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    웨이퍼 검사장치
    3.
    发明申请
    웨이퍼 검사장치 审中-公开

    公开(公告)号：WO2018230752A1

    公开(公告)日：2018-12-20

    申请号：PCT/KR2017/006268

    申请日：2017-06-15

    Applicant: 한국기초과학지원연구원 ,  한국과학기술연구원

    Inventor： 박승영 ,  김상일 ,  조영훈 ,  민병철

    IPC: H01L21/66 ,  G01R1/20

    Abstract: 본 발명은 웨이퍼검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 자성박막이 형성된 웨이퍼의 일측면에 대하여 자기력선이 수직 또는 평행한 방향으로 진행하도록 자기장을 형성시키는 자기장발생부; 상기 웨이퍼의 적어도 일부 영역으로서 상기 자기장발생부에 의하여 형성된 자기장에 의한 영향이 미쳐지는 영역인 측정영역에 대하여, 마이크로파(microwave)를 주사시키는 마이크로파가이드부; 및 상기 마이크로파가이드부에 의해 상기 측정영역에 주사되어 반사(reflected) 또는 전도(transmitted)된 파(wave)를 수신하는 감지부를 포함한다.

    실리콘 고분자 비대칭 복합막 및 이의 제조방법
    5.
    发明申请
    실리콘 고분자 비대칭 복합막 및 이의 제조방법 审中-公开
    硅胶聚合物不对称复合膜及其制备方法

    公开(公告)号：WO2013151248A1

    公开(公告)日：2013-10-10

    申请号：PCT/KR2013/002111

    申请日：2013-03-15

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 백경열 ,  황승상 ,  홍순만 ,  이상협 ,  박상희 ,  박희경 ,  김성혜 ,  조영훈 ,  정지영 ,  박호범 ,  구종민

    IPC: B01D69/12 ,  B01D69/10 ,  B01D71/70 ,  C08J5/22

    CPC classification number: B01D67/009 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/70 ,  B01D2325/20 ,  B01D2325/22 ,  B01D2325/24

    Abstract: 본 발명은 실리콘 고분자 및 기공형성제를 포함하는 고분자 용액을 지지체 상 도포하는 단계; 및 상기 지지체를 비용매에 함침하여 상전이시킴으로써 비대칭 복합막을 형성하는 단계;를 포함하는 실리콘 고분자 비대칭 복합막의 제조방법 및 실리콘 고분자 비대칭 복합막을 제공한다. 본 발명의 실리콘 고분자 비대칭 복합막의 제조방법은 간단한 상전이 방법만으로 진행되므로 제조효율이 우수하고, 실리콘 고분자를 이용하여 무기막의 특성을 가져 내열성 및 강도가 뛰어나면서도, 수투과 특성이 우수하여 수처리 용도의 다양한 분야에 적용될 수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供了一种用于硅氧烷聚合物不对称复合膜的制备方法，包括以下步骤：将包含有机硅聚合物和成孔剂的聚合物溶液涂布在载体上; 并通过将载体浸入非溶剂中使载体进行相变而形成不对称复合膜，本发明还提供了硅氧烷聚合物不对称复合膜。 本发明的硅氧烷聚合物不对称复合膜的制造方法仅使用简单的相变法进行，因此可以用于水处理的各个领域，因为生产效率突出，并且使用有机硅聚合物 带来无机膜的特性，耐热性和强度优异，但透水性优异。

    금속-유기 구조체를 포함하는 수처리용 분리막 및 이의 제조방법
    6.
    发明申请
    금속-유기 구조체를 포함하는 수처리용 분리막 및 이의 제조방법 审中-公开
    包含金属有机框架的水处理膜及其制造方法

    公开(公告)号：WO2013122334A1

    公开(公告)日：2013-08-22

    申请号：PCT/KR2013/000470

    申请日：2013-01-21

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 백경열 ,  박상희 ,  황승상 ,  홍순만 ,  구종민 ,  박호범 ,  조영훈

    IPC: B01D69/12 ,  B01D69/10 ,  B01D71/56 ,  B01D71/02

    CPC classification number: B01D69/10 ,  B01D61/025 ,  B01D61/027 ,  B01D69/02 ,  B01D69/148 ,  B01D71/56 ,  B01D2325/20 ,  C02F1/44 ,  C02F1/441 ,  C02F1/442 ,  Y02A20/131

    Abstract: 본 발명은 금속-유기 구조체(metal-organic framework, MOF) 및 폴리아마이드 고분자를 포함하는 활성층; 및 분리막 지지층;을 포함하는 수처리용 분리막 및 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 수처리용 분리막은 수투과성 및 염배제율이 우수하여 액체투과성이며 수처리용으로, 다가 이온을 배제할 수 있는 나노여과막에 적합하며, 구체적으로 초순수의 제조, 음용수 처리, 폐수 전처리, 경수 연수화, 해수의 탈염 및 담수화와 같은 용도를 위한 역삼투 여과막 수처리에 적용할 수 있어 공정상의 에너지 효율성을 높여 공정에 소요되는 비용을 감소시킬 수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供了一种用于水处理的膜，包括：包含金属 - 有机骨架（MOF）和聚酰胺聚合物的活性层; 和膜支撑层。 本发明还提供一种膜的制造方法。 根据本发明的水处理膜在透水性和脱盐率方面是优异的，并且是液体可渗透的并且在水处理中是有用的，因此适用于排除离子的纳滤膜。 更具体地说，本发明的膜可以用于超纯水，饮用水处理，废水预处理，水软化处理，海水淡化处理和海水淡化的反渗透过滤处理，从而提高能量效率 的流程并降低流程所需的成本。

    웨이퍼 검사장치
    9.
    发明授权
    웨이퍼 검사장치 有权

    公开(公告)号：KR101929240B1

    公开(公告)日：2018-12-17

    申请号：KR1020170075927

    申请日：2017-06-15

    Applicant: 한국기초과학지원연구원 ,  한국과학기술연구원

    Inventor： 박승영 ,  김상일 ,  조영훈 ,  민병철

    IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G01N22/02 ,  G01N27/82 ,  G01R33/12

    Abstract: 본 발명은 웨이퍼검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 자성박막이 형성된 웨이퍼의 일측면에 대하여 자기력선이 수직 또는 평행한 방향으로 진행하도록 자기장을 형성시키는 자기장발생부; 상기 웨이퍼의 적어도 일부 영역으로서 상기 자기장발생부에 의하여 형성된 자기장에 의한 영향이 미쳐지는 영역인 측정영역에 대하여, 마이크로파(microwave)를 주사시키는 마이크로파가이드부; 및 상기 마이크로파가이드부에 의해 상기 측정영역에 주사되어 반사(reflected) 또는 전도(transmitted)된 파(wave)를 수신하는 감지부;를 포함하므로 웨이퍼를 손상시키지 않는 비파괴방식으로 웨이퍼 상에 형성된 자성박막의 자기적 성질을 측정검사할 수 있으며, 자성박막이 형성된 웨이퍼 그 자체에 대하여 그대로 측정을 실시할 수 있으므로 생산성과 품질을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다.

    수처리용 분리막 및 그 제조 방법
    10.
    发明公开
    수처리용 분리막 및 그 제조 방법 有权
    用于水过滤的膜和其制造方法

    公开(公告)号：KR1020130102884A

    公开(公告)日：2013-09-23

    申请号：KR1020120024055

    申请日：2012-03-08

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 구종민 ,  백경열 ,  황승상 ,  홍순만 ,  박호범 ,  정지영 ,  이장우 ,  조영훈 ,  유승건 ,  박상희

    IPC: B01D71/06 ,  B01D69/00 ,  B01D39/08 ,  D01D5/00

    CPC classification number: B01D67/0083 ,  B01D71/34 ,  B01D71/36 ,  B01D71/42 ,  B01D71/52 ,  B01D71/68 ,  B01D71/82 ,  B01D2323/39 ,  B01D2325/26 ,  B29C71/02 ,  B29C2071/022

    Abstract: PURPOSE: A membrane for water treatment is provided to be able to implement a membrane for water treatment with a high water permeability and membrane pollution prevention, and a manufacturing method thereof, and to be able to reduce the operation cost and to maintain the lifespan of the membrane for a long time. CONSTITUTION: A membrane (10) for water treatment includes nanofibers (20) and has a surface charge (30). The nanofibers form a net form, and have the diameter of 10-1000 nm. The nanofibers include ionic polymer and non-ionic polymer. The ionic polymer has an ionic functional group. The ionic functional group includes at least one selected from the group consisting of sulfonate, carboxylate, phosphate, amine and ammonium. The polymer having at least one functional group selected from the group consisting of sulfonate, carboxylate and phosphate includes at least one selected from the group consisting of Nafion, sulfonated polyether-ether-ketone, and carboxylated polyether-ether-ketone. A manufacturing method of a membrane for water treatment comprises a step of manufacturing a mixed solution by mixing ionic polymer and non-ionic polymer; a step of manufacturing a membrane including nanofibers with the mixed solution by using the elctrospinning method; and a step of heat-treating the membrane.

    Abstract translation: 目的：提供一种用于水处理的膜以能够实现具有高透水性和膜污染防止性的水处理膜及其制造方法，并且能够降低操作成本并保持寿命 膜长时间。 构成：用于水处理的膜（10）包括纳米纤维（20）并具有表面电荷（30）。 纳米纤维形成网状，直径为10-1000nm。 纳米纤维包括离子聚合物和非离子聚合物。 离子聚合物具有离子官能团。 离子官能团包括选自磺酸盐，羧酸盐，磷酸盐，胺和铵中的至少一种。 具有选自磺酸盐，羧酸盐和磷酸盐的至少一种官能团的聚合物包括选自Nafion，磺化聚醚醚酮和羧基化聚醚醚酮中的至少一种。 用于水处理的膜的制造方法包括通过混合离子聚合物和非离子聚合物来制造混合溶液的步骤; 通过使用旋光纺丝法制备具有混合溶液的纳米纤维的膜的步骤; 以及对膜进行热处理的步骤。

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