-
公开(公告)号：CN104937706B
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201380046772.2
申请日：2013-07-09
Applicant: 蚌埠玻璃工业设计研究院
IPC: H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及用于处理经涂层的衬底的设备，具有以下特征：具有气密地可封闭的外壳的用于容纳至少一个衬底的至少一个可抽真空的处理箱，所述外壳形成空腔，其中外壳包括至少一个外壳片段，所述外壳片段被构造为使得衬底可以通过射到的电磁热辐射被热处理，其中外壳具有至少一个与冷却装置可耦合用于对其冷却的外壳片段和至少一个不与冷却装置耦合的外壳片段，其中空腔通过至少一个分离壁被划分成用于容纳衬底的处理空间和中间空间，其中分离壁拥有一个或多个开口，并且布置在在衬底和与冷却装置耦合的外壳片段之间，并且其中外壳配备有至少一个通向空腔的、可封闭的用于抽真空和将气体引入到空腔中的气体套管；用于对处理箱的可与冷却装置耦合的外壳片段进行冷却的冷却装置；至少一个用于对处理箱进行装载和/或卸载的装载/卸载单元；至少一个用于对处理箱中的衬底进行加热的加热单元；至少一个用于对处理箱中的衬底进行冷却的冷却单元；至少一个用于对处理箱的空腔进行抽吸的抽吸装置；至少一个用于给处理箱的空腔馈送至少一种气体的气体供应装置；至少一个运输机械装置，所述运输机械装置被构造用于实施在一方处理箱和另一方加热单元、冷却单元和装载/卸载单元之间的相对运动。
-
公开(公告)号：CN105474371B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201480047433.0
申请日：2014-06-27
Applicant: 蚌埠玻璃工业设计研究院
CPC classification number: H01L31/0749 , H01L21/02422 , H01L21/02425 , H01L21/02485 , H01L21/02491 , H01L21/02568 , H01L31/0336 , H01L31/0445 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及用于薄层太阳能电池的层系统，所述层系统包括用于吸收光的吸收层和布置在吸收层上的缓冲层，所述缓冲层包含NaxIny‑x/3S，其中0.063≤x≤0.625并且0.681≤y≤1.50。
-
公开(公告)号：CN104919579B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201380046832.0
申请日：2013-07-09
Applicant: 蚌埠玻璃工业设计研究院
IPC: H01L21/673
CPC classification number: B05D1/60 , B05C5/001 , H01L21/67353 , H01L21/67393
Abstract: 本发明涉及一种用于处理被覆层的基质的工艺盒，其带有以下特征：可气密地封闭的壳体，其形成空腔；该壳体包括至少一个壳体截段，其构造成使得基质通过射到该壳体截段上的电磁热辐射可热处理；该壳体具有可与用于其冷却的冷却装置联结的至少一个壳体截段和至少一个不可冷却的壳体截段；空腔被至少一个间隔壁划分成用于容纳基质的处理腔和中间腔，其中，间隔壁具有一个或多个开口且布置在基质与可调温的壳体截段之间；壳体设有通到空腔中的、可封闭的至少一个气体通引部用于排空和将过程气体引入空腔中。此外，其涉及用于处理被覆层的基质的组件和方法，在其中工艺盒的至少一个壳体截段在热处理期间和/或之后被冷却且通过设有一个或多个开口的间隔壁来阻碍在热处理期间所产生的气态物质扩散至被调温的壳体截段，间隔壁布置在被覆层的基质与被调温的壳体截段之间。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.034 seconds)
