工件激光加工装置的校准方法和装置

    公开(公告)号:CN1333713A

    公开(公告)日:2002-01-30

    申请号:CN99807074.2

    申请日:1999-07-01

    CPC classification number: B23K26/04 B23K26/043

    Abstract: 对于用激光束(2)进行工件(14)结构化来说,需要很高精度,这是因为否则的话要出现很大的预定结构的尺寸公差。在本发明方法中,测量一个位于物镜(8)前面的校准板(3),其中校准板(3)的图象通过物镜(8)、偏转装置(7)和镜子(10)而被描绘到摄象机(11)上。镜子(10)对激光束(2)是透明的。控制装置(13)测量并存储图象偏差。随后,激光束(2)把校准标记描绘到一个位于物镜(8)前的样板(15)上。校准标记同样通过以下光路即物镜(8)、偏转装置(7)和镜子(10)而描绘到摄象机(11)上。根据校准标记的测定位置并考虑所测图象偏差地,测量并存储由光源(4)和激光束形成装置(5,6)引起的光偏差并且在加工工件时予以考虑。

    工件激光加工装置的校准方法和装置

    公开(公告)号:CN1124916C

    公开(公告)日:2003-10-22

    申请号:CN99807074.2

    申请日:1999-07-01

    CPC classification number: B23K26/04 B23K26/043

    Abstract: 对于用激光束(2)进行工件(14)结构化来说,需要很高精度,这是因为否则的话要出现很大的预定结构的尺寸公差。在本发明方法中,测量一个位于物镜(8)前面的校准板(3),其中校准板(3)的图象通过物镜(8)、偏转装置(7)和镜子(10)而被描绘到摄象机(11)上。镜子(10)对激光束(2)是透明的。控制装置(13)测量并存储图象偏差。随后,激光束(2)把校准标记描绘到一个位于物镜(8)前的样板(15)上。校准标记同样通过以下光路即物镜(8)、偏转装置(7)和镜子(10)而描绘到摄象机(11)上。根据校准标记的测定位置并考虑所测图象偏差地,测量并存储由光源(4)和激光束形成装置(5,6)引起的光偏差并且在加工工件时予以考虑。

    用于在衬底中、尤其是在电路衬底中借助激光束钻孔的方法

    公开(公告)号:CN1711150A

    公开(公告)日:2005-12-21

    申请号:CN200380102681.2

    申请日:2003-10-27

    CPC classification number: H05K3/0032 B23K26/389 H05K2203/0554

    Abstract: 在借助激光束在衬底(1)中、优选地在印刷电路板中钻孔(14、15)时,在创建新的钻孔时光束轴分别首先在孔中心点(M)中,然后从那运动到圆形轨道(K)上,以便沿圆形运动来钻该孔。为了避免在孔中心点中的跳跃方向和沿圆形轨道上的固定的预先编程的移位运动之间在孔中心点无突发的方向变化,预定具有相应的钻孔程序的预定数量的移位方向(V1至V8),从该移位方向中按照到达的光束的跳跃方向选出那些具有最小的方向变化的移位方向。由此,较高的处理速度(在圆形轨道上的跳跃速度和钻孔速度)可在保持或提高孔的钻孔质量时达到并达到致偏单元(2)中的电流计的更长的使用寿命。

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