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公开(公告)号：CN107462629B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201710413629.2
申请日：2017-06-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N29/02
Abstract: 一种声波检测器可以包括：外部壳体，具有外部壳体壁；气体室，位于所述外部壳体内且被配置成其中接收气体。所述外部壳体壁可以包括：开孔，在所述气体室与所述声波检测器的外部之间提供气体通道。所述声波检测器可以进一步包括：激励元件，被配置成以时变方式选择性地在所述气体室中接收的气体中激励具体类型的气体分子，从而在所述气体中生成声波；以及声波传感器，被配置成检测在所述气体中生成的声波和在所述声波检测器外生成的声波。所述声波传感器可以具有声端口，所述声端口与所述外部壳体壁中的开孔重叠。所述声波传感器可以包括：机械结构，可被要检测的声波造成位移，其中所述机械结构的位移指示要检测的声波的特性。
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公开(公告)号：CN106946210B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201611022323.6
申请日：2016-11-11
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0008 , B81B3/0021 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2203/04 , B81C1/00158 , B81C2201/013 , H04R3/00 , H04R7/122 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2207/00
Abstract: 本发明涉及用于垂直电极换能器的系统和方法。根据实施例，一种操作具有薄膜的微机电系统(MEMS)换能器的方法包括：使用第一对静电驱动电极在薄膜的平面外偏转和第一对静电驱动电极上的电压之间转化。第一对静电驱动电极被形成在薄膜上，沿平面外方向延伸并且在第一对静电驱动电极之间形成可变电容。
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公开(公告)号：CN107265392A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710207663.4
申请日：2017-03-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法。一种光发射器装置包括发射器部件，所述发射器部件包括布置在膜结构上的加热器结构。膜结构位于第一腔上方。另外，第一腔位于膜结构和发射器部件的支撑衬底的至少一部分之间。此外，加热器结构被配置为：如果预定义电流流过加热器结构，则发射光。另外，光发射器装置包括具有凹部的盖衬底。将盖衬底附接到发射器部件，使得凹部在膜结构和盖衬底之间形成第二腔。此外，第二腔中的压强小于100mbar。
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公开(公告)号：CN107265390A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710219031.X
申请日：2017-03-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： C.格拉策
Abstract: 本发明涉及用于快速加热和冷却循环的MEMS加热器或发射器结构。根据各种实施例，MEMS器件包括：衬底；电可移动加热元件，具有耦合到第一电压源的第一端子的第一节点和耦合到参考电压源的第二节点；将所述电可移动加热元件的第一节点锚定到所述衬底的第一锚定件和将所述电可移动加热元件的第二节点锚定到所述衬底的第二锚定件；以及在所述第一锚定件和所述第二锚定件之间且在所述电可移动加热元件和所述衬底之间的腔。
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公开(公告)号：CN106961651B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201710015528.X
申请日：2017-01-10
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 根据一个实施例，一种微机电系统MEMS换能器包括：附接到支撑结构的可偏转膜，被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的声阀结构，以及耦合到可偏转膜的致动机构。其他实施例包括对应的系统和装置，每一个都被配置成执行各种实施例方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106961651A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710015528.X
申请日：2017-01-10
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H02N1/006 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H04R7/06 , H04R17/00 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R2201/003 , H04R19/04
Abstract: 根据一个实施例，一种微机电系统MEMS换能器包括：附接到支撑结构的可偏转膜，被配置成促使可偏转膜在第一模式中是透声的并且在第二模式中是声可见的声阀结构，以及耦合到可偏转膜的致动机构。其他实施例包括对应的系统和装置，每一个都被配置成执行各种实施例方法。
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公开(公告)号：CN107265392B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710207663.4
申请日：2017-03-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法。一种光发射器装置包括发射器部件，所述发射器部件包括布置在膜结构上的加热器结构。膜结构位于第一腔上方。另外，第一腔位于膜结构和发射器部件的支撑衬底的至少一部分之间。此外，加热器结构被配置为：如果预定义电流流过加热器结构，则发射光。另外，光发射器装置包括具有凹部的盖衬底。将盖衬底附接到发射器部件，使得凹部在膜结构和盖衬底之间形成第二腔。此外，第二腔中的压强小于100mbar。
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公开(公告)号：CN107462629A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710413629.2
申请日：2017-06-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N29/02
Abstract: 一种声波检测器可以包括：外部壳体，具有外部壳体壁；气体室，位于所述外部壳体内且被配置成其中接收气体。所述外部壳体壁可以包括：开孔，在所述气体室与所述声波检测器的外部之间提供气体通道。所述声波检测器可以进一步包括：激励元件，被配置成以时变方式选择性地在所述气体室中接收的气体中激励具体类型的气体分子，从而在所述气体中生成声波；以及声波传感器，被配置成检测在所述气体中生成的声波和在所述声波检测器外生成的声波。所述声波传感器可以具有声端口，所述声端口与所述外部壳体壁中的开孔重叠。所述声波传感器可以包括：机械结构，可被要检测的声波造成位移，其中所述机械结构的位移指示要检测的声波的特性。
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公开(公告)号：CN104891421A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510099276.4
申请日：2015-03-06
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H01L22/12 , B81C99/004 , G01N3/02 , G01N3/08 , G01N2203/0017 , G01N2203/0286 , G01N2203/0298 , H01L21/0217 , H01L21/32055 , H01L22/32 , H01L23/564 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及用于微制造的断裂测试结构的系统和方法。根据实施例，一种微制造的测试结构包括机械耦合在两个刚性锚部之间并布置在衬底之上的结构。该结构从衬底被释放并且包括机械耦合在所述两个刚性锚部之间的测试层。该测试层包括具有第一截面积的第一区域和具有比第一截面积小的第二截面积的收缩区域。该结构还包括布置在测试层的表面上与第一区域相邻的第一张应力层。
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公开(公告)号：CN107265390B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201710219031.X
申请日：2017-03-31
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： C.格拉策
Abstract: 本发明涉及用于快速加热和冷却循环的MEMS加热器或发射器结构。根据各种实施例，MEMS器件包括：衬底；电可移动加热元件，具有耦合到第一电压源的第一端子的第一节点和耦合到参考电压源的第二节点；将所述电可移动加热元件的第一节点锚定到所述衬底的第一锚定件和将所述电可移动加热元件的第二节点锚定到所述衬底的第二锚定件；以及在所述第一锚定件和所述第二锚定件之间且在所述电可移动加热元件和所述衬底之间的腔。
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