公开(公告)号：CN104919579B

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201380046832.0

申请日：2013-07-09

Applicant: 蚌埠玻璃工业设计研究院

Inventor： J.帕尔姆 ,  M.费尔芬格 ,  S.乔斯特

IPC: H01L21/673

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05C5/001 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67393

Abstract: 本发明涉及一种用于处理被覆层的基质的工艺盒，其带有以下特征：可气密地封闭的壳体，其形成空腔；该壳体包括至少一个壳体截段，其构造成使得基质通过射到该壳体截段上的电磁热辐射可热处理；该壳体具有可与用于其冷却的冷却装置联结的至少一个壳体截段和至少一个不可冷却的壳体截段；空腔被至少一个间隔壁划分成用于容纳基质的处理腔和中间腔，其中，间隔壁具有一个或多个开口且布置在基质与可调温的壳体截段之间；壳体设有通到空腔中的、可封闭的至少一个气体通引部用于排空和将过程气体引入空腔中。此外，其涉及用于处理被覆层的基质的组件和方法，在其中工艺盒的至少一个壳体截段在热处理期间和/或之后被冷却且通过设有一个或多个开口的间隔壁来阻碍在热处理期间所产生的气态物质扩散至被调温的壳体截段，间隔壁布置在被覆层的基质与被调温的壳体截段之间。