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公开(公告)号:CN102753493A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201180009805.7
申请日:2011-02-15
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/095 , C03B19/066
Abstract: 本发明涉及一种用于生产用来拉拔单晶的石英玻璃坩埚的方法,其方式为在熔融模具中成型一个颗粒层并且将其烧结或熔化,同时形成该石英玻璃坩埚。为了给出成本低廉地生产用于石英玻璃坩埚的石英玻璃的方式,其中该石英玻璃的突出之处是较高的纯度并且不仅能够可重现地设定其无气泡程度而且还能获得明确而均匀的小孔孔隙度,根据本发明提出,将颗粒层的至少一部分用一种石英玻璃粒料来制造,其生产包括以下方法步骤:借助于滚轧成块方法将硅酸粉末机械地致密化,同时形成具有实质上统一的、类球体式的形貌的模具压制件,并且将该模具压制件或其片段热致密化成为氧化硅玻璃粒料。
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公开(公告)号:CN102906038A
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN201180026244.1
申请日:2011-05-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1492 , C03C17/004 , C03C17/02 , C03C21/003 , C03C23/0025 , C03C2217/213 , C03C2218/1525
Abstract: 本发明的基本目的是,提供一种方法,用于制造具有由透明的、少气泡的、纯净的、具有较长使用寿命的石英玻璃制成的内层的一种石英玻璃坩埚。根据本发明的目的是由一种方法实现的,该方法包括以下方法步骤:(a)制备一个具有内侧面的、由石英玻璃制成的坩埚基体,(b)通过气相沉积在坩埚基体的内侧面的至少一个部分面积上制造一个多孔SiO2灰料层,将多孔的SiO2灰料层干燥以减少羟基含量,以及在贫氢的气氛中将灰料层烧结成由透明石英玻璃制成的内层,从而将内层的石英玻璃中的羟基含量设定为小于100重量ppm。
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公开(公告)号:CN102906038B
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201180026244.1
申请日:2011-05-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1492 , C03C17/004 , C03C17/02 , C03C21/003 , C03C23/0025 , C03C2217/213 , C03C2218/1525
Abstract: 本发明的基本目的是,提供一种方法,用于制造具有由透明的、少气泡的、纯净的、具有较长使用寿命的石英玻璃制成的内层的一种石英玻璃坩埚。根据本发明的目的是由一种方法实现的,该方法包括以下方法步骤:(a)制备一个具有内侧面的、由石英玻璃制成的坩埚基体,(b)通过气相沉积在坩埚基体的内侧面的至少一个部分面积上制造一个多孔SiO2灰料层,将多孔的SiO2灰料层干燥以减少羟基含量,以及在贫氢的气氛中将灰料层烧结成由透明石英玻璃制成的内层,从而将内层的石英玻璃中的羟基含量设定为小于100重量ppm。
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