公开(公告)号：KR1020160110837A

公开(公告)日：2016-09-22

申请号：KR1020150035096

申请日：2015-03-13

Applicant: 광주과학기술원 ,  재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 박성주 ,  송선혜 ,  홍상현 ,  이효주 ,  강장원 ,  조창희 ,  송보경

IPC: H01B13/00 ,  H01B1/08 ,  H01B1/02

CPC classification number: H01L33/42 ,  H01L31/0224 ,  H01L51/5215 ,  H01B13/0026 ,  H01B1/02 ,  H01B1/08

Abstract: 금속나노홀패턴층을구비한다층투명전극이제공된다. 구체적으로, 상기다층투명전극은, 하부산화물층, 상기하부산화물층상에배치된금속나노홀패턴층및 상기금속나노홀패턴층상에배치된상부산화물층을포함할수 있다. 이에, 본발명은금속나노홀패턴층의패턴주기및 나노홀크기를조절함으로써, 상기금속나노홀패턴층에의해발생되는표면플라즈몬현상을통해특정파장영역에서의다층투명전극의투과도를향상시킬수 있다. 또한, 본발명의금속나노홀패턴층을구비한다층투명전극은홀 크기를조절하여최적화된면저항을구현할수 있어, 이를적용한소자의전기적특성을향상시킬수 있다.

Abstract translation: 提供了包括金属纳米孔图案层的多层透明电极。 具体地，多层透明电极包括：低氧化物层; 安装在低氧化物层上的金属纳米孔图案层; 以及安装在金属纳米孔图案层上的上氧化层。 因此，多层透明电极可以通过由金属纳米孔图案层产生的表面等离子体现象来改善预定波长区域的透射率。 此外，包括金属纳米孔图案层的多层透明电极可以通过控制孔的尺寸来实现优化的表面电阻，从而提高施加多层透明电极的元件的电特性。

公开(公告)号：KR101689852B1

公开(公告)日：2016-12-26

申请号：KR1020150084737

申请日：2015-06-16

Applicant: 광주과학기술원

Inventor： 박성주 ,  이효주 ,  송선혜

IPC: G06F3/041 ,  H01B5/14

Abstract: 그리드패턴구조를포함하는다층투명전극이제공된다. 구체적으로, 상기다층투명전극은, 기판상에순차적으로배치된하부산화물층, 금속층및 상부산화물층을포함하며, 상기하부산화물층, 상기금속층및 상기상부산화물층은서로대응되는그리드(grid) 패턴구조로형성된것일수 있다. 상기다층투명전극은표면플라즈몬현상으로인해종래의금속그리드패턴구조의투명전극에비해상대적으로높은그리드의충진율에서도투과도를향상시킬수 있으며, 그리드시인성을개선할수 있다. 또한, 하부산화물층및 상기상부산화물층이상기금속층이병렬저항구조를가짐으로써산화물층이금속층의전도채널로작용하여, 같은두께의금속그리드구조의투명전극보다낮은면저항을구현할수 있다.