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公开(公告)号：CN101315875A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200810100192.8
申请日：2008-05-28
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/3065 , H05H1/26 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J37/32192 , H01J37/32825 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供等离子体生成装置和使用该装置的工件处理装置。所述等离子体生成装置在等离子体生成喷嘴(31)的前端安装有适配器(38)，把所述点状吹出口变换成长形的吹出口(387)，而且还设置有罩构件(93)，覆盖多个等离子体生成喷嘴(31)，在该罩构件(93)和工件之间形成窄小的空间，使从吹出口吹出并碰到工件后被弹回的等离子体，再次被推回，滞留在所述空间内。因此，可以对大面积的工件进行均匀的等离子体照射，并且通过所述空间抑制等离子体冷却，使等离子体存在比较长的时间(消失的比例变小)，可以提高照射效率。
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公开(公告)号：CN101137267A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710148035.X
申请日：2007-08-29
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H05H1/30 , B01J19/08 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/302
CPC classification number: H05B6/78 , H01J37/32192 , H01J37/32449
Abstract: 本发明提供一种等离子体发生装置以及使用这种装置的工件处理装置，该等离子体发生装置包括：微波发生部，生成微波；气体供给部，提供等离子体化的气体；等离子体发生喷嘴，包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极，并根据上述微波的能量，将上述气体等离子体化后从前端喷出；以及适配器，安装在上述等离子体发生喷嘴的前端，其中，上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电，生成等离子体，并通过向这两个电极之间供应上述气体，在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来，上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。
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公开(公告)号：CN1322961A
公开(公告)日：2001-11-21
申请号：CN01110273.X
申请日：2001-04-05
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: H04N1/2346 , B41J2/471 , H04N1/053 , H04N1/502 , H04N2201/02439 , H04N2201/04768 , H04N2201/04794
Abstract: 一种光扫描装置,通过在印相纸等感光材料上扫描按照图像信息所调制的各色激光进行曝光,并且不发生由于应照射在相同的位置上各色激光的偏移而发生的偏移。红色LD和绿色SHG激光元件及蓝色SHG激光元件的各光源发出的各色光束,按照图像信息由AOM进行调制。然后,对于驱动这些AOM的AOM驱动器15R、15G及15B分别通过时钟频率控制部25控制其曝光扫描时钟。
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公开(公告)号：CN100590792C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200810100192.8
申请日：2008-05-28
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/3065 , H05H1/26 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J37/32192 , H01J37/32825 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供等离子体生成装置和使用该装置的工件处理装置。所述等离子体生成装置在等离子体生成喷嘴(31)的前端安装有适配器(38)，把所述点状吹出口变换成长形的吹出口(387)，而且还设置有罩构件(93)，覆盖多个等离子体生成喷嘴(31)，在该罩构件(93)和工件之间形成窄小的空间，使从吹出口吹出并碰到工件后被弹回的等离子体，再次被推回，滞留在所述空间内。因此，可以对大面积的工件进行均匀的等离子体照射，并且通过所述空间抑制等离子体冷却，使等离子体存在比较长的时间(消失的比例变小)，可以提高照射效率。
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公开(公告)号：CN1326110A
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：CN01118227.X
申请日：2001-05-23
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: G03B27/10
CPC classification number: H04N1/6097 , H04N1/40037 , H04N1/4078
Abstract: 一种激光束扫描装置,是由发生激光束的激光光源等和能够更新存储对应图象数据的各个灰度等级的光调制数据的LUT1064和把激光光源的激光束根据LUT的光调制数据进行强度调制的AOM106R等,通过把被调制后的激光束导向扫描光学系后面的感光材料,对感光材料进行图象印制,它具有设置在激光光源下游、对应感光材料的种类等减少激光束光量的PBS及对应这个减少量来更新存储在LUT中的光调制数据的存储器更新部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101026921A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710079921.1
申请日：2007-02-17
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: H05H1/30 , B01J19/08 , C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/302
CPC classification number: H05B6/806
Abstract: 本发明的等离子体发生装置包括：微波发生部，生成微波；供气部，提供等离子体化的气体；等离子体发生喷嘴，包含接收所述微波的接收构件，并根据接收到的微波的能量，使所述气体等离子体化后喷出；以及光检测单元，检测所述等离子体化的气体发出的光，生成电信息。
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公开(公告)号：CN1259593C
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN01118227.X
申请日：2001-05-23
Applicant: 诺日士钢机株式会社
IPC: G03B27/10
CPC classification number: H04N1/6097 , H04N1/40037 , H04N1/4078
Abstract: 一种激光束扫描装置，是由发生激光束的激光光源等和能够更新存储对应图象数据的各个灰度等级的光调制数据的LUT1064和把激光光源的激光束根据LUT的光调制数据进行强度调制的AOM106R等，通过把被调制后的激光束导向扫描光学系后面的感光材料，对感光材料进行图象印制，它具有设置在激光光源下游、对应感光材料的种类等减少激光束光量的PBS及对应这个减少量来更新存储在LUT中的光调制数据的存储器更新部。
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公开(公告)号：CN1181393C
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN02158365.X
申请日：2002-12-27
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: G03B27/72
Abstract: 一种图像曝光装置，设置有：使从半导体激光元件射出的光束对感光体扫描的光束扫描机构BS，和驱动所述半导体激光元件的激光驱动机构；所述激光驱动机构，根据所输入的图像信号，使所述半导体激光元件的驱动电流变化；还设有：测定在所述半导体激光元件的设定电流范围的电流-光输出特性，并根据其测定信息、设定在所述激光驱动机构上的输入图像信号和半导体激光元件的驱动电流之间的对应关系的激光输出管理机构。这一种图像曝光装置，直接调制半导体激光元件，以形成曝光图像并可提高图像质量。
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公开(公告)号：CN101312122B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200810099703.9
申请日：2008-05-21
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: H01L21/67069
Abstract: 本发明涉及一种工件处理装置(S)，包括：等离子体发生装置(6)，具有将提供的规定气体等离子体化的等离子体发生部(18)，并从所述等离子体发生部(18)放出等离子体化的气体；输送装置(2)，在所述等离子体发生部(18)的下方支撑作为处理对象的工件(W)；通过对所述工件(W)照射等离子体化的气体，执行规定的处理；所述工件处理装置(S)还包括安装框(4)，用于安装所述等离子体发生装置(6)，以使所述等离子体发生部(18)位于工件(W)上方。而且，所述等离子体发生装置(6)相对于所述安装框(4)安装成可以从使所述等离子体发生部(18)配置在工件(W)上方的安装位置沿水平方向拉出。
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公开(公告)号：CN1194243C
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN01110273.X
申请日：2001-04-05
Applicant: 诺日士钢机株式会社
CPC classification number: H04N1/2346 , B41J2/471 , H04N1/053 , H04N1/502 , H04N2201/02439 , H04N2201/04768 , H04N2201/04794
Abstract: 一种光扫描装置，边相对地移动感光材料边进行扫描曝光，其特征在于，包括：分别射出不同波长光束的多数光源，和按照图像信息调制由所述各光源所射出的光束的多数光束的调制机构，和控制所述各光束调制机构的调制定时的定时控制机构，和沿主扫描方向偏转所述光束调制机构中已调制的光束的偏转机构，以及使由所述偏转机构所射出的光束在感光材料上聚束的光学机构；所述定时控制机构通过基准时钟发生电路变更并设定激光的各成分的基准时钟频率和扫描开始定时、而对所述各光束调制机构分别控制调制定时，以控制各色激光主扫描范围的偏移，从而使各色激光在通过所述光学机构之后的主范围一致。
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