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公开(公告)号:KR101738939B1
公开(公告)日:2017-05-23
申请号:KR1020160041760
申请日:2016-04-05
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01L31/10 , H01L31/0392 , H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L21/306 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은감광성반도체소자및 그제조방법에관한것으로, InP 기판(110)의상부에형성한 InGaAs 식각멈춤층(120), InP 전극층(130), InGaAs 활성층(140), InP 덮개층(150)을포함하고, 상기 InP 덮개층(150)에형성한활성화영역(160) 및가드링영역(170,170a)과, 상기 InP 덮개층(150)의상부에형성한표면보호막(180) 및상부전극층(190)을포함한다. 본발명은기존의감광성반도체소자보다개선된크로스토크특성을가지며, 습식식각을통한단일확산공정을통해간단한공정으로가드링영역을제작할수 있는이점이있다.
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公开(公告)号:KR101589568B1
公开(公告)日:2016-01-28
申请号:KR1020140112394
申请日:2014-08-27
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명의센서방식풍동시험모델세팅시스템은풍동실험공간부위로설치된풍동시험모델(100)의자세각(받음각, 요각, 롤각)데이터검출을위한송수신신호가발생되는비접촉식거리측정센서(20), 비접촉식거리측정센서(20)의자세각데이터로부터풍동시험모델(100)의거리정보를추출하는신호처리모듈(30), 풍동시험모델(100)의자세각분석으로자세각정확도를높이기위한보정데이터가제공되는거리정보분석모듈(40)이포함됨으로써비접촉식거리측정센서(20)로회전중심축을중심으로측정되어야하는풍동시험모델(100)의정확한자세각이정확하게세팅되고, 정확한자세각세팅으로풍동실험시 실제비행조건과유사한시험조건을모사함으로써공력에의해변형되는날개의공력데이터가정확하게획득되는특징을갖는다.
Abstract translation: 本发明涉及一种传感器式风洞试验模型设定系统。 传感器型风洞试验模型设定系统包括:无接触距离测量传感器(20),产生发送和接收信号,以检测风洞的姿态角度(攻角,再入角度和侧倾角度) 测试模型(100)安装在风洞测试空间中; 信号处理模块(30)从所述非接触式距离测量传感器(20)的姿态角度的数据中提取所述风洞测试模型(100)的距离信息; 以及距离信息分析模块(40),其通过分析风洞试验模型(100)的姿势角度来提供校正数据,以提高姿态角度的精度。 准确设定由非接触式距离测量传感器(20)基于旋转中心轴测量的风洞试验模型(100)的姿态角度。 由于通过设置准确的姿态角度,在与实际飞行状态相似的测试条件下进行风洞试验,所以可以准确地获得由于空气动力学而变形的翼的空气动力学数据。
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公开(公告)号:KR101774247B1
公开(公告)日:2017-09-04
申请号:KR1020150133356
申请日:2015-09-21
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명에의하면, 중심부로부터서로다른방향으로연장되게형성되고, 각각이구조물의일면상에지지되어이동가능하게구성되는제1 내지제3 지지봉을구비하는 Y자형상의프레임; 및상기제1 내지제3 지지봉중 적어도하나의지지봉에장착되는몸체부와, 상기몸체부에회전가능하게결합되는헤드부를구비하는그라인더를포함하며, 상기헤드부는상기프레임의배면보다돌출되게배치되어, 상기 Y자형상의프레임이상기구조물의일면상에지지시상기구조물의일면과마주하도록배치되는것을특징으로하는이동식평면가공기가제공된다.
Abstract translation: 根据本发明,它被形成为从在不同方向上的中央部分延伸,每一个上具有第一至第三支承杆的Y形框架被构造为可移动的支承在该结构的一侧上; 和第一至第三至少一个主体部安装在支撑条上,并包括具有可旋转地联接到所述主体部分的头部的研磨机,所述头部设置成突出比所述支承杆件的框架的后表面更 并且在Y形框架波导结构的一侧支撑时,被布置为面对该结构的一个表面。
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公开(公告)号:KR101736941B1
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:KR1020150133357
申请日:2015-09-21
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01B5/20 , G01B5/012 , G01B5/00 , G01B11/24 , G01B21/20 , G01S17/88 , G01S17/08 , G01S19/14 , G01M9/06
Abstract: 본원발명은변형가능하게형성되는노즐플레이트상에접하도록배치된장착블록에구비된과대굽힘보호장치에설치되는조립바디; 및상기노즐플레이트와마주하도록상기조립바디에장착되어, 상기노즐플레이트의변위를측정하는위치센서;를포함하는곡률측정장치를개시한다. 본원발명에의하면, 노즐의모든측정위치에서노즐플레이트의형상및 곡률을측정하는것이가능해진다.
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公开(公告)号:KR101687715B1
公开(公告)日:2016-12-19
申请号:KR1020150133354
申请日:2015-09-21
Applicant: 국방과학연구소
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01S17/08 , G01S17/88 , G01M9/06
Abstract: 본원발명은일 방향으로연장되게형성되어, 곡률을측정하고자하는측정면의제1 측정방향상에배치가능하게구성되는제1 프레임; 상기제1 프레임의양단에각각구비되고, 상기측정면에접하면서상기제1 프레임을지지하도록상기측정면방향으로돌출되게형성된제1 및제2 지지유닛; 상기제1 프레임에장착되고, 상기제1 및제2 지지유닛의사이에구비되어, 상기제1 프레임으로부터상기측정면까지의거리를측정하는제1 거리센서; 상기제1 거리센서가구비된위치에서상기제1 프레임과교차하고, 상기제1 프레임으로부터양 방향으로연장되도록형성된제2 프레임; 및상기제2 프레임의양단에각각구비되고, 상기제2 프레임으로부터상기측정면까지의거리를측정하는제2 및제3 거리센서를포함하는 2축곡률측정장치를제공한다.
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公开(公告)号:KR101570066B1
公开(公告)日:2015-11-19
申请号:KR1020140049543
申请日:2014-04-24
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은노즐잭 분해및 조립장치에관한것으로, 일정간격으로이격된채 수직으로형성된한 쌍의수직봉과, 상기수직봉들을연결하도록수평으로형성된수평봉을포함하는바디와, 상기한 쌍의수직봉에걸쳐지며횡으로형성되는샤프트와, 상기샤프트에결합되는베이스플레이트와, 상기베이스플레이트의양측에구비되어상기베이스플레이트를좌우로이동시키는좌우조절부와, 상기베이스플레이트의하부에고정결합되어상기베이스플레이트를전후로이동시키는전후조절부와, 상기베이스플레이트상에장착되고, 노즐잭과결합하는장착지그및 상기베이스플레이트에형성되어상기장착지그를경사진방향으로이동시키는경사조절부를포함하는노즐잭 분해및 조립장치가제공될수 있다.
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公开(公告)号:KR101777604B1
公开(公告)日:2017-09-13
申请号:KR1020150179595
申请日:2015-12-15
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본원발명은제1 프레임; 상기제1 프레임의일단부에, 일축을중심으로회전가능하게연결되는제2 프레임; 측정면의제1 부분상에서상기제1 프레임을지지하도록, 상기제1 프레임의하부에서적어도일부가돌출되도록형성되는스탠드들이상기일축과교차하는방향을따라서로이격되게적어도 2 개이상형성되어서구비되는제1 지지부; 상기측정면의제2 부분상에서상기제2 프레임을지지하도록, 상기제2 프레임의하부에서적어도일부가돌출되도록형성되는스탠드들이상기일축과교차하는방향을따라서로이격되게적어도 2 개이상형성되어서구비되는제2 지지부; 및상기측정면의평면도를측정하기위하여, 상기제1 프레임에대한상기제2 프레임의회전각을감지하는회전각측정센서를포함하는접촉식평면도측정장치를제공한다. 본원발명에의하면, 측정면에직접접촉하는방식의구성을가짐으로써간단한구조를가지고, 견고하며, 저렴한비용으로생산이가능한접촉식평면도측정장치를제공할수 있다.
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公开(公告)号:KR1020170071361A
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:KR1020150179595
申请日:2015-12-15
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본원발명은제1 프레임; 상기제1 프레임의일단부에, 일축을중심으로회전가능하게연결되는제2 프레임; 측정면의제1 부분상에서상기제1 프레임을지지하도록, 상기제1 프레임의하부에서적어도일부가돌출되도록형성되는스탠드들이상기일축과교차하는방향을따라서로이격되게적어도 2 개이상형성되어서구비되는제1 지지부; 상기측정면의제2 부분상에서상기제2 프레임을지지하도록, 상기제2 프레임의하부에서적어도일부가돌출되도록형성되는스탠드들이상기일축과교차하는방향을따라서로이격되게적어도 2 개이상형성되어서구비되는제2 지지부; 및상기측정면의평면도를측정하기위하여, 상기제1 프레임에대한상기제2 프레임의회전각을감지하는회전각측정센서를포함하는접촉식평면도측정장치를제공한다. 본원발명에의하면, 측정면에직접접촉하는방식의구성을가짐으로써간단한구조를가지고, 견고하며, 저렴한비용으로생산이가능한접촉식평면도측정장치를제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及第一框架; 第二框架围绕第一轴线可旋转地连接到第一框架的一端; 为了支持该第一框架上的测量表面的第一部分,即至少形成为使得被提供从所述第一框架的底部突出的部分间隔开的至少两个被形成在沿一个方向交叉的无约束的支架 第一支撑部分; 以支撑第二框架在测量表面的第二部分,所述第一具有其在所述第二框架的下部分形成的支架,使得至少一部分突出以间隔开,以形成在至少两个沿一方向交叉的无侧限 的第二支撑部分; 以及旋转角度测量传感器,用于感测相对于第一帧的第二帧同余角以测量测量平面的平面度。 根据本发明,它具有由具有与所述测量表面,健壮的直接接触的构造的简单的结构,并且可以提供能够产生低成本的接触式测量装置的俯视图。
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公开(公告)号:KR101722394B1
公开(公告)日:2017-04-03
申请号:KR1020150126371
申请日:2015-09-07
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본발명은매트릭스스위치모듈을이용하여일일이단자를접속/해제하는과정없이자동으로점검할수 있는풍동시험용내장형밸런스점검장치에관한것이다. 본발명에따른풍동시험용내장형밸런스점검장치는, 풍동의내부에설치된비행체모형에장착되어상기비행체모형의공력계수를측정하는내장형밸런스를점검하기위해상기내장형밸런스에연결되는풍동시험용내장형밸런스점검장치에있어서, 정전압을공급하는전원부(21)와, 직류전압과저항을선택적으로측정하는멀티미터(22)와, 상기전원부(21), 상기멀티미터(22), 상기내장형밸런스(10)의각 단자와연결되고, 상기전원부(21)와상기멀티미터(22)와상기내장형밸런스(10)의단자와선택적으로접속되는매트릭스스위치모듈(23)과, 상기전원부(21)와상기멀티미터(22)의작동을제어하고상기전원부(21)와상기멀티미터(22)와상기내장형밸런스(10)의각 단자를선택적으로접속되도록상기매트릭스스위치모듈(23)의접속상태를제어하는계측부(31)를포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种自检查以风洞试验的集成的平衡检查装置,在不连接/手动释放所述终端使用矩阵开关模块的过程。 风洞试验的综合平衡了根据本发明检查装置,在安装在风洞风洞试验的内部的车辆模型耦合到所述集成平衡综合平衡,以检查内置的平衡用于测量车辆模型检查装置的空气动力系数 用于选择性地测量直流电压和电阻的万用表22以及用于向电源21,万用表22和万用表22提供恒定电压的电源21。 矩阵开关模块23连接到电源单元21和万用表22并选择性地连接到内置天平10的端子; 控制操作,并且包括用于控制动力源21和流量计22和集成平衡10 uigak终端到矩阵开关模块23的连接状态,以选择性地连接到一个测量单元31 和被表征。
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公开(公告)号:KR1020170127938A
公开(公告)日:2017-11-22
申请号:KR1020160058853
申请日:2016-05-13
Applicant: 국방과학연구소
IPC: H01L31/10 , H01L31/105 , H01L31/18 , H01L31/0392 , H01L31/0288
Abstract: 본원발명에따르면, 기판(substrate)에적층된활성층및 광흡수층을식각하기위해식각마스크층을형성시키는단계; 서로이격형성된복수의활성영역이생성되도록, 상기활성층및 광흡수층을식각하는단계; 열처리공정을거치는단계; 표면보호막을적층시키는단계; 상기표면보호막을식각하기위해식각마스크층을형성시키는단계; 상기표면보호막을식각하는단계; 및식각된상기표면보호막의사이에전극을형성시키는단계로이루어지는메사형 InGaAs/InP 포토다이오드의제조방법이제공될수 있다. 본원발명에따르면, 간단한제조공정을통하여낮은암전류특성을가지는메사형 InGaAs/InP 포토다이오드를제조할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明,提供了一种制造半导体器件的方法,包括:形成刻蚀掩模层,以刻蚀堆叠在衬底上的有源层和光吸收层; 蚀刻活性层和光吸收层,使得产生彼此间隔开的多个活性区域; 受热处理过程的影响; 层压表面保护膜; 形成蚀刻掩模层以蚀刻表面保护层; 蚀刻表面保护膜; 并且在蚀刻的表面保护膜和台面型InGaAs / InP光电二极管之间形成电极。 根据本发明,可以通过简单的制造工艺来制造具有低暗电流特性的台面型InGaAs / InP光电二极管。
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