公开(公告)号：KR100254394B1

公开(公告)日：2000-12-01

申请号：KR1019970054167

申请日：1997-10-22

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: B25J7/00

Abstract: PURPOSE: A micro robot and a driving method thereof are provided to produce entire structure in an MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) method, and to use electrostatic driver of comb type to perform various operations in a cramp area. CONSTITUTION: By applying voltage to a first electrostatic driver(100), attraction is generated between comb shaped bodies. A vertical compressing spring(110) installed at an intermediate portion of a first support unit(60) is compressed to separate front leg portions(12,14) from side walls(400). By applying voltage to a second electrostatic driver(200), attraction is generate between the comb shaped bodies for compressing a horizontal compressing spring(140). Thus, the front leg portions are moved to right direction. By blocking the voltage to the first driver, the leg portions are attached to the side wall. By applying voltage to a third electrostatic driver(300), attraction is generated between the comb shaped bodies for compressing a vertical compressing spring(130) to separate rear leg portions(16,18) from the side walls. By blocking the voltage to the second driver, the rear leg portions are moved to right direction. By blocking the voltage to the third driver, the rear leg portions are attached to the side wall. Thus, a micro robot is moved to right direction.

Abstract translation: 目的：提供一种微机器人及其驱动方法，以在MEMS（微机电系统）方法中产生整个结构，并且使用梳型的静电驱动器在夹持区域中执行各种操作。 构成：通过向第一静电驱动器（100）施加电压，在梳形体之间产生吸引力。 安装在第一支撑单元（60）的中间部分处的垂直压缩弹簧（110）被压缩以将前腿部分（12,14）与侧壁（400）分开。 通过向第二静电驱动器（200）施加电压，在用于压缩水平压缩弹簧（140）的梳形体之间产生吸引力。 因此，前脚部向右方向移动。 通过阻挡第一驱动器的电压，腿部被附接到侧壁。 通过向第三静电驱动器（300）施加电压，在梳状体之间产生用于压缩垂直压缩弹簧（130）以从侧壁分离后腿部分（16,18）的吸引力。 通过阻挡第二驱动器的电压，后腿部分向右移动。 通过阻挡第三驱动器的电压，后腿部分附接到侧壁。 因此，微机械手向右移动。

公开(公告)号：KR100197207B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960056607

申请日：1996-11-22

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 송재욱 ,  김승한 ,  김의중 ,  송하성

IPC: B23Q15/00

Abstract: 본 발명은 액튜에이터로 기능하는 압전 물질과 공구사이의 상대적인 변위를 변위 감지 수단에 의해 검출하고, 이렇게 검출된 변위 신호와 상기 공구와 압전 물질 사이의 원하는 변위 값인 기준 신호 사이의 오차를 계산하고, 상기 계산된 오차를 1차 피드백 처리하여 소정의 제어 신호를 발생시키고 이렇게 발생된 신호에 의거하여 상기 압전물질을 구동하므로써 가공물을 미소 절삭하는 시스템에 있어서, 상기 기준 신호를 처리하여 수정된 기준 신호를 발생시키는 피드포워드 블록; 상기 수정된 기준 신호를 소정의 게인으로 증폭하는 피드포워드 증폭블록; 수정된 기준 신호와 상기 변위 신호 사이의 오차를 계산하는 제 2감산 블록; 상기 제 2감산 블록의 출력으로부터 소정의 제어 신호를 발생시키는 제 2피드백 블록 및 상기 1차 피드백 처리된 출력, 상기 피드포워드 증폭블록의 출력 및 상기 제 2피드백 블록의 출력을 합하여 상기 압전 물질을 구동하는 제어 신호를 발생시키는 가산 블록을 구비하여 압전 물질의 히스테리시스 특성을 보상하므로써 공구의 추종성능을 향상시킨 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019990032953A

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019970054168

申请日：1997-10-22

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: G11B21/02

Abstract: 정전 방식의 마이크로 액튜에이터에 소정의 구동 전압을 인가하여, 상기 마이크로 액튜에이터 내부의 이동자와 고정자간에 정전력을 발생시킴으로서, 상기 이동자의 이동을 제어하는 제어 장치에 관한 것으로, 소정 전압에 대응되는 이동자의 이동 변위를 검출하여 이에 대응하는 신호를 발생하는 변위센서(41); 외부로부터 입력되는 기준 이동 변위 신호와 상기 변위 센서(41)로부터 제공되는 이동자의 이동 변위 신호간의 차이 신호를 발생하는 감산부(42); 감산부(42)에서 출력되는 차이 신호의 레벨이 낮아지는 방향으로 제어하는 제 1 제어부(43); 상기 제 1 제어부(43)에서 발생되는 제 1 전압의 레벨을 증/감하여 상기 마이크로 액튜에이터의 구동 전압으로 제공하되, 상기 외부로부터 입력되는 기준 이동 변위 신호의 레벨에 의거한 피드포워드제어를 통해 상기 기준 이동 변위 신호에 대해 선형성을 갖고 있는 정전력과 변위를 생성시키는 역비선형 전압을 생성하는 보상부(45)를 구비하여 구성함을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR200306614Y1

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：KR2020020038120

申请日：2002-12-23

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 장한기 ,  허덕재 ,  김승한

IPC: G01M99/00

Abstract: 본 고안은 조립 구조물의 강성 측정 장치에 관한 것으로, 각종 체결구를 이용해 부재를 조립하여 제작된 구조물에서 체결력의 변화에 의한 강성의 변화를 측정하는 조립 구조물의 강성 측정 장치에 있어서, 외력에 의한 충격 인가에 따라 조립 구조물에서 발생하는 가속도 신호를 측정하는 가속도 측정 수단과, 측정된 가속도 신호를 전달받아 주파수로 변환하여 조립 구조물의 공진 주파수들을 추출하는 주파수 분석 수단과, 추출된 공진 주파수들과 이전 측정에서 추출된 공진 주파수들을 비교하여 그 비교 결과를 표시 수단을 통해 출력하는 제어 수단을 포함하며, 조립 구조물에 대한 강성 탐지 시간과 소요 비용이 대폭 절감되고, 구조물 전체의 강성 변화를 탐지하므로 기존의 일부 체결구를 확인하는 방식보다 높은 신뢰성을 보장하며, 조립 구조물 의 강성 측정값을 데이터베이스화하여 저장하므로 조립 구조물의 안정성을 체계적이고 지속적으로 관리할 수 있는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR100264007B1

公开(公告)日：2000-08-16

申请号：KR1019970054168

申请日：1997-10-22

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: G11B21/02

Abstract: PURPOSE: A controlling device for a microactuator is provided to perform a precise location control by using an invert function of a nonlinearity between an electrostatic force and an input voltage. CONSTITUTION: A displacement sensor(41) detects displacement of a moving body for generating a signal. A subtract unit(42) generates a difference signal between displacement signals from the displacement sensor. A first control unit(43) controls the difference signal toward a lower direction of a level of the signal. A compensate unit(45) supplies a first voltage from the first control unit. Moreover, the control unit generates an inverted nonlinearity voltage generating electrostatic and displacement through a feed forward control based on levels of a reference moving displacement signal.

Abstract translation: 目的：提供微致动器的控制装置，通过使用静电力和输入电压之间的非线性的反转功能来执行精确的位置控制。 构成：位移传感器（41）检测用于产生信号的移动体的位移。 减法单元（42）从位移传感器产生位移信号之间的差分信号。 第一控制单元（43）控制差信号朝向信号电平的下方。 补偿单元（45）从第一控制单元提供第一电压。 此外，控制单元基于参考移动位移信号的电平，通过前馈控制产生产生静电和位移的反相非线性电压。

公开(公告)号：KR100253848B1

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019970074292

申请日：1997-12-26

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: B25J7/00

Abstract: PURPOSE: A micro robot and controlling method thereof are provided to manufacture the robot less than hundreds of micrometer by MEMS(micro electro mechanical systems) process to perform various works like a super micro equipment- interior-inspection and medical work inside a blood vessel in a severely narrow space with a drive source of comb type electrostatic driver. CONSTITUTION: In a super micro robot, legs(12,14,16,18) at rear and front sides, frames(20,30) connecting the legs(14,18) and moving frames(50) in the middle of the frames(20,30) are installed. And first and fourth electrostatic drivers(100,200,300,400) driving the legs upward and downward, left and right compression springs(62,64) between front and rear frames(42,44) of front and rear moving frames(50) and front and rear compression springs(42,44) are offered herein. Upon voltage supplied to a primary electrostatic driver(100), a pulling force intermediate comb shaped bodies under electrostatic force is generated to make the left frame(20) bend upwardly causing the rear left leg(12) to drop from a floor face. With power supplied to the secondary electrostatic driver(200), electrostatic force is created so the right frame(30) is bent upwardly to drop the rear right leg(14) from a floor. The process is repeated, and a continuous movement toward a front direction occurs. The rearward movement is enabled by changing and setting a driving order of the first and fourth electrostatic drivers(100,400) and second and third electrostatic drivers(200,300).

Abstract translation: 目的：提供一种微型机器人及其控制方法，用于通过MEMS（微电机械系统）工艺制造小于数百微米的机器人，以执行诸如超微型设备 - 内部检查和血管内的医疗工作的各种工作 具有梳型静电驱动器的驱动源的严格狭窄的空间。 构成：在超微型机器人中，在后部和前侧的腿部（12,14,16,18），将框架（20,30）连接在框架中间的腿部（14,18）和移动框架（50） （20,30）。 第一和第四静电驱动器（100,200,300,400）向上和向下驱动腿，前和后移动框架（50）的前框架和后框架（42,44）之间的左右压缩弹簧（62,64）以及前后压缩 弹簧（42,44）在这里提供。 当提供给主静电驱动器（100）的电压时，产生在静电力下中间梳状体的牵引力，以使左框架（20）向上弯曲，使得后左腿（12）从地板面落下。 当提供给二次静电驱动器（200）的电力时，产生静电力，使得右框架（30）向上弯曲以使后右腿（14）从地板上落下。 重复该过程，并且发生朝向正向的连续运动。 通过改变和设定第一和第四静电驱动器（100,400）和第二和第三静电驱动器（200,300）的驱动顺序来使能向后运动。

公开(公告)号：KR100211930B1

公开(公告)日：1999-08-02

申请号：KR1019960029797

申请日：1996-07-23

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: B23Q17/00

Abstract: 본 발명은 압전소자를 이용한 미소절삭장치에 관한 것으로, 특히, 절삭도구인 다이아몬드를 장착하는 생크를 외팔보 형태로 제조하여 공구대에 설치하고, 상기 생크의 전면 또는 후면에 압전 폴리머를 부착하며, 상기 생크 뒷쪽 공구대에 다이아몬드의 변위를 측정할 수 있는 갭센서를 설치하여 제어가 용이하고, 제작이 간편한 미소절삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

公开(公告)号：KR100270273B1

公开(公告)日：2000-10-16

申请号：KR1019980011189

申请日：1998-03-31

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: G11B21/02

Abstract: PURPOSE: A controlling device for a micro-actuator is provided to precisely control a location by using an inverse function of non-linearity between a constant power and an input voltage. CONSTITUTION: A displacement sensor(41) detects moved displacement(y1) of a moving body of a micro-actuator(40) for supplying a corresponding signal to one input terminal of a subtract unit(42). A signal corresponding to a reference moved displacement(y2) is inputted through the other input terminal of the subtract unit. A control unit(43) separates a feedback controller and a linearity function. The feedback controller generates a feedback control voltage corresponding to a differential signal from the subtract unit. The linearity function converts the control voltage into a reverse non-linearity for supplying a linearity voltage to an amplify unit(46). The amplify unit amplifies the linearity voltage for supplying as a driving voltage of the micro-actuator.

Abstract translation: 目的：提供用于微致动器的控制装置，以通过使用恒定功率和输入电压之间的非线性的反函数来精确地控制位置。 构成：位移传感器（41）检测用于向减法单元（42）的一个输入端提供相应信号的微致动器（40）的移动体的移动位移（y1）。 通过减法单元的另一输入端输入与基准移动位移（y2）对应的信号。 控制单元（43）分离反馈控制器和线性函数。 反馈控制器产生对应于来自减法单元的差分信号的反馈控制电压。 线性函数将控制电压转换成用于向放大单元（46）提供线性电压的反向非线性。 放大单元将用于供应的线性电压放大为微致动器的驱动电压。

公开(公告)号：KR100242157B1

公开(公告)日：2000-03-02

申请号：KR1019970074291

申请日：1997-12-26

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: B41J2/06

Abstract: 본 발명은 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, 빗형상체(102)에 n개의 핑거(104)가 하방으로 돌출되는 고정자(110)와, 빗형상체(122)에 n + 1개의 핑거(124)가 상방으로 돌출되고, 빗형상체(122)에 연결된 외부 프레임(130)으로 이루어진 이동자(120)로 구성된 정전구동기(100)와, 헤드 몸체(210)의 일측부에 잉크 유입구(212)가 형성되고, 다이어프램(220)이 상기 정전구동기(100)의 외부 프레임(130)에 연결되고, 잉크분사판(230)에 잉크 분사노즐(232)이 형성되어, 내부에 압력챔버(240)가 형성된 프린터 헤드부(200)로 구성되어, 상기 정전구동기(100)의 고정자 및 이동자(110)(120)에 전압을 인가하면, 상호간에 끌어당기는 방향으로 발생되는 정전력에 의해 상기 프린터 헤드부(200)에 압력을 가함으로서, 상기 압력챔버(240)내의 잉크를 상기 잉크 분사판(230)의 잉크 분사� ��즐(232)을 통해 분사하고, 상기 정전구동기(100)의 복원에 의해 상기 잉크 유입구(212)를 통해 잉크가 유입되어 상기 압력챔버(240)에 채워지는 것으로, 정전구동기의 고정자 및 이동자사이의 간격이 불과 수 μm(

10
-6

m)이하이므로, 프린터 헤드의 노즐 한 개에 대한 압력챔버 및 다이아프램 등을 구성하는 프린터 헤드부의 크기를 수백 μm로 제작가능하게 되므로, 전체적인 헤드구조를 소형화 하고, 발생되는 변위를 크게할 수 있는 이점을 가진다.

公开(公告)号：KR1019990054470A

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019970074291

申请日：1997-12-26

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김승한

IPC: B41J2/06

Abstract: 본 발명은 정전구동형 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, 빗형상체(102)에 n개의 핑거(104)가 하방으로 돌출되는 고정자(110)와, 빗형상체(122)에 n + 1개의 핑거(124)가 상방으로 돌출되고, 빗형상체(122)에 연결된 외부 프레임(130)으로 이루어진 이동자(120)로 구성된 정전구동기(100)와, 헤드 몸체(210)의 일측부에 잉크 유입구(212)가 형성되고, 다이어프램(220)이 상기 정전구동기(100)의 외부 프레임(130)에 연결되고, 잉크분사판(230)에 잉크 분사노즐(232)이 형성되어, 내부에 압력챔버(240)가 형성된 프린터 헤드부(200)로 구성되어, 상기 정전구동기(100)의 고정자 및 이동자(110)(120)에 전압을 인가하면, 상호간에 끌어당기는 방향으로 발생되는 정전력에 의해 상기 프린터 헤드부(200)에 압력을 가함으로서, 상기 압력챔버(240)내의 잉크를 상기 잉크 분사판(230)의 잉크 분사� ��즐(232)을 통해 분사하고, 상기 정전구동기(100)의 복원에 의해 상기 잉크 유입구(212)를 통해 잉크가 유입되어 상기 압력챔버(240)에 채워지는 것으로, 정전구동기의 고정자 및 이동자사이의 간격이 불과 수 μm(

10
-6

m)이하이므로, 프린터 헤드의 노즐 한 개에 대한 압력챔버 및 다이아프램 등을 구성하는 프린터 헤드부의 크기를 수백 μm로 제작가능하게 되므로, 전체적인 헤드구조를 소형화 하고, 발생되는 변위를 크게할 수 있는 이점을 가진다.