公开(公告)号：KR101712892B1

公开(公告)日：2017-03-07

申请号：KR1020150165786

申请日：2015-11-25

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 박세훈 ,  윤의준 ,  박용조 ,  김치연

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/109 ,  H01L31/0264 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0392

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명의적외선감지소자는, N 타입반도체; 상기 N 타입반도체위에적층되어상기 N 타입반도체와 PN 접합구조를형성하는 P 타입반도체; 상기 PN 접합구조위에형성되는자연산화막; 및 16족원소와 12족원소의이성분계물질로형성되고, 상기자연산화막위에증착되는표면보호막을포함한다. 본발명의적외선감지소자의제조방법은, (a) N 타입반도체위에 P 타입반도체를성장시켜 PN 접합구조를형성하는단계; (b) 상기 PN 접합구조의표면에형성된자연산화막을식각에의해제거하는단계; 및 (c) 상기자연산화막의제거후 다시형성된자연산화막위에, 16족원소와 12족원소의이성분계물질로형성되는표면보호막을증착하는단계를포함한다.