公开(公告)号：KR100280869B1

公开(公告)日：2001-03-02

申请号：KR1019980023941

申请日：1998-06-24

Applicant: 광전자정밀주식회사

Inventor： 조장연 ,  권대갑 ,  박성림 ,  정회원

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며, 미세하게 조작되는 레버 끝에 위치한 미세팁이 검사물의 표면에 작용하여 레버가 휘어지는 정도를 측정하므로서 반도체 칩등으로 구성되는 검사물의 표면 형상정보를 측정하는 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2개의 판이 강성의 유연힌지로 연결되어 레이져 이동기구를 구성하되, 고정판으로 4개의 나사구멍을 구성하고 하판과는 기울기 조절나사가 일체로 연결되어 상기 기울기 조절나사의 작동에 따른 유연힌지의 탄성변형에 의해 회동판의 일측으로 설치되는 레이져빔의 위치조절이 이루어지게하여 정확한 검사물의 형상정보를 측정할 수 있는 유연힌지를 이용한 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 자체강성에 의해 회동되는 유연힌지를 통해 레이져와 미세레버가 각,각 위치 및 각도조절되게하여 표면측정을 위한 위치설정 작업이 간편하고, 미세한 변형량까지 측정되게하여 검사물의 정확한 표면높이정보를 얻을 수 있도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;
검사물이 고정되는 홀더를 X,Y,Z 측으로 이동시키는 수단으로서의 3축 스테이지와, 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며 상기 검사물의 표면상에 미세레버의 미세팁을 놓이게 하고 이 미세레버의 끝단으로 레이져빔을 입사시켜 그 반사되는 레이져빔을 감광장치로 측정하여 검사물의 표면높이정보를 산출하는 헤드로 구성되는 반도체 칩 등의 원자간력 현미경에 있어서,
상기 레이져와 미세레버의 위치와 각도조절 수단으로서,
회동판과 고정판이 유연힌지에 의해 일체로 연결되며 상기 고정판으로는 4방향으로 나사구멍이 일정간격 구성되어 이 나사구멍으로 기울기 조절나사가 결합구성되는 위치결정부를 각,각 구성시켜 상기 레이져다이오드와 미세레버를 설치시키므로서 레이져빔과 미세레버의 위치와 각도조절에 따라 상기 미세레버에 반사되는 레이져빔의 위치가 제어되도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 구비하므로서 달성된다.

公开(公告)号：KR1019980065083A

公开(公告)日：1998-10-07

申请号：KR1019980023941

申请日：1998-06-24

Applicant: 광전자정밀주식회사

Inventor： 조장연 ,  권대갑 ,  박성림 ,  정회원

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며, 미세하게 조작되는 레버 끝에 위치한 미세팁이 검사물의 표면에 작용하여 레버가 휘어지는 정도를 측정하므로서 반도체 칩등으로 구성되는 검사물의 표면 형상정보를 측정하는 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2개의 판이 강성의 유연힌지로 연결되어 레이져 이동기구를 구성하되, 고정판으로 4개의 나사구멍을 구성하고 하판과는 기울기 조절나사가 일체로 연결되어 상기 기울기 조절나사의 작동에 따른 유연힌지의 탄성변형에 의해 회동판의 일측으로 설치되는 레이져빔의 위치조절이 이루어지게하여 정확한 검사물의 형상정보를 측정할 수 있는 유연힌지를 이용한 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 자체강성에 의해 회동되는 유연힌지를 통해 레이져와 미세레버가 각,각 위치 및 각도조절되게하여 표면측정을 위한 위치설정 작업이 간편하고, 미세한 변형량까지 측정되게하여 검사물의 정확한 표면높이정보를 얻을 수 있도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;
검사물이 고정되는 홀더를 X,Y,Z 측으로 이동시키는 수단으로서의 3축 스테이지와, 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며 상기 검사물의 표면상에 미세레버의 미세팁을 놓이게 하고 이 미세레버의 끝단으로 레이져빔을 입사시켜 그 반사되는 레이져빔을 감광장치로 측정하여 검사물의 표면높이정보를 산출하는 헤드로 구성되는 반도체 칩 등의 원자간력 현미경에 있어서,
상기 레이져와 미세레버의 위치와 각도조절 수단으로서,
회동판과 고정판이 유연힌지에 의해 일체로 연결되며 상기 고정판으로는 4방향으로 나사구멍이 일정간격 구성되어 이 나사구멍으로 기울기 조절나사가 결합구성되는 위치결정부를 각,각 구성시켜 상기 레이져다이오드와 미세레버를 설치시키므로서 레이져빔과 미세레버의 위치와 각도조절에 따라 상기 미세레버에 반사되는 레이져빔의 위치가 제어되도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 구비하므로서 달성된다.