Abstract:
본 발명에 따른 막 두께 측정 장치는 분광 센서(113)와 데이터 처리부(120)를 구비한 막 두께 측정 장치로서, 상기 분광 센서는 기재 위에 도포된 막의 분광 데이터를 측정하고, 상기 데이터 처리부는 측정된 분광 데이터로부터 측정 색 특성 변수를 구하며, 이 측정 색 특성 변수를, 막의 두께 및 굴절률의 복수 세트의 값에 대해 구한 복수 세트의 이론 색 특성 변수와 비교해서, 이 측정 색 특성 변수와의 차가 가장 작은 이론 색 특성 변수에 대응하는 세트의 값을 사용하여 상기 막의 굴절률을 정하고, 상기 막의 이 굴절률을 사용하여 상기 막의 두께를 정한다.
Abstract:
본 발명은 우측의 노 벽(1R)에는 마이크로파 송신 안테나(3R)와 마이크로파 수신 안테나(4R)가 설치되고, 마이크로파 송신 안테나(3R)로부터 방사되는 마이크로파가 냉간 압연 강판(2)의 우측 모서리에서 반사되어, 반사파가 마이크로파 수신 안테나(4R)에서 수신되도록 되어 있다. 마찬가지로, 좌측의 노 벽(1L)에는 마이크로파 송신 안테나(3L)와 마이크로파 수신 안테나(4L)가 설치되고, 마이크로파 송신 안테나(3L)에서 방사되는 마이크로파가 냉간 압연 강판(2)의 좌측 모서리에서 반사되어, 반사파가 마이크로파 수신 안테나(4L)에서 수신되도록 되어 있다. 마이크로파를 송신하고 나서 반사파를 수신하기까지의 시간을 t로 하고, 마이크로파의 속도를 c 라고 하면, 마이크로파를 반사한 물체까지의 거리는 t· c/2 로 구할 수 있다. 노이즈나 분위기의 영향을 받기 어렵고, 또한 설치가 용이하고, 띠상체와의 기계적인 간섭이 적은 띠상체의 폭 방향 단부 위치 측정 방법을 제공할 수 있다.
Abstract:
막 두께 측정 장치는 광원(101)과, 분광 센서(109)와, 프로세서(120)와, 기억 장치(130)를 구비하고, 상기 광원으로부터의 광이 막을 구비한 측정 대상면(501)에 수직으로 입사하며, 측정 대상면에서 반사된 광이 상기 분광 센서에 입사하도록 구성된다. 상기 기억 장치는 막 두께마다의 반사율 분포의 이론값 및 막 두께마다의 색의 특성 변수의 이론값을 기억하고, 상기 프로세서는 상기 기억 장치에 기억된, 막 두께마다의 반사율 분포의 이론값 또는 막 두께마다의 색의 특성 변수의 이론값을 사용하여, 상기 분광 센서에 의해 측정된 반사율 분포로부터 측정 대상면의 막의 막 두께를 구하도록 구성된다.
Abstract:
본 발명은 우측의 노 벽(1R)에는 마이크로파 송신 안테나(3R)와 마이크로파 수신 안테나(4R)가 설치되고, 마이크로파 송신 안테나(3R)로부터 방사되는 마이크로파가 냉간 압연 강판(2)의 우측 모서리에서 반사되어, 반사파가 마이크로파 수신 안테나(4R)에서 수신되도록 되어 있다. 마찬가지로, 좌측의 노 벽(1L)에는 마이크로파 송신 안테나(3L)와 마이크로파 수신 안테나(4L)가 설치되고, 마이크로파 송신 안테나(3L)에서 방사되는 마이크로파가 냉간 압연 강판(2)의 좌측 모서리에서 반사되어, 반사파가 마이크로파 수신 안테나(4L)에서 수신되도록 되어 있다. 마이크로파를 송신하고 나서 반사파를 수신하기까지의 시간을 t로 하고, 마이크로파의 속도를 c 라고 하면, 마이크로파를 반사한 물체까지의 거리는 t· c/2 로 구할 수 있다. 노이즈나 분위기의 영향을 받기 어렵고, 또한 설치가 용이하고, 띠상체와의 기계적인 간섭이 적은 띠상체의 폭 방향 단부 위치 측정 방법을 제공할 수 있다.