-
公开(公告)号:CN101137267A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200710148035.X
申请日:2007-08-29
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H05H1/30 , B01J19/08 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/302
CPC classification number: H05B6/78 , H01J37/32192 , H01J37/32449
Abstract: 本发明提供一种等离子体发生装置以及使用这种装置的工件处理装置,该等离子体发生装置包括:微波发生部,生成微波;气体供给部,提供等离子体化的气体;等离子体发生喷嘴,包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极,并根据上述微波的能量,将上述气体等离子体化后从前端喷出;以及适配器,安装在上述等离子体发生喷嘴的前端,其中,上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电,生成等离子体,并通过向这两个电极之间供应上述气体,在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来,上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。
-
公开(公告)号:CN1837975A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200610059897.0
申请日:2006-03-21
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G03B27/72 , G03D3/132 , H04N1/40037
Abstract: 本发明提供一种图像形成装置,即使是在通过较低的曝光输出来表现像素的情况下,也可以良好地保持图像的再现性,同时,提高图像形成的处理速度。相片打印系统(1),具备:激光曝光部(34)、基准时钟发生部(16)、图像输入部(6)和控制装置(8)。控制装置(8)实施第1控制和第2控制。第1控制,在以激光发光区域的状态对第1、第2像素进行扫描曝光的情况下,根据基准时钟对第1、第2像素的各扫描开始定时进行控制。第2控制,在以非线性发光区域的状态对第1像素进行扫描曝光,并以激光发光区域的状态对给定浓度以下的第2像素进行扫描曝光的情况下,使第2像素的扫描开始定时比第1控制的情况提前。
-
公开(公告)号:CN100485522C
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200410071255.3
申请日:2004-07-16
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G06K15/1219 , B41J2/473 , G06K15/1209 , G06K15/129 , G06K15/1295
Abstract: 一种图像曝光装置,在使用异角入射方式的图像曝光装置,具有获得主扫描方向的始点同步时刻的单一的光传感器组件(16),还具有:求出光传感器组件可以检测的各光束的输出水平的输出水平检测单元(38,34R、34G、34B);在曝光光路内,根据图像数据调制各光束的输出水平的第1调制单元;在曝光光路外,将各光束的输出水平调制成所述输出水平检测单元求出的输出水平以上的输出水平的第2调制单元。提供能够确保光源配置等的设计自由、顺应进一步小型化的趋势、避免组装时的麻烦的调整工序,而且在不包括多个光传感器组件的同时还能始终检测各光束的状态、使用异角入射方式的图像曝光装置。
-
公开(公告)号:CN100451855C
公开(公告)日:2009-01-14
申请号:CN200610059897.0
申请日:2006-03-21
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G03B27/72 , G03D3/132 , H04N1/40037
Abstract: 本发明提供一种图像形成装置,即使是在通过较低的曝光输出来表现像素的情况下,也可以良好地保持图像的再现性,同时,提高图像形成的处理速度。相片打印系统(1),具备:激光曝光部(34)、基准时钟发生部(16)、图像输入部(6)和控制装置(8)。控制装置(8)实施第1控制和第2控制。第1控制,在以激光发光区域的状态对第1、第2像素进行扫描曝光的情况下,根据基准时钟对第1、第2像素的各扫描开始定时进行控制。第2控制,在以非线性发光区域的状态对第1像素进行扫描曝光,并以激光发光区域的状态对给定浓度以下的第2像素进行扫描曝光的情况下,使第2像素的扫描开始定时比第1控制的情况提前。
-
公开(公告)号:CN101026920A
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200710002873.6
申请日:2007-02-08
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H05H1/30 , B01J19/08 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/302
CPC classification number: H01J37/32311 , H01J37/32192 , H01J37/32935
Abstract: 本发明提供一种等离子体发生装置以及使用该等离子体发生装置的工件处理装置。所述等离子体发生装置包括:装置主体,具有微波发生部以及等离子体发生喷嘴,该微波发生部产生微波,该喷嘴基于所述微波的能量产生并喷出等离子体化的气体;微波接收部,接收从所述装置主体泄漏的微波;以及控制部,一旦用所述接收部接收到微波,就使所述微波发生部停止产生微波。
-
公开(公告)号:CN1577075A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN200410071255.3
申请日:2004-07-16
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G06K15/1219 , B41J2/473 , G06K15/1209 , G06K15/129 , G06K15/1295
Abstract: 一种图象曝光装置,在使用异角入射方式的图象曝光装置,具有获得主扫描方向的始点同步时刻的单一的光传感器组件(16),还具有:求出光传感器组件可以检测的各光束的输出水平的输出水平检测单元(38,34R、34G、34B);在曝光光路内,根据图象数据调制各光束的输出水平的第1调制单元;在曝光光路外,将各光束的输出水平调制成所述输出水平检测单元求出的输出水平以上的输出水平的第2调制单元。提供能够确保光源配置等的设计自由、顺应进一步小型化的趋势、避免组装时的麻烦的调整工序,而且在不包括多个光传感器组件的同时还能始终检测各光束的状态、使用异角入射方式的图象曝光装置。
-
公开(公告)号:CN101026920B
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN200710002873.6
申请日:2007-02-08
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H05H1/46 , H01L21/302
CPC classification number: H01J37/32311 , H01J37/32192 , H01J37/32935
Abstract: 本发明提供一种等离子体发生装置以及使用该等离子体发生装置的工件处理装置。所述等离子体发生装置包括:装置主体,具有微波发生部以及等离子体发生喷嘴,该微波发生部产生微波,该喷嘴基于所述微波的能量产生并喷出等离子体化的气体;微波接收部,接收从所述装置主体泄漏的微波;以及控制部,一旦用所述接收部接收到微波,就使所述微波发生部停止产生微波。
-
-
-
-
-
-