公开(公告)号：KR100527816B1

公开(公告)日：2005-11-15

申请号：KR1020030003374

申请日：2003-01-17

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 안준은 ,  조현주 ,  이재철

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 마이크로머시닝을 이용한 미세 구조체 패턴의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 본 발명의 제조 방법은 희생층 및 식각 대상물이 적층된 반도체 기판 상부에 미세 구조체 패턴 영역을 정의하는 제 1식각 마스크와, 미세 구조체 패턴 사이의 오픈 영역에서 서로 소정 간격 이격되며 다수개의 미세한 식각 패턴을 갖는 제 2식각 마스크를 형성하는 단계와, 제 1 및 제 2식각 마스크에 의해 드러난 식각 대상물을 패터닝하는 단계와, 식각 대상물 아래 희생층을 패터닝하되, 제 1식각 마스크의 희생층 일부가 제거되도록 패터닝하는 단계와, 희생층 패터닝에 의해 플로팅된 제 2식각 패턴과 그 아래 식각 대상물을 제거하면서 제 1식각 패턴 및 식각 잔여물을 제거하여 미세 구조체 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 따라서, 본 발명은 미세 구조체 패턴 사이의 오픈 영역에 다수개의 균일 또는 불균일 식각 패턴을 갖는 마스크를 이용하여 오픈 영역의 식각 구조물 일부를 남기고 이후 이를 제거함으로써 미세 구조체 패턴 사이의 간격 차이로 인한 식각률 차이로 인해 발생하는 로딩 현상, 푸팅 현상 등을 미연에 방지한다.

公开(公告)号：KR100460637B1

公开(公告)日：2004-12-09

申请号：KR1020020006619

申请日：2002-02-05

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 이재철 ,  문건 ,  조현주 ,  이동찬

IPC: G01C19/66

Abstract: PURPOSE: An axial vibrator of a ring laser gyroscope is provided to make the axial vibrator in a compact size and to allow the axial vibrator to be easily attached/detached to/from a mono-block. CONSTITUTION: An axial vibrator(21) of a ring laser gyroscope includes a plurality of elastic bending driving spokes(22), which are radially aligned. An upper plate(23) is positioned on the elastic bending driving spokes(22). A lower plate(25) is positioned under the elastic bending driving spokes(22). A plurality of bolt coupling holes(24,26) is formed in the lower plate(25) in order to couple the lower plate(25) to a base frame by means of a bolt. A plurality of piezoelectric devices is installed on the elastic bending driving spokes(22). The upper plate(23) is aligned in parallel to the lower plate(25). The elastic bending driving spokes(22) are vertically installed with respect to the upper and lower plates(23,25).

Abstract translation: 目的：提供一种环形激光陀螺仪的轴向振动器，以使轴向振动器尺寸紧凑并且允许轴向振动器容易地连接到单块或从单块上拆下。 组成：环形激光陀螺仪的轴向振动器（21）包括径向对齐的多个弹性弯曲驱动辐条（22）。 上板（23）位于弹性弯曲驱动辐条（22）上。 下板（25）位于弹性弯曲驱动辐条（22）的下方。 多个螺栓连接孔（24,26）形成在下板（25）中，以便借助于螺栓将下板（25）连接到基架。 多个压电装置安装在弹性弯曲驱动辐条（22）上。 上板（23）平行于下板（25）对齐。 弹性弯曲驱动辐条（22）相对于上板和下板（23,25）垂直安装。

公开(公告)号：KR1020030066256A

公开(公告)日：2003-08-09

申请号：KR1020020006619

申请日：2002-02-05

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 이재철 ,  문건 ,  조현주 ,  이동찬

IPC: G01C19/66

Abstract: PURPOSE: An axial vibrator of a ring laser gyroscope is provided to make the axial vibrator in a compact size and to allow the axial vibrator to be easily attached/detached to/from a mono-block. CONSTITUTION: An axial vibrator(21) of a ring laser gyroscope includes a plurality of elastic bending driving spokes(22), which are radially aligned. An upper plate(23) is positioned on the elastic bending driving spokes(22). A lower plate(25) is positioned under the elastic bending driving spokes(22). A plurality of bolt coupling holes(24,26) is formed in the lower plate(25) in order to couple the lower plate(25) to a base frame by means of a bolt. A plurality of piezoelectric devices is installed on the elastic bending driving spokes(22). The upper plate(23) is aligned in parallel to the lower plate(25). The elastic bending driving spokes(22) are vertically installed with respect to the upper and lower plates(23,25).

Abstract translation: 目的：提供环形激光陀螺仪的轴向振动器，以使轴向振动器的尺寸更小，并允许轴向振动器容易地从单块块上拆卸。 构成：环形激光陀螺仪的轴向振动器（21）包括径向对准的多个弹性弯曲驱动辐条（22）。 上板（23）位于弹性弯曲驱动轮辐（22）上。 下板（25）位于弹性弯曲驱动轮辐（22）的下方。 多个螺栓联接孔（24,26）形成在下板（25）中，以便通过螺栓将下板（25）连接到基架上。 多个压电装置安装在弹性弯曲驱动轮辐（22）上。 上板（23）与下板（25）平行配置。 弹性弯曲驱动轮辐（22）相对于上板和下板（23,25）竖直安装。

公开(公告)号：KR200191637Y1

公开(公告)日：2000-08-16

申请号：KR2019970040325

申请日：1997-12-24

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김미로 ,  이재철 ,  조남효 ,  최석환

IPC: F02B29/04

Abstract: 본 고안은 자동차에 사용되는 터보차저에 의해 고온고압으로 된 공기를 저온고압으로 냉각시켜 엔진에 공급하는 자동차용 인터쿨러의 배관구조에 관한 것으로서, 본 고안의 일실시예인 자동차용 인터쿨러의 배관구조는 중앙에 배플막(13,23)이 설치되어 제1 및 제2 상부탱크(11,21)와 제1 및 제2 하부탱크(12,22)로 구분되는 제1 및 제2 탱크(10,20)와, 압축공기가 유동하도록 상기 제1 및 제2 탱크(10,20)사이에 연결된 다수개의 튜브(3)와, 압축공기를 방열시키도록 상기 튜브(3)사이에 설치된 방열핀(4)과, 제1 및 제2 유입관(51,52)으로 분기되어 상기 제1 유입관(51)은 제2 하부탱크(22)에 연결되고 상기 제2 유입관(52)은 제1 상부탱크(11)에 연결된 유입관(50)과, 제1 및 제2 유출관(61,62)을 구비하여 상기 제1 유출관(61)은 제2 상부탱크(21)에 연결되고 상기 제2 유출관(62)은 제 1 하부탱크(12)에 연결된 유출관(60)으로 구성되어 있으므로, 인터쿨러를 통과하여 라디에이터로 유입되는 외부공기가 상기 인터쿨러에서 라디에이터의 전 면적을 대해 비교적 균일하게 가열된 후 라디에이터로 유입되도록 하여 상기 라디에이터내부의 냉각수를 비교적 균일하게 냉각시킴으로써 라디에이터의 냉각효율을 높이는 뛰어난 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970048680A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950046470

申请日：1995-12-04

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김진태 ,  이동희 ,  이재철

IPC: G02B26/00

Abstract: 본 발명은 레이저 다이오드(Laser-Diode)의 빔 발산영역의 가로축(X)과 세로축(Y)의 길이의 비가 다를 경우 집속되는 빔의 형상을 필요로 하는 원형상태로 만들어 주기 위한 레이저 다이오드용 집속 광학계에 관한 것으로, 양면이 소정 곡률을 갖는 메니스커스(Meniscus)형 제1, 제2렌즈(10)(20)와 평볼록형 제3렌즈(30)를 일직선상에 소정 간격으로 배치하여 제3렌즈(30)를 통한 빔의 방향이 평행하게 진행되도록 한 제1렌즈군(100)을 구성하고, 양면이 소정 곡률을 갖는 마니스커스(Maniscus)형 제4, 제5렌즈(40)(50)와 평볼록형 제6렌즈(60)를 일직선상에 소정간격으로 배치하여 제6렌즈(60)를 통한 빔의 방향이 집속되도록 한 제2렌즈군(200)을 구성하며, 상기 제1렌즈군(100)과 제2렌즈군(200)이 소정간격으로 일직선상에 배치되도록 구성하므로서 고가의 실린더 렌즈가 아닌 비 저렴한 일반 구면 렌즈를 사용하여 렌즈의 곡률을 설계 및 가공하기 용이하고, 렌즈의 가공공수를 절약할 수 있으며 렌즈의 배치가 용이하도록 하는데 그 특징이 있다.

公开(公告)号：KR100508572B1

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：KR1020030039149

申请日：2003-06-17

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 조현주 ,  이재철 ,  손승현 ,  정병무

IPC: G01C19/66

Abstract: 본 발명은 고주파 방전을 이용한 링 레이저 자이로스코프로서, 빛이 진행하는 방향에 수직하게 공진기의 외부에 위치하도록 상부의 일측에 세장의 전극삽입홈이 형성된 링 레이저 자이로스코프 본체와, 상기 전극삽입홈에 삽입되어, 상기 공진기 내부의 가스를 여기시켜 플라즈마를 발생시키도록 고주파가 인가되는 전극을 포함하므로, 공진기의 외부에서 평면 평탄형 전극이 위치하고 이 전극에 고주파를 인가함으로서 플라즈마에 의하여 여기된 양이온과 음이온이 빛의 진행방향에 수식한 방향으로 움직이게 되므로, 빛이 진행하는 방향으로 가스흐름이 발생하지 않게 된다. 또한, 전극이 공진기의 외부에 존재함으로서 발생한 이온이 전극에 직접 닿지 않고 공진기의 벽면에 입사하므로, 전극물질이 떨어지는 것이 방지되므로, 센서의 수명이 연장되는 효과를 가진다.

公开(公告)号：KR1020040066341A

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：KR1020030003374

申请日：2003-01-17

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 안준은 ,  조현주 ,  이재철

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a pattern of a fine structure by micromachining is provided to prevent a loading phenomenon and a footing phenomenon by eliminating an etch structure in an open region between the patterns of the fine structure while a part of the etch structure remains wherein a mask having a plurality of uniform or ununiform etch patterns is used. CONSTITUTION: The first etch mask(106a) for defining a fine structure pattern region is formed on a semiconductor substrate(100) in which a sacrificial layer and an etch target material are stacked. The second etch masks(106b) are separated from each other by a predetermined interval in the open region between the fine structure patterns, including a plurality of fine etch patterns. The etch target material exposed by the first and second etch masks are patterned. The sacrificial layer under the etch target material is so patterned that a part of the sacrificial layer of the second etch mask is eliminated. While the first etch mask is removed, the second etch mask and the floating etch target material under the second etch mask are eliminated to form the fine structure pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种通过微加工制造精细结构图案的方法，以通过消除在精细结构的图形之间的开放区域中的蚀刻结构，同时蚀刻结构的一部分保留其中，以防止加载现象和基脚现象 使用具有多个均匀或不均匀蚀刻图案的掩模。 构成：用于限定精细结构图案区域的第一蚀刻掩模（106a）形成在半导体衬底（100）上，其中层叠牺牲层和蚀刻靶材料。 第二蚀刻掩模（106b）在精细结构图案之间的开放区域中以预定间隔彼此分开，包括多个精细蚀刻图案。 对由第一和第二蚀刻掩模曝光的蚀刻目标材料进行图案化。 在蚀刻目标材料下方的牺牲层被图案化，以消除第二蚀刻掩模的牺牲层的一部分。 当去除第一蚀刻掩模时，消除第二蚀刻掩模和第二蚀刻掩模之下的浮置蚀刻目标材料以形成精细结构图案。

公开(公告)号：KR100199773B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019950046468

申请日：1995-12-04

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김진태 ,  이재철

IPC: G02B26/00

Abstract: 본 발명은 레이저 다이오드(Laser-Diode)의 빔 발산영역의 가로축(X)과 세로축(Y)의 길이의 비가 다를 경우 집속되는 빔의 형상을 필요로 하는 원형상태로 만들어 주기 위한 5매 구면렌즈를 이용한 레이저 다이오드용 집속 광학계에 관한 것으로, 양면이 소정 곡률을 갖는 제1, 제2렌즈(10)(20)와 평볼록형 제3레즈(30)를 일직선상에 소정간격으로 배치하여 제3렌즈(30)를 통한 빔의 방향이 평행하게 진행되도록 한 제1렌즈군(100)을 구성하고, 양면이 소정 곡률을 갖는 제4, 제5렌즈(40)(50)를 일직선상에 소정간격으로 배치하여 제5렌즈(50)를 통한 빔의 방향이 집속되도록 한 제2렌즈군(200)을 구비하며, 상기 제1렌즈군(100)과 제2렌즈군(200)이 소정간격으로 일직선상에 배치되도록 구성하므로서, 고가의 실린더 렌즈나 6매 구면렌즈를 사용한 집속광학계용 렌즈보다 저렴� �� 비용으로 가공이 가능하고, 렌즈 매수의 감소에 따른 가공공수를 절약할 수 있으며, 렌즈의 배치가 용이하도록 하는데 그 특징이 있다.

公开(公告)号：KR100146274B1

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019940040615

申请日：1994-12-31

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 홍정미 ,  홍성수 ,  손승현 ,  이재철

IPC: G01C19/64

Abstract: 고체 환형 레이저 자이로스코프가 개시되어 있다. 자이로스코프는 제 1 파장을 가진 광빔을 생성하는 레이저 다이오드와, 레이저 다이오드로부터 출사되는 광빔을 집속하는 집속광학계와, 입사면을 통해 내부로 입사된 광빔을 외주반사면에 의해 시계방향 및 반시계방향으로 내부 매질내에서 회전시키고, 시계방향으로 회전된 광빔을 제 1 출사광빔으로 출사시키고, 반시계방향으로 회전된 광빔을 제 2 출사광빔으로 출사시키는 Nd:YAG 결정 환형 공진기와, 집속광학계와 환형 공진기 사이의 광로상에 위치하고, 상기 집속광학계로부터 제공되고, 저반사 코팅된 제 1 면으로 입사되는 광빔은 거의 통과시키고, 상기 환형 공진기로부터 제공되고 고반사 코팅된 제 2 면으로 입사되는 제 2 파장의 광빔을 거의 반사시키는 광여파기를 포함한다. 따라서 환형 공진기로부터 출사된 변조된 광빔에 의해 레이저 다이오드의 발진특성이 불안정해지는 것을 방지함으로써 주파수특성을 안정화시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100126762B1

公开(公告)日：1997-10-16

申请号：KR1019930021113

申请日：1993-10-12

Applicant: 고등기술연구원연구조합 ,  에스티씨"폴리우스퀀트"오프알디아이"폴리우스"

Inventor： 이재철 ,  에이.리빈체프 ,  와이.골리예프 ,  브이.드미트리예프

IPC: G01C19/06