公开(公告)号：KR1019980065084A

公开(公告)日：1998-10-07

申请号：KR1019980023942

申请日：1998-06-24

Applicant: 광전자정밀주식회사

Inventor： 조장연 ,  권대갑 ,  박성림 ,  심종엽

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 원자간력 현미경(AFM : Atomic Force Microscopy)용 초정밀 3축 스테이지에 관한 것으로;
본 발명의 목적은, 판스프링 원리를 이용한 이중복합선형 스프링 구조로서, 하나의 몸체를 이루는 초정밀 3축 스테이지를 구현하여, 이 3축 스테이지를 이용, 반도체 웨이퍼와 같은 극 미세 구조의 시편을, 측정하고자 하는 정밀 위치로 이동되게 하므로서, 시편의 표면 측정시 형상 왜곡의 주요원인이 되는 3축의 상호간섭 및 불필요한 자유도를 기구적으로 상쇄시킴과 동시에 체결에의한 오차나 마모 등의 문제점을 해결한 원자간력 현미경용 초정밀 3축스테이지를 제공함에 있는 것이다.
따라서, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;
헤드와 초정밀 위치결정기구로 구성되며, 헤드의 미세레버에 의해 입사되는 레이져를 반사시켜, 이에 반사되는 레이져를 감광장치로서 측정하여 웨이퍼 시편의 표면정보를 산출되도록 한 원자간력 현미경에 있어서;
상기, 초정밀 위치결정기구는 구성을 이루는 기초로서 베이스가 형성되고, 베이스 상부면 중앙으로는 이중복합선형 스프링구조로서, 압전소자에 의해 좌우측 방향으로 구동되는 X축 가이드와, X축 가이드 내측으로, 압전소자에 의해 전후방향으로 구동되는 Y축 가이드와, Y축 가이드 내측으로 홀더를 구비한후, 압전소자에 의해 상하 방향으로 구동되는 Z축 가이드가 일체로 형성되며 3축을 이루고, 이에, X축 가이드와, Y축가이드와, Z축 가이드가 상호 3차원 방향으로 구동됨있어 선형운동을 유도하는 수단으로서 베이스의 상부면의 X축 방향과, Y축 방향의 일측끝단 으로는 각각 감지센서(정전용량형 센서)를 갖는 센서홀더를 부착시키므로서 달성된다.

公开(公告)号：KR100280870B1

公开(公告)日：2001-03-02

申请号：KR1019980023942

申请日：1998-06-24

Applicant: 광전자정밀주식회사

Inventor： 조장연 ,  권대갑 ,  박성림 ,  심종엽

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 원자간력 현미경(AFM : Atomic Force Microscopy)용 초정밀 3축 스테이지에 관한 것으로 본 발명은 헤드의 미세레버에 의해 입사되는 레이져를 반사시켜, 이에 반사되는 레이져를 감광장치로서 측정하여 시편의 표면정보를 산출할 수 있도록 되도록 3축이동이 가능한 초정밀 위치결정기구를 형성한 원자간력 현미경용 초정밀 3축 스테이지에 있어서 상기, 초정밀 위치결정기구는 구성을 이루는 기초로서 베이스가 형성되고, 베이스 중앙으로는 X축선상과 수직이 되도록 X축이중복합선형 스프링홀을 형성하고 상기 베이스의 내측의 X축선상 일측 중앙에 형성된 압전소자에 의해 상기 X축이중복합선형 스프링홀이 변형되어 좌우측 방향으로 구동되는 X축 가이드와 상기 X축 가이드 내측으로 Y축선상과 수직이 되도록 Y축이중복합선형 스프링홀을 형성하고 Y축전방 중앙에 형성된 압전소자에 의해 상기 Y축이 중복합선형 스프링홀이 변형되어 전후방향으로 구동되는 Y축 가이드와 상기 Y축 가이드 내측 중앙부에 수직으로 형성되고 내부에는 Z축 방향과 수직선상으로 Z축이 중복합선형 스프링홀을 형성하고 하측 중앙부에 형성된 압전소자에 의해 Z축이중복합선형 스프링홀이 변형되어 상하 방향으로 구동되는 Z축 가이드와 상기 X축 가이드와, Y축가이드와, Z축 가이드가 설정된 신호에 의해 이동될 때 이동된 X, Y, Z축을 감지하여 감지신호를 발생하도록 베이스의 상부면에 각 감지센서를 갖는 센서홀더로 구성되는 것을 특징으로 한다.