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公开(公告)号：CN102099304B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200980128236.0
申请日：2009-07-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
Abstract: 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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公开(公告)号：CN102099304A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200980128236.0
申请日：2009-07-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
Abstract: 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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