公开(公告)号：KR1020140003457A

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：KR1020137016671

申请日：2011-02-03

Applicant: 가부시기가이샤니레꼬

Inventor： 야마모토마사히로 ,  야마쿠라다카히로 ,  가토야스마사 ,  나카오도모키

IPC: G01B15/00 ,  G01S13/88 ,  B65H26/00

CPC classification number: G01S13/06 ,  G01B15/04 ,  G01S13/325 ,  G01S13/88

Abstract: 본 발명에 의한 폭방향 단부 위치 측정 장치는, 복수의 면으로 둘러싸인 폐쇄 공간 내를 통과하는 띠모양체의 폭방향 단부의 위치를 측정하는 폭방향 단부 위치 측정 장치이다. 본 발명에 의한 폭방향 단부 위치 측정 장치는, 폭방향 단부를 향해서 전자파를 방사하여, 상기 폭방향 단부에 의해서 반사된 전자파를 수신하는 안테나와, 상기 반사된 전자파의 정보를 사용하여, 상기 폭방향 단부의 위치를 구하는 신호 처리부와, 입사한 전자파를 산란시키는 산란판을 구비하고, 상기 안테나가, 위치를 구하는 폭방향 단부에 대향하는, 상기 폐쇄 공간의 제1 면에 설치되고, 상기 산란판이 제1 면에 대향하는 제2 면에 설치되어 있다.

公开(公告)号：KR1020110038602A

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：KR1020107018972

申请日：2009-07-24

Applicant: 가부시기가이샤니레꼬

Inventor： 야마다다케오 ,  야마모토다케시 ,  야마쿠라다카히로 ,  하야시신지

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/0625

Abstract: 막 두께 측정 장치는 광원(101)과, 분광 센서(109)와, 프로세서(120)와, 기억 장치(130)를 구비하고, 상기 광원으로부터의 광이 막을 구비한 측정 대상면(501)에 수직으로 입사하며, 측정 대상면에서 반사된 광이 상기 분광 센서에 입사하도록 구성된다. 상기 기억 장치는 막 두께마다의 반사율 분포의 이론값 및 막 두께마다의 색의 특성 변수의 이론값을 기억하고, 상기 프로세서는 상기 기억 장치에 기억된, 막 두께마다의 반사율 분포의 이론값 또는 막 두께마다의 색의 특성 변수의 이론값을 사용하여, 상기 분광 센서에 의해 측정된 반사율 분포로부터 측정 대상면의 막의 막 두께를 구하도록 구성된다.