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公开(公告)号：KR101423988B1
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：KR1020120145150
申请日：2012-12-13
Applicant: 광주과학기술원
CPC classification number: G01N21/718 , G01J3/28 , G01J3/443
Abstract: 본 발명은 레이저 플라즈마 스펙트럼을 이용한 시료 내 측정 대상 원소의 정량 분석 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 분광 스펙트럼에서 피크가 서로 겹쳐 있는 경우 피크 강도를 계산하여 측정 대상 원소의 조성 비율을 분석할 수 있는 방법과 측정 대상 원소의 정량분석 시 내부표준법(internal standard method)을 적용할 때 피크 강도의 상관관계 플롯의 선형성과 검량 곡선 데이터(피크 강도 비)의 표준편차를 기울기로 나눈 값을 통하여 가장 정밀도와 재현성이 높은 파장의 피크를 선택하는 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101461120B1
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：KR1020130052152
申请日：2013-05-08
Applicant: 광주과학기술원
IPC: G01N21/71
CPC classification number: G01N21/718 , Y02E10/541 , Y02E10/543 , G01J3/443 , G01N21/63 , H01J37/32935
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 CIGS 박막의 정량분석 방법은, 성분 조성이 다른 복수의 CIGS 박막에 레이저를 조사하여 분광선을 얻는 단계, 상기 분석 대상 원소의 분광선들 중 제1 분광선과 제2 분광선을 선택하고 상기 제1 분광선의 측정된 강도와 상기 제2 분광선의 측정된 강도의 상관 관계 플롯을 얻는 단계, 상기 상관 관계 플롯을 곡선 근사한 결과를 이용하여 상기 제1 분광선의 측정된 강도와 상기 제2 분광선의 측정된 강도를 보정하는 단계, 상기 제1 분광선의 보정된 강도와 상기 제2 분광선의 보정된 강도를 이용하여 선형 검량 곡선을 얻는 단계, 및 분석 대상인 시료를 LIBS 분석하여 상기 선형 검량 곡선과 대비하는 단계를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明的一个实施方案涉及一种CIGS薄膜的定量分析方法，其包括：通过将激光辐射到具有彼此不同元素组成的多个CIGS薄膜而获得光谱线的步骤; 在要分析的元素的谱线中选择第一谱线和第二谱线的步骤，以及获得第一谱线的测量强度和第二谱线的测量强度的相关图; 使用相关图的曲线近似结果补偿第一光谱线的测量强度和第二光谱线的测量强度的步骤; 使用第一光谱线的补偿强度和第二光谱线的补偿强度来获得线性校准曲线的步骤; 以及对待分析样品进行LIBS分析的步骤，并将分析结果与线性校准曲线进行比较。
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公开(公告)号：KR1020140076755A
公开(公告)日：2014-06-23
申请号：KR1020120145150
申请日：2012-12-13
Applicant: 광주과학기술원
CPC classification number: G01N21/718 , G01J3/28 , G01J3/443
Abstract: The present invention relates to a quantitative analysis method for an element to be measured inside a sample using a laser plasma spectrum and, more specifically, to a method to analyze the composition ratio of an element to be measured by calculating a peak intensity when peaks are overlapped with each other in a spectrum. In addition, the present invention relates to a method to select a wavelength with the highest accuracy and reproducibility through a linear correlation plot for a peak intensity and a value resulted from dividing the standard deviation of the calibration-curve data (peak intensity ratio) by a gradient when applying an internal standard method during quantitative analysis on the element to be measured.
Abstract translation: 本发明涉及使用激光等离子体光谱的样品内部待测量的元素的定量分析方法，更具体地，涉及通过计算峰值时的峰值强度来分析待测元素的组成比的方法 在频谱中彼此重叠。 此外，本发明涉及一种通过线性相关图选择具有最高精度和重现性的波长的方法，峰值强度和将校准曲线数据的标准偏差（峰强度比）除以 在定量分析时对待测元素应用内标法的梯度。
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公开(公告)号：KR1020140130840A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：KR1020130049310
申请日：2013-05-02
Applicant: 광주과학기술원
IPC: G01N21/71
CPC classification number: G01J3/443 , G01N21/718 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명의 제1 실시예에 따른 CIGS 박막의 깊이에 따른 성분 정량분석 방법은, CIGS 박막에 레이저 빔을 조사하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 플라즈마로부터 발생하는 분광선을 얻는 단계, 상기 CIGS 박막의 특정 원소의 분광선들 중 특성이 유사한 분광선들을 선택하는 단계, 및 상기 선택된 분광선들의 강도를 합한 값을 이용하여 성분 조성을 측정하는 단계를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，根据CIGS薄膜的深度定量分析物质的方法包括：通过将激光束照射到CIGS薄膜并获得从等离子体产生的光谱线来产生等离子体的步骤; 在CIGS薄膜的特定元素的谱线中选择具有相似特征的谱线的步骤; 以及使用增加所选谱线强度的值来测量物质组成的步骤。
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