或模具破损的分步重复式压印装置。根据本发明，提供一种分步重复式压印装置，具备：载置工作台基材的工作台；构成为可以相对于所述工作台相对移动且以与所述工作台基材对置的方式保持挠性基材的定位机构；以及一边使所述挠性基材挠曲一边将所述挠性基材朝所述工作台基材按压的加压机构，所述工作台基材与所述挠性基材中的一方具有凹凸图案，所述工作台基材与所述挠性基材中的另一方具备转印所述凹凸图案的被转印树脂层，构成为通过所述加压机构一边使所述挠性基材挠曲一边朝所述工作台基材按压所述挠性基材，从而将所述凹凸图案转印到所述被转印树脂层。

公开(公告)号：CN106663600A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580034814.X

申请日：2015-07-07

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/38 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供在取下模具时能够抑制形成于固化树脂层的凹凸图案的端部的变形的分步重复用压印用模具。根据本发明，可提供一种分步重复用压印用模具(2)，其具备：透明基材(4)；透明树脂层(6)，其形成于上述透明基材上且具有形成有凹凸图案(3)的图案区域(13)；以及遮光部件(5)，其以在上述透明基材与上述透明树脂层之间于上述图案区域的局部与上述图案区域重叠的方式设置。

公开(公告)号：CN106575605A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580040832.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 综研化学株式会社

Inventor： 宫泽幸大

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供一种可以简单地制作复合图案、嵌套结构的微细结构体的制造方法。根据本发明，提供一种微细结构体的制造方法，具备如下工序，在将第1模具的第1图案按压于在具有遮光图案的透明基材上涂敷第1光固化性树脂组合物而获得的第1被转印树脂层的状态下，通过第1模具向第1被转印树脂层照射活性能量射线，由此形成转印了第1图案的第1固化树脂层，在将第2模具的第2图案按压于在第1固化树脂层上涂敷第2光固化性树脂组合物而获得的第2被转印树脂层的状态下，使用所述遮光图案作为掩模向第2被转印树脂层照射活性能量射线而使第2被转印树脂层的一部分的区域固化，由此形成具有包含低阶部与高阶部在内的阶梯形状的第2固化树脂层，第1图案以及第2图案中的至少一方具有微细形状。