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公开(公告)号：CN100590792C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200810100192.8
申请日：2008-05-28
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/3065 , H05H1/26 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J37/32192 , H01J37/32825 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供等离子体生成装置和使用该装置的工件处理装置。所述等离子体生成装置在等离子体生成喷嘴(31)的前端安装有适配器(38)，把所述点状吹出口变换成长形的吹出口(387)，而且还设置有罩构件(93)，覆盖多个等离子体生成喷嘴(31)，在该罩构件(93)和工件之间形成窄小的空间，使从吹出口吹出并碰到工件后被弹回的等离子体，再次被推回，滞留在所述空间内。因此，可以对大面积的工件进行均匀的等离子体照射，并且通过所述空间抑制等离子体冷却，使等离子体存在比较长的时间(消失的比例变小)，可以提高照射效率。
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公开(公告)号：CN1187636A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：CN96106147.2
申请日：1996-04-18
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: G03D13/08
CPC classification number: G03D3/135
Abstract: 一种能够将胶片高度可靠地耦合到一个牵引片上的耦合结构。牵引片具有在其相对于牵引片馈入方向的后部形成有第一孔和第二孔的牵引片体。具有指状突出体的薄片件粘接在牵引片体上使突出体延伸跨过相应的第一孔。在其前端各有一个孔的胶片通过以它们的前端插入并穿过第二孔进入第一孔直到突出体咬合在胶片上形成的孔内时为止的方式耦合到牵引片体上。
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公开(公告)号：CN101315875A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200810100192.8
申请日：2008-05-28
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/3065 , H05H1/26 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J37/32192 , H01J37/32825 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供等离子体生成装置和使用该装置的工件处理装置。所述等离子体生成装置在等离子体生成喷嘴(31)的前端安装有适配器(38)，把所述点状吹出口变换成长形的吹出口(387)，而且还设置有罩构件(93)，覆盖多个等离子体生成喷嘴(31)，在该罩构件(93)和工件之间形成窄小的空间，使从吹出口吹出并碰到工件后被弹回的等离子体，再次被推回，滞留在所述空间内。因此，可以对大面积的工件进行均匀的等离子体照射，并且通过所述空间抑制等离子体冷却，使等离子体存在比较长的时间(消失的比例变小)，可以提高照射效率。
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公开(公告)号：CN101137267A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710148035.X
申请日：2007-08-29
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H05H1/30 , B01J19/08 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/302
CPC classification number: H05B6/78 , H01J37/32192 , H01J37/32449
Abstract: 本发明提供一种等离子体发生装置以及使用这种装置的工件处理装置，该等离子体发生装置包括：微波发生部，生成微波；气体供给部，提供等离子体化的气体；等离子体发生喷嘴，包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极，并根据上述微波的能量，将上述气体等离子体化后从前端喷出；以及适配器，安装在上述等离子体发生喷嘴的前端，其中，上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电，生成等离子体，并通过向这两个电极之间供应上述气体，在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来，上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1043087C
公开(公告)日：1999-04-21
申请号：CN94116272.9
申请日：1994-09-22
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G03D13/003
Abstract: 即使在胶片处理器中的胶片馈送方向和在晒印器中的胶片馈送方向不在相同的平面内，仍能连续并自动地冲洗和晒印胶片。在胶片干燥装置下游处设置一胶片贮存装置。胶片贮存装置可移动至与延伸到晒印装置的胶片馈送路径相互对准的位置上。增加了安排胶片处理器和晒印器的自由度或灵活性。
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公开(公告)号：CN1035964C
公开(公告)日：1997-09-24
申请号：CN94116276.1
申请日：1994-09-22
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G03D13/003
Abstract: 可在如胶片冲洗和晒印等常规冲洗操作中进行加印的装置中，胶片由与其连接的导引件馈送以便冲洗和干燥。切去导引件后，将胶片送至晒印装置以将图象晒印到相纸上。在从胶片干燥装置到晒印装置路径上设置多个胶片贮存装置。各贮存装置能选择性地贮存单个胶片或不经贮存而使其通过。第二胶片贮存装置可侧向移动，以改变胶片路径。如在晒印装置中有需要长曝光时间的胶片，已冲洗和干燥的胶片可贮存在其它胶片贮有装置而不中断连续冲洗过程。
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公开(公告)号：CN101312122B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200810099703.9
申请日：2008-05-21
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: H01L21/67069
Abstract: 本发明涉及一种工件处理装置(S)，包括：等离子体发生装置(6)，具有将提供的规定气体等离子体化的等离子体发生部(18)，并从所述等离子体发生部(18)放出等离子体化的气体；输送装置(2)，在所述等离子体发生部(18)的下方支撑作为处理对象的工件(W)；通过对所述工件(W)照射等离子体化的气体，执行规定的处理；所述工件处理装置(S)还包括安装框(4)，用于安装所述等离子体发生装置(6)，以使所述等离子体发生部(18)位于工件(W)上方。而且，所述等离子体发生装置(6)相对于所述安装框(4)安装成可以从使所述等离子体发生部(18)配置在工件(W)上方的安装位置沿水平方向拉出。
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公开(公告)号：CN1062959C
公开(公告)日：2001-03-07
申请号：CN94106982.6
申请日：1994-06-03
Applicant: 诺日士钢机株式会社
Inventor： 增田滋
IPC: G03D13/00
CPC classification number: G03D13/003 , G03B17/30 , G03B2206/008 , G03B2217/261 , G03B2217/265
Abstract: 一种遮光盒，其包括一对能相互绕枢转动的夹具用以接纳一个暗盒。暗盒包括有一个胶片装入口和一个为胶片装入口设置的绕枢轴转动的遮光片以防止外界光线进入和容许胶片通过胶片装入口。夹具中之一形成一个遮盖部分用当遮光盒装于暗盒上时遮盖住胶片装入口，以防止外界光线进入胶片装入口并容许胶片通过胶片装入口被拉出。
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公开(公告)号：CN1166623A
公开(公告)日：1997-12-03
申请号：CN96112566.7
申请日：1996-09-18
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G03D3/135 , G03D13/003
Abstract: 将具有连接孔的胶片的引导部分通过引导片后侧切槽插入连接台的胶片引导凹部，连续地强迫该胶片沿上述凹部的表面移动直到引导部分的前端穿过引导片前侧切槽。在引导部分通过上述前侧切槽后，这便使引导片的舌片向上弯曲，并在进到胶片的连接孔后迅速回位，将舌片和连接孔接合。最后，向后轻轻地拉胶片，使胶片和引导片连接。
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