-
公开(公告)号:KR102067626B1
公开(公告)日:2020-01-17
申请号:KR1020160170524
申请日:2016-12-14
Applicant: 국민대학교산학협력단
IPC: C23C16/48 , C23C16/458 , C23C16/44 , C23C16/16 , C23C16/455 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/268
-
公开(公告)号:KR101865847B1
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:KR1020170009734
申请日:2017-01-20
Applicant: 국민대학교산학협력단
IPC: B07C5/00
CPC classification number: B07C5/00
Abstract: 본발명은복수의젓가락의방향이불규칙적으로뒤섞인상태로젓가락을투입하면젓가락의무게중심위치에따라젓가락이양측방향으로분리되어낙하하여젓가락이일방향으로자동배열될수 있도록한 젓가락자동분별장치에관한것으로, 본발명에따른젓가락자동분별장치는, 하부에젓가락이통과하는장공형의슬롯이상하로관통되게형성되어, 젓가락의방향이불규칙하게혼재된상태로투입되는호퍼부재와; 상기호퍼부재의슬롯의하부에배치되며, 상기슬롯을통해낙하하는젓가락이무게중심위치에따라양측으로분리될수 있도록 '∧' 형태를갖는분리부재와; 상부면이개방된통 형태로되어, 상기분리부재의양측단부에배치되어분리부재를통해낙하하는젓가락을수납하는 2개의수납통;을포함하는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号:KR101839212B1
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:KR1020160087176
申请日:2016-07-08
Applicant: 국민대학교산학협력단
IPC: C23C16/48 , C23C16/16 , C23C16/448 , C23C16/52 , C23C16/458
Abstract: 레이저화학기상증착법을사용한코발트막형성방법을제공한다. 본발명에따른코발트막형성방법은기판상에 Co(CO)가스및 캐리어가스를공급하는단계및 기판상에공급된 Co(CO)가스에레이저빔을가하여상기 Co(CO)가스의열분해및/또는광분해통해기판상에코발트막을증착하는단계를포함할수 있다. 본발명에따르면, 특정증착조건에서의레이저화학기상증착공정을통하여우수한전기전도도와순도를가지는 Co(코발트) 박막을증착할수 있다. 또한, 직접적인묘사(writing)가가능한레이저화학기상증착법을통하여보다간단한선택적패턴형성이가능하도록한다. 나아가, 고해상도디스플레이패널에적용이가능한좁은선 폭과낮은비저항을갖는디스플레이패널의수리공정을제공할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种使用激光化学气相沉积形成钴膜的方法。 根据本发明的形成钴膜的方法包括以下步骤:将Co(CO)气体和载气提供到基板上,并且将激光束施加到提供在基板上的Co(CO)气体以分解和/ 或通过光解在基底上沉积钴膜。 根据本发明,可以在特定的沉积条件下通过激光化学气相沉积工艺沉积具有优异的导电性和纯度的Co(钴)薄膜。 另外,可以通过激光化学气相沉积来实现更简单的选择性图案形成,这允许直接书写。 此外,可以提供适用于高分辨率显示面板的具有窄线宽和低电阻率的显示面板的修复过程。
-
公开(公告)号:KR1020180006603A
公开(公告)日:2018-01-18
申请号:KR1020160087176
申请日:2016-07-08
Applicant: 국민대학교산학협력단
IPC: C23C16/48 , C23C16/16 , C23C16/448 , C23C16/52 , C23C16/458
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/16 , C23C16/4481 , C23C16/4583 , C23C16/52
Abstract: 레이저화학기상증착법을사용한코발트막형성방법을제공한다. 본발명에따른코발트막형성방법은기판상에 Co(CO)가스및 캐리어가스를공급하는단계및 기판상에공급된 Co(CO)가스에레이저빔을가하여상기 Co(CO)가스의열분해및/또는광분해통해기판상에코발트막을증착하는단계를포함할수 있다. 본발명에따르면, 특정증착조건에서의레이저화학기상증착공정을통하여우수한전기전도도와순도를가지는 Co(코발트) 박막을증착할수 있다. 또한, 직접적인묘사(writing)가가능한레이저화학기상증착법을통하여보다간단한선택적패턴형성이가능하도록한다. 나아가, 고해상도디스플레이패널에적용이가능한좁은선 폭과낮은비저항을갖는디스플레이패널의수리공정을제공할수 있다.
-
公开(公告)号:KR101951545B1
公开(公告)日:2019-02-22
申请号:KR1020170044716
申请日:2017-04-06
Applicant: 한양대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
-
-
-
-