公开(公告)号：CN1795528A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：CN200480014193.0

申请日：2004-05-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： 约翰.强.叶 ,  V·班威尼斯特 ,  M·克里斯托佛罗

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32678 ,  H01J2237/1508

Abstract: 提供一种离子注入系统以及为此的束线组件，其中在离子束导件内提供多尖点(Multicusped)磁场，且该离子束导件被供能，以在一沿该离子束导件通道的前进波内提供微波电场。该磁场及电场相互作用，以为在该离子束导件内的离子束保含功能提供一电子－回旋共振条件。

公开(公告)号：CN100583373C

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200480014193.0

申请日：2004-05-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： 约翰.强.叶 ,  V·班威尼斯特 ,  M·克里斯托佛罗

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32678 ,  H01J2237/1508

Abstract: 提供一种离子注入系统以及为此的束线组件，其中在离子束导件内提供多尖点(Multicusped)磁场，且该离子束导件被供能，以在一沿该离子束导件通道的前进波内提供微波电场。该磁场及电场相互作用，以为在该离子束导件内的离子束保含功能提供一电子-回旋共振条件。