웨이퍼 검사장치
    7.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2018230752A1

    公开(公告)日:2018-12-20

    申请号:PCT/KR2017/006268

    申请日:2017-06-15

    Abstract: 본 발명은 웨이퍼검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 자성박막이 형성된 웨이퍼의 일측면에 대하여 자기력선이 수직 또는 평행한 방향으로 진행하도록 자기장을 형성시키는 자기장발생부; 상기 웨이퍼의 적어도 일부 영역으로서 상기 자기장발생부에 의하여 형성된 자기장에 의한 영향이 미쳐지는 영역인 측정영역에 대하여, 마이크로파(microwave)를 주사시키는 마이크로파가이드부; 및 상기 마이크로파가이드부에 의해 상기 측정영역에 주사되어 반사(reflected) 또는 전도(transmitted)된 파(wave)를 수신하는 감지부를 포함한다.

    실리콘 고분자 비대칭 복합막 및 이의 제조방법
    8.
    发明申请
    실리콘 고분자 비대칭 복합막 및 이의 제조방법 审中-公开
    硅胶聚合物不对称复合膜及其制备方法

    公开(公告)号:WO2013151248A1

    公开(公告)日:2013-10-10

    申请号:PCT/KR2013/002111

    申请日:2013-03-15

    Abstract: 본 발명은 실리콘 고분자 및 기공형성제를 포함하는 고분자 용액을 지지체 상 도포하는 단계; 및 상기 지지체를 비용매에 함침하여 상전이시킴으로써 비대칭 복합막을 형성하는 단계;를 포함하는 실리콘 고분자 비대칭 복합막의 제조방법 및 실리콘 고분자 비대칭 복합막을 제공한다. 본 발명의 실리콘 고분자 비대칭 복합막의 제조방법은 간단한 상전이 방법만으로 진행되므로 제조효율이 우수하고, 실리콘 고분자를 이용하여 무기막의 특성을 가져 내열성 및 강도가 뛰어나면서도, 수투과 특성이 우수하여 수처리 용도의 다양한 분야에 적용될 수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供了一种用于硅氧烷聚合物不对称复合膜的制备方法,包括以下步骤:将包含有机硅聚合物和成孔剂的聚合物溶液涂布在载体上; 并通过将载体浸入非溶剂中使载体进行相变而形成不对称复合膜,本发明还提供了硅氧烷聚合物不对称复合膜。 本发明的硅氧烷聚合物不对称复合膜的制造方法仅使用简单的相变法进行,因此可以用于水处理的各个领域,因为生产效率突出,并且使用有机硅聚合物 带来无机膜的特性,耐热性和强度优异,但透水性优异。

    금속-유기 구조체를 포함하는 수처리용 분리막 및 이의 제조방법
    9.
    发明申请
    금속-유기 구조체를 포함하는 수처리용 분리막 및 이의 제조방법 审中-公开
    包含金属有机框架的水处理膜及其制造方法

    公开(公告)号:WO2013122334A1

    公开(公告)日:2013-08-22

    申请号:PCT/KR2013/000470

    申请日:2013-01-21

    Abstract: 본 발명은 금속-유기 구조체(metal-organic framework, MOF) 및 폴리아마이드 고분자를 포함하는 활성층; 및 분리막 지지층;을 포함하는 수처리용 분리막 및 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 수처리용 분리막은 수투과성 및 염배제율이 우수하여 액체투과성이며 수처리용으로, 다가 이온을 배제할 수 있는 나노여과막에 적합하며, 구체적으로 초순수의 제조, 음용수 처리, 폐수 전처리, 경수 연수화, 해수의 탈염 및 담수화와 같은 용도를 위한 역삼투 여과막 수처리에 적용할 수 있어 공정상의 에너지 효율성을 높여 공정에 소요되는 비용을 감소시킬 수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供了一种用于水处理的膜,包括:包含金属 - 有机骨架(MOF)和聚酰胺聚合物的活性层; 和膜支撑层。 本发明还提供一种膜的制造方法。 根据本发明的水处理膜在透水性和脱盐率方面是优异的,并且是液体可渗透的并且在水处理中是有用的,因此适用于排除离子的纳滤膜。 更具体地说,本发明的膜可以用于超纯水,饮用水处理,废水预处理,水软化处理,海水淡化处理和海水淡化的反渗透过滤处理,从而提高能量效率 的流程并降低流程所需的成本。

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