公开(公告)号：KR1020140014191A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：KR1020137025287

申请日：2011-04-12

Applicant: 가부시기가이샤니레꼬

Inventor： 야마다다케오 ,  야마모토다케시 ,  가와이신고

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/41

CPC classification number: G01B11/0625

Abstract: 본 발명에 따른 막 두께 측정 장치는 분광 센서(113)와 데이터 처리부(120)를 구비한 막 두께 측정 장치로서, 상기 분광 센서는 기재 위에 도포된 막의 분광 데이터를 측정하고, 상기 데이터 처리부는 측정된 분광 데이터로부터 측정 색 특성 변수를 구하며, 이 측정 색 특성 변수를, 막의 두께 및 굴절률의 복수 세트의 값에 대해 구한 복수 세트의 이론 색 특성 변수와 비교해서, 이 측정 색 특성 변수와의 차가 가장 작은 이론 색 특성 변수에 대응하는 세트의 값을 사용하여 상기 막의 굴절률을 정하고, 상기 막의 이 굴절률을 사용하여 상기 막의 두께를 정한다.

公开(公告)号：KR1020110038602A

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：KR1020107018972

申请日：2009-07-24

Applicant: 가부시기가이샤니레꼬

Inventor： 야마다다케오 ,  야마모토다케시 ,  야마쿠라다카히로 ,  하야시신지

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/0625

Abstract: 막 두께 측정 장치는 광원(101)과, 분광 센서(109)와, 프로세서(120)와, 기억 장치(130)를 구비하고, 상기 광원으로부터의 광이 막을 구비한 측정 대상면(501)에 수직으로 입사하며, 측정 대상면에서 반사된 광이 상기 분광 센서에 입사하도록 구성된다. 상기 기억 장치는 막 두께마다의 반사율 분포의 이론값 및 막 두께마다의 색의 특성 변수의 이론값을 기억하고, 상기 프로세서는 상기 기억 장치에 기억된, 막 두께마다의 반사율 분포의 이론값 또는 막 두께마다의 색의 특성 변수의 이론값을 사용하여, 상기 분광 센서에 의해 측정된 반사율 분포로부터 측정 대상면의 막의 막 두께를 구하도록 구성된다.