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公开(公告)号：CN107430032B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201680014528.1
申请日：2016-03-08
Applicant: 芬兰国家技术研究中心股份公司
Abstract: 一种用来制造用于法布里‑珀罗干涉仪（300）的镜板（100）的方法，包括：‑提供包括硅（Si）的基板（50），‑在基板（50）上实现半透明反射涂层（110），‑通过在基板（50）中蚀刻多个空隙（E1）并且通过钝化空隙（E1）的表面来在基板（50）中和/或在基板（50）上形成钝化区域（70a），‑在钝化区域（70a）的顶部上形成第一传感器电极（G1a），以及‑形成由基板（50）支撑的第二传感器电极（G1b）。
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公开(公告)号：CN107430032A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680014528.1
申请日：2016-03-08
Applicant: 芬兰国家技术研究中心股份公司
CPC classification number: G01J3/26 , B81B7/00 , G01B9/02 , G01B9/02018 , G01B2290/25 , G01J1/0414 , G01J3/45 , G01J2003/2879 , G02B5/08 , G02B5/0816 , G02B5/28 , G02B26/0841 , H01L21/02019 , H01L21/2003
Abstract: 一种用来制造用于法布里-珀罗干涉仪（300）的镜板（100）的方法，包括：-提供包括硅（Si）的基板（50），-在基板（50）上实现半透明反射涂层（110），-通过在基板（50）中蚀刻多个空隙（E1）并且通过钝化空隙（E1）的表面来在基板（50）中和/或在基板（50）上形成钝化区域（70a），-在钝化区域（70a）的顶部上形成第一传感器电极（G1a），以及-形成由基板（50）支撑的第二传感器电极（G1b）。
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公开(公告)号：CN103444079B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201280009253.4
申请日：2012-02-17
Applicant: 芬兰国家技术研究中心股份公司
CPC classification number: H03H9/02448 , B81B3/0078 , B81B2201/0271 , H01L41/18 , H03H3/0072 , H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519 , H03H2009/241 , H03H2009/2442 , Y10T29/42
Abstract: 本发明关于微机械装置和制造其的方法。该装置包括：由半导体材料制成的振荡或偏转元件（16），其包括n型掺杂剂；和功能地连接到所述振荡或偏转元件（16）的激发或感测部件（10，14）。根据本发明，该振荡或偏转元件（16）基本上均匀地掺杂有所述n型掺杂剂。本发明允许设计具有低温度漂移的多种实用共振器。
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