-
1.发明公开
公开(公告)号：KR1020080053345A
公开(公告)日：2008-06-12
申请号：KR1020087008125
申请日：2006-09-05
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/56
Abstract: Provided are a film forming apparatus by which an expensive organic EL material can be used without wasting it and an organic EL film can be uniformly formed over a long period of time, and a jig for such film forming device. A single material container section is provided with a plurality of blow out containers. A switching device is provided for switching a piping system, which vaporizes the organic EL material in the material container section and supplies each blow out container with the vaporized material with a carrier gas, to a piping system of other blow out container. The use efficiency of the organic EL material is improved by supplying the blow out containers with the organic EL material from the single material container section by switching.
Abstract translation: 提供一种成膜装置，通过该成膜设备可以使用昂贵的有机EL材料而不浪费它，并且可以长时间均匀地形成有机EL膜，以及用于这种成膜装置的夹具。 单个材料容器部分设置有多个吹出容器。 提供了一种开关装置，用于切换管道系统，该管道系统使材料容器部分中的有机EL材料蒸发，并将每个吹出容器中的气化材料与载气供应到其它吹出容器的管道系统。 通过切换从单一材料容器部分向吹出容器提供有机EL材料来改善有机EL材料的使用效率。
-
公开(公告)号：KR1020080046267A
公开(公告)日：2008-05-26
申请号：KR1020087008930
申请日：2006-09-19
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: Provided are an evaporating jig by which a thin film, especially an organic EL film, can be uniformly formed over a long time, and a film forming apparatus including the evaporating jig. The evaporating jig is provided with an evaporating pan, having a bottom plane and side planes arranged to stand from the bottom plane, for defining a material containing space opened inside the side planes; and partitioning plates for partitioning the material containing space into a plurality of partial spaces. The partitioning plates are provided with locking pieces having a height which permits the partial spaces to be continuous on a bottom plane side of the evaporating pan.
Abstract translation: 提供了一种蒸发夹具，通过该蒸发夹具可以长时间均匀地形成薄膜，特别是有机EL膜，以及包括蒸发夹具的成膜设备。 蒸发夹具设置有蒸发盘，其具有布置成从底平面放置的底平面和侧平面，用于限定在侧平面内开口的材料容纳空间; 以及用于将包含空间的材料分隔成多个部分空间的分隔板。 分隔板设置有具有允许部分空间在蒸发盘的底平面侧上连续的高度的锁定件。
-
公开(公告)号：KR101011961B1
公开(公告)日：2011-01-31
申请号：KR1020077023939
申请日：2006-03-28
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/24 , H01L51/0008 , H01L51/0081 , H01L51/56
Abstract: 분사 용기에 유기 EL 분자 가스를 분사하는 구성을 구비한 성막 장치에 있어서, 복수의 유기 EL 원료 용액과, 복수의 유기 EL 원료 용기와 분사 용기를 접속하는 배관계를 갖고, 복수의 유기 EL 원료 용기는 선택적으로 유기 EL 분자 공급 상태가 되고, 당해 배관계는, 각 유기 EL 원료 용기 내에, 성막시와 비성막시가 동일한 압력이 되도록 수송 가스를 공급하도록 구성되어 있다. 비성막시, 수송 가스는 유기 EL 원료 용기의 하나로부터 다른 원료 용기로 흐른다.
성막 장치, 분사 용기, 배관계, 기화 수단-
Patent Agency Ranking4.发明授权
公开(公告)号：KR100990060B1
公开(公告)日：2010-10-29
申请号：KR1020087008125
申请日：2006-09-05
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/56
Abstract: 고가의 유기 EL 원료를 낭비 없이 이용함과 함께, 유기 EL 막을 장시간에 걸쳐 균일하게 성막할 수 있는 성막 장치 및 그것을 위한 지그를 제공한다. 단일한 원료 용기부에 대해, 복수의 취출 용기를 구비하고, 원료 용기부의 유기 EL 원료를 기화시켜 캐리어 가스와 함께 각 취출 용기에 공급하는 배관계를 다른 취출 용기의 배관계로 전환하는 전환기를 구비하고 있다. 이와 같이, 복수의 취출 용기에 대해, 단일한 원료 용기부로부터 유기 EL 원료를 전환 공급함으로써, 유기 EL 원료의 이용 효율을 개선할 수 있다.
유기 EL 장치, 성막 장치, 배관계, 전환기, 이용 효율, 캐리어 가스-
公开(公告)号：KR1020070113299A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：KR1020077023939
申请日：2006-03-28
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/24 , H01L51/0008 , H01L51/0081 , H01L51/56 , H01L2227/32
Abstract: This invention provides an apparatus for film formation, comprising a blowout vessel having a construction for blowing out an organic EL molecular gas. The apparatus comprises a plurality of organic EL material vessels and a piping system for connecting the plurality of organic EL material vessels to the blowout vessel. The plurality of organic EL material vessels constructed so as to be selectively brought to an organic EL molecule feed state. The piping system is constructed so that the transport gas is fed into each organic EL material vessel in such a manner that the pressure during film formation and the pressure during non-film formation are equal to each other. During non-film formation, the transport gas is allowed to flow from one of the organic EL material vessels to other material vessel.
Abstract translation: 本发明提供了一种用于成膜的装置，包括具有吹出有机EL分子气体的结构的吹出容器。 该装置包括多个有机EL材料容器和用于将多个有机EL材料容器连接到吹出容器的管道系统。 多个有机EL材料容器被构造成选择性地进入有机EL分子进料状态。 管道系统被构造成使得输送气体以这样的方式进给到每个有机EL材料容器中，使得成膜期间的压力和非成膜期间的压力彼此相等。 在非成膜期间，允许运输气体从有机EL材料容器之一流动到其他材料容器。
-
公开(公告)号：KR1020130126754A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：KR1020137029223
申请日：2006-08-29
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠
CPC classification number: C23C16/44 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 유기 EL 원료 등의 성막용 재료를 추정하는 방법에 있어서, 증발량 (V (％)) 이 V ＝ (Ko/P) × e
-Ea/kT (단, Ko 는 상수 (％·Torr), P 는 압력 (Torr), Ea 는 활성화 에너지 (eV), k 는 볼츠만 상수, T 는 절대 온도) 로 나타내어지는 성막용 재료를 상기 상수 (Ko) 의 값과 상기 활성화 에너지 (Ea) 의 값에 의해 추정한다.-
公开(公告)号：KR1020080041259A
公开(公告)日：2008-05-09
申请号：KR1020087006479
申请日：2006-08-29
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠
CPC classification number: C23C16/44 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/56 , H01L21/02263
Abstract: Disclosed is a method for prediction of a film material such as a raw material for organic EL. In the method, a film material having an evaporation rate (V(%)) represented by the formula below can be predicted based on the values of the constant (Ko) and the activation energy (Ea). V = (Ko/P) x e-Ea/kT wherein Ko represents a constant (%.Torr), P represents a pressure (Torr), Ea represents an activation energy (eV), k represents a Boltzmann constant, and T represents an absolute temperature.
Abstract translation: 公开了一种用于预测有机EL原料的薄膜材料的方法。 在该方法中，可以基于常数（Ko）和活化能（Ea）的值来预测具有由下式表示的蒸发速率（V（％））的膜材料。 V =（Ko / P）×e-Ea / kT其中Ko表示常数（％.Torr），P表示压力（Torr），Ea表示活化能（eV），k表示玻尔兹曼常数，T表示 绝对温度。
-
公开(公告)号：KR101431415B1
公开(公告)日：2014-08-18
申请号：KR1020137029223
申请日：2006-08-29
Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠
CPC classification number: C23C16/44 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 유기 EL 원료 등의 성막용 재료를 추정하는 방법에 있어서, 증발량 (V (％)) 이 V ＝ (Ko/P) × e
-Ea/kT (단, Ko 는 상수 (％·Torr), P 는 압력 (Torr), Ea 는 활성화 에너지 (eV), k 는 볼츠만 상수, T 는 절대 온도) 로 나타내어지는 성막용 재료를 상기 상수 (Ko) 의 값과 상기 활성화 에너지 (Ea) 의 값에 의해 추정한다.
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.058 seconds)
