국부 원자층 선택 박막 증착 장치
    1.
    发明申请
    국부 원자층 선택 박막 증착 장치 审中-公开
    选择区原子层沉积装置

    公开(公告)号:WO2016186299A1

    公开(公告)日:2016-11-24

    申请号:PCT/KR2016/001938

    申请日:2016-02-26

    Abstract: 본 발명은, 소스 가스 및 퍼지 가스를 공급하여 기판 표면에 원자층 박막을 증착시키는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치에 있어서, 반응 챔버와, 상기 반응 챔버 내에 배치되고, 일면 상에 기판이 배치되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 상대 가동 가능하게 배치되는 컴비네이션 노즐부와, 상기 기판에 원자층 박막을 형성하기 위한 프리커서 및 산화제를 공급하는 가스 공급부가 구비되고, 상기 컴비네이션 노즐부는, 상기 기판의 일면을 선택적으로 국부 가열시키는 레이저를 조사하는 레이저 코어를 구비하고, 상기 가스 공급부는, 적어도 일부가 상기 레이저 코어에 근접 배치되고 상기 기판의 일면으로 상기 레이저 코어에 의하여 선택적으로 국부 가열되는 영역에 가열된 상기 기판 영역에 흡착되는 프리커서 및 상기 프리커서의 리간드를 제거하는 산화제를 제공하는 것을 특징으로 하는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치를 제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置,其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上,该装置包括:反应室; 设置在所述反应室内的台,设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元,设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元,其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂,其中所述组合喷嘴单元具有激光芯,所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面,并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻,并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域,其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。

    무선 통신 시스템에서 데이터 패킷을 송수신하는 방법 및 장치

    公开(公告)号:WO2021075762A1

    公开(公告)日:2021-04-22

    申请号:PCT/KR2020/013180

    申请日:2020-09-28

    Abstract: 본 개시는 무선 통신 시스템에서 데이터 패킷을 송수신하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 상기 방법은 제1 코어 네트워크에 포함되는 복수의 네트워크 기능(Network Function, 이하 NF)의 일부 또는 전부에 대응되는 적어도 하나의 VNF(Virtual Network Function)를 프로비저닝(provisioning)하는 단계, 상기 프로비저닝 된 적어도 하나의 VNF를 상기 제1 코어 네트워크에 등록하는 단계, 사용자 단말로부터 제1 패킷을 수신하여, 상기 제1 코어 네트워크의 UPF(User Plane Function)와 전자 디바이스 사이의 제1 경로 및 제2 코어 네트워크의 UPF와 상기 전자 디바이스 사이의 제2 경로 중 어느 경로로 상기 제1 패킷을 전송할지 결정하는 단계 및 상기 결정된 경로를 통해 상기 제1 패킷을 전송하는 단계를 포함한다.

    이동통신 시스템에서 핸드오버 방법 및 장치

    公开(公告)号:WO2020036424A1

    公开(公告)日:2020-02-20

    申请号:PCT/KR2019/010328

    申请日:2019-08-13

    Abstract: 일 실시예에 따르면, 이동통신 시스템에서 소스 기지국(source base station)의 핸드오버 방법은, UPF(User Plane Function)의 패킷 중복 전송의 시작을 지시하는 지시자를 수신하는 단계; 및 상기 UPF의 패킷 중복 전송의 시작을 지시하는 지시자를 기초로, 적어도 하나 이상의 미전송 패킷을 타겟 기지국(target base station)으로 전송하는 단계를 포함하고, 상기 패킷 중복 전송은, 상기 UPF가 상기 소스 기지국으로 전송하는 패킷과 동일한 패킷을 상기 타겟 기지국으로 전송하는 동작이고, 상기 남은 패킷은, 상기 패킷 중복 전송이 시작되기 이전에 상기 UPF로부터 수신하였으나 단말로 전송하지 못하고 저장되어 있는 패킷일 수 있다.

    뇌파 측정 기술을 이용하여 언어 능숙도를 진단하는 방법

    公开(公告)号:WO2021107362A1

    公开(公告)日:2021-06-03

    申请号:PCT/KR2020/012761

    申请日:2020-09-22

    Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 뇌파 측정 기술을 이용하여 언어 능숙도를 진단하는 방법은, 어근의 길이 및 어절의 빈도에 기반하여 분류되고 복수의 자극 요소들을 포함하는 자극 목록을 생성하는 단계와, 상기 자극 목록에 포함되는 상기 복수의 자극 요소들을 사용자에게 제공하며 미리 설정된 시간 이후 사용자의 응답을 확인하고, 상기 사용자의 응답에 상응하는 제1 뇌파를 측정하는 단계와, 상기 제1 뇌파와 모국어 화자의 제2 뇌파 사이의 파형을 비교하고, 상기 제1 뇌파와 상기 제2 뇌파의 파형 비교 결과에 따라 상기 사용자의 언어 능숙도를 평가하는 단계를 포함한다.

    국부 원자층 선택 박막 증착 장치
    6.
    发明公开
    국부 원자층 선택 박막 증착 장치 有权
    用于在衬底上选择性地沉积局部区域的原子层的装置

    公开(公告)号:KR1020160135049A

    公开(公告)日:2016-11-24

    申请号:KR1020150068010

    申请日:2015-05-15

    Abstract: 본발명은, 소스가스및 퍼지가스를공급하여기판표면에원자층박막을증착시키는국부원자층선택박막증착장치에있어서, 반응챔버와, 상기반응챔버내에배치되고, 일면상에기판이배치되는스테이지와, 상기스테이지상부에상기스테이지와상대가동가능하게배치되는컴비네이션노즐부와, 상기기판에원자층박막을형성하기위한프리커서및 산화제를공급하는가스공급부가구비되고, 상기컴비네이션노즐부는, 상기기판의일면을선택적으로국부가열시키는레이저를조사하는레이저코어를구비하고, 상기가스공급부는, 적어도일부가상기레이저코어에근접배치되고상기기판의일면으로상기레이저코어에의하여선택적으로국부가열되는영역에가열된상기기판영역에흡착되는프리커서및 상기프리커서의리간드를제거하는산화제를제공하는것을특징으로하는국부원자층선택박막증착장치를제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置,其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上,该装置包括:反应室; 设置在所述反应室内的台,设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元,设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元,其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂,其中所述组合喷嘴单元具有激光芯,所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面,并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻,并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域,其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。

    국부 원자층 선택 박막 증착 장치
    7.
    发明授权
    국부 원자층 선택 박막 증착 장치 有权
    用于在衬底上选择性地沉积局部区域的原子层的装置

    公开(公告)号:KR101715223B1

    公开(公告)日:2017-03-14

    申请号:KR1020150068010

    申请日:2015-05-15

    Abstract: 본발명은, 소스가스및 퍼지가스를공급하여기판표면에원자층박막을증착시키는국부원자층선택박막증착장치에있어서, 반응챔버와, 상기반응챔버내에배치되고, 일면상에기판이배치되는스테이지와, 상기스테이지상부에상기스테이지와상대가동가능하게배치되는컴비네이션노즐부와, 상기기판에원자층박막을형성하기위한프리커서및 산화제를공급하는가스공급부가구비되고, 상기컴비네이션노즐부는, 상기기판의일면을선택적으로국부가열시키는레이저를조사하는레이저코어를구비하고, 상기가스공급부는, 적어도일부가상기레이저코어에근접배치되고상기기판의일면으로상기레이저코어에의하여선택적으로국부가열되는영역에가열된상기기판영역에흡착되는프리커서및 상기프리커서의리간드를제거하는산화제를제공하는것을특징으로하는국부원자층선택박막증착장치를제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置,其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上,该装置包括:反应室; 设置在所述反应室内的台,设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元,设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元,其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂,其中所述组合喷嘴单元具有激光芯,所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面,并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻,并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域,其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。

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