中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

12 records (took 0.021 seconds)

    적외선 센서의 신호 검출 회로 및 그 보정방법
    1.
    发明申请
    적외선 센서의 신호 검출 회로 및 그 보정방법 审中-公开
    红外传感器的信号检测电路及其校正方法

    公开(公告)号：WO2013069916A1

    公开(公告)日：2013-05-16

    申请号：PCT/KR2012/008979

    申请日：2012-10-30

    Applicant: 국방과학연구소

    Inventor： 김치연 ,  이강일 ,  김선호 ,  최현진 ,  김남환 ,  강상구

    IPC: G01J5/20 ,  G01J5/02

    CPC classification number: G01J5/24 ,  G01J1/46 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/202 ,  H04N5/3651

    Abstract: 본 발명은 적외선 센서의 신호 검출 회로 및 그 회로의 보정방법에 관한 것으로, 본 적외선 센서의 신호 검출 회로는 적외선을 감지하여 신호 전류를 출력하는 볼로미터들이 N×M 형태로 배열된 셀 어레이; 복수 개의 바이어스 레벨에 대응되는 복수 개의 바이어스 전압을 출력하는 레벨 생성기; 상기 셀 어레이의 칼럼(Column) 방향에 위치하여 상기 각 볼로미터들에 각기 다른 바이어스 전압을 공급하는 N개의 저항 불균일 보정회로; 상기 셀 어레이의 로(Row) 방향에 위치하여 상기 각 볼로미터들에 각기 다른 바이어스 전압을 공급하는 M개의 저항 불균일 보정회로; 상기 셀 어레이의 저항 불균일도가 보정되도록 상기 각 저항 불균일 보정회로의 바이어스 전압 레벨을 설정하는 제어부; 및 상기 셀 어레이에서 출력된 상기 신호 전류를 적분하는 N개의 적분기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

    Abstract translation: 红外线传感器的信号检测电路及其修正方法技术领域本发明涉及红外线传感器的信号检测电路及其校正方法，其特征在于，所述红外线传感器的信号检测电路包括：单元阵列，其中感测红外线和输出信号电流的测辐射热管以N× M格式; 电平发生器，其输出对应于多个偏置电平的多个偏置电压; 位于单元阵列的列方向上的N个电阻器非均匀性校正电路，并向每个测辐射热计提供不同的偏置电压; M电阻非均匀性校正电路，其位于电池阵列的行方向，并向每个测辐射热计提供不同的偏置电压; 控制单元，其设置每个电阻器不均匀性校正电路的偏置电压电平，以校正电阻器阵列的不均匀性; 以及集成了从单元阵列输出的信号电流的N个积分器。

    적외선 센서 후면 연마 및 이를 위한 연마 방법
    2.
    发明公开
    적외선 센서 후면 연마 및 이를 위한 연마 방법 有权
    红外线传感器后表面抛光方法

    公开(公告)号：KR1020140033849A

    公开(公告)日：2014-03-19

    申请号：KR1020120100262

    申请日：2012-09-11

    Applicant: 국방과학연구소

    Inventor： 김치연 ,  차경환

    IPC: B24B19/00 ,  B24B41/06

    CPC classification number: B24B7/10 ,  B24B41/06

    Abstract: In an infrared ray sensor rear surface polishing and a polishing method for the same, a wire bonding pad (3) having a read-out integrated circuit (2) is combined with a detection array element (1). When one surface of the detection array element (1) is polished at a thickness where quantum efficiency (QE) is optimized, polishing is performed in a state where the four sides of the detection array element (1) and the read-out integrated circuit (2) are surrounded by a dummy wafer (20). During rear surface polishing, materials polished in the detection array element (1) are induced to discharge to the dummy wafer placed around the detection array element (1) in order to prevent the occurrence of a ball type defect. In addition, the damage to the wire bonding pad (3) of the read-out integrated circuit (2) due to an injected chemical substance can be prevented by using the dummy wafer (20). [Reference numerals] (AA) Start; (S10) Polishing preparing process; (S100) polishing setting process; (S110) Prepare a polishing jig; (S120) Fixate an infrared ray sensor polishing module to the polishing jig; (S130) Is the fixating state good?; (S21) Detection array element; (S22) Signal obtaining circuit; (S23) Glass disc; (S24) Dummy wafer; (S30) Combine an infrared ray sensor; (S40) Attach the glass disc and inject wax; (S50) Attach the signal obtaining circuit dummy wafer; (S51) Does it agree with the thickness of the signal obtaining circuit?; (S60) Attach the detection array element dummy wafer; (S61) Is it a horizontal state with the detection array element?; (S62) Is a wire bonding pad covered with the detection array element dummy wafer?; (S70) Complete the infrared ray sensor polishing module

    Abstract translation: 在红外线传感器后表面抛光及其抛光方法中，具有读出集成电路（2）的引线接合焊盘（3）与检测阵列元件（1）组合。 当以量子效率（QE）最优化的厚度抛光检测阵列元件（1）的一个表面时，在检测阵列元件（1）和读出的集成电路 （2）被虚设晶片（20）包围。 在后表面抛光中，在检测阵列元件（1）中抛光的材料被感应放电到放置在检测阵列元件（1）周围的虚设晶片，以防止发生球型缺陷。 此外，通过使用伪晶片（20），可以防止由于注入的化学物质导致的读出集成电路（2）的引线键合焊盘（3）的损坏。 （附图标记）（AA）开始; （S10）抛光准备工艺; （S100）抛光设定处理; （S110）准备抛光夹具; （S120）将红外线传感器研磨模块固定在研磨夹具上; （S130）固定状态好吗？ （S21）检测阵列元件; （S22）信号获取电路; （S23）玻璃盘; （S24）虚拟晶圆; （S30）组合红外线传感器; （S40）安装玻璃盘并注入蜡; （S50）安装信号获取电路虚拟晶片; （S51）是否符合信号获取电路的厚度？ （S60）安装检测阵列元件虚设晶片; （S61）检测数组元素是水平状态吗？ （S62）是用检测用阵列元件虚设晶片β覆盖的引线接合焊盘。 （S70）完成红外线传感器抛光模块

    적외선 센서의 신호 검출 회로 및 그 보정방법
    3.
    发明授权
    적외선 센서의 신호 검출 회로 및 그 보정방법 有权
    读出红外检测传感器的集成电路及其校正方法

    公开(公告)号：KR101158259B1

    公开(公告)日：2012-06-19

    申请号：KR1020110115234

    申请日：2011-11-07

    Applicant: 국방과학연구소

    Inventor： 김치연 ,  이강일 ,  김선호 ,  최현진 ,  김남환 ,  강상구

    IPC: G01J5/20 ,  G01J5/02

    CPC classification number: G01J5/24 ,  G01J1/46 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/202 ,  H04N5/3651

    Abstract: PURPOSE: A signal detecting circuit of an infrared ray sensor and a collecting method thereof are provided to minimize a non-uniformity among pixels, to maximize a circuit dynamic range of a temperature of a micro-bolometer FPA(Focal Plane Array), and to obtain detecting characteristics by improving an amplification factor. CONSTITUTION: A signal detecting circuit of an infrared ray sensor comprises a cell array(120), a level generator(140), a resistance non-uniformity correction circuits(150) of N, a resistance non-uniformity correction circuits(125) of M, a controller(115), and an integrator. Bolometer outputting a signal current by detecting infrared rays is arranged in the cell array. The level generator outputs a plurality of bias voltages corresponding to a plurality of bias levels. The resistance non-uniformity correction circuits of N are arranged in a column direction of the cell array, thereby supplying the bias voltages different to each other to the each bolometer. The resistance non-uniformity correction circuits of M are arranged in a row direction of the cell array, thereby supplying the bias voltages different to each other to the each bolometer. The controller sets bias voltage levels of the each resistance non-uniformity correction circuits so that the resistance non-uniformity of the cell array is corrected. The integrator integrates the signal current outputted from the cell array.

    Abstract translation: 目的：提供红外线传感器的信号检测电路及其采集方法，以最小化像素之间的不均匀性，以使微测辐射热计FPA（焦平面阵列）的温度的电路动态范围最大化，以及 通过改善放大系数获得检测特性。 构成：红外线传感器的信号检测电路包括电池阵列（120），电平发生器（140），N的电阻不均匀性校正电路（150），电阻不均匀性校正电路（125）， M，控制器（115）和积分器。 通过检测红外线来输出信号电流的测热仪被布置在电池阵列中。 电平发生器输出对应于多个偏置电平的多个偏置电压。 N的电阻不均匀性校正电路被布置在单元阵列的列方向上，从而向每个测辐射热量计提供彼此不同的偏压。 M的电阻不均匀性校正电路被布置在单元阵列的行方向上，从而将各偏压电压彼此不同地提供给每个测辐射热计。 控制器设置每个电阻非均匀性校正电路的偏置电压电平，使得校正电池阵列的电阻不均匀性。 积分器对从单元阵列输出的信号电流进行积分。

    적외선 감지 소자 및 적외선 감지 소자의 제조방법
    6.
    发明授权
    적외선 감지 소자 및 적외선 감지 소자의 제조방법 有权
    光电及其制造方法

    公开(公告)号：KR101712892B1

    公开(公告)日：2017-03-07

    申请号：KR1020150165786

    申请日：2015-11-25

    Applicant: 국방과학연구소

    Inventor： 박세훈 ,  윤의준 ,  박용조 ,  김치연

    IPC: H01L31/09 ,  H01L31/109 ,  H01L31/0264 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0392

    CPC classification number: Y02E10/50

    Abstract: 본발명의적외선감지소자는, N 타입반도체; 상기 N 타입반도체위에적층되어상기 N 타입반도체와 PN 접합구조를형성하는 P 타입반도체; 상기 PN 접합구조위에형성되는자연산화막; 및 16족원소와 12족원소의이성분계물질로형성되고, 상기자연산화막위에증착되는표면보호막을포함한다. 본발명의적외선감지소자의제조방법은, (a) N 타입반도체위에 P 타입반도체를성장시켜 PN 접합구조를형성하는단계; (b) 상기 PN 접합구조의표면에형성된자연산화막을식각에의해제거하는단계; 및 (c) 상기자연산화막의제거후 다시형성된자연산화막위에, 16족원소와 12족원소의이성분계물질로형성되는표면보호막을증착하는단계를포함한다.

    인듐안티모나이드의 플라즈마 다중 식각 방법 및 이에 의한 인듐안티모나이드 기판
    7.
    发明公开
    인듐안티모나이드의 플라즈마 다중 식각 방법 및 이에 의한 인듐안티모나이드 기판 有权
    INSB的多步骤蚀刻方法和INSB基板

    公开(公告)号：KR1020150104779A

    公开(公告)日：2015-09-16

    申请号：KR1020140026516

    申请日：2014-03-06

    Applicant: 국방과학연구소

    Inventor： 석철균 ,  윤의준 ,  김치연

    IPC: H01L21/3065

    CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01L21/76825

    Abstract: 본 발명의 인듐안티모나이드(InSb)의 건식 식각 방법은 아르곤 가스와 질소 가스를 식각 가스로 사용하고, 상기 식각 가스를 플라즈마화하여 플라즈마 중의 이온 및 라디칼에 의해 식각하는 단계, 아르곤 가스를 사용하여 고속 식각 후, 아르곤과 질소 혼합 가스에 의해 추가 식각, 질소 가스를 사용하는 최종 식각 공정을 단계적으로 진행하는 것을 포함한다. 이로부터, 빠른 식각 속도와 함께 편평한 표면 거칠기와 낮은 결함발생을 나타내는 우수한 식각 특성을 갖는 인듐안티모나이드가 제공됨으로써, 중적외선 검출소자(Infrared photodetector) 및 초고속,저전력을 요구하는 반도체 소자(High speed & Low power consumption device) 등에 유용하게 사용되는 특징을 갖는다.

    Abstract translation: 本发明的InSb的干蚀刻方法包括以下步骤：使用氩气和氮气作为蚀刻气体，并将蚀刻气体转化成等离子体，以在等离子体中由离子和自由基进行蚀刻; 并且在使用氩气的快速蚀刻之后，通过氩气和氮气的混合物和使用氮气的最终蚀刻工艺逐渐进行附加的蚀刻工艺。 因此，提供了具有优异的蚀刻性能以显示平坦表面粗糙度和低故障发生的InSb以及快速蚀刻速度，其有效地用于半导体器件中以需要中红外光电检测器和高速度和低功率 ，等等。

    공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서 및 그의 제작 방법
    8.
    发明授权
    공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서 및 그의 제작 방법 有权
    改进电阻式运行变化的红外红外传感器及其制造方法

    公开(公告)号：KR101274026B1

    公开(公告)日：2013-06-12

    申请号：KR1020120139458

    申请日：2012-12-04

    Applicant: 국방과학연구소

    Inventor： 이강일 ,  김치연 ,  김선호 ,  김남환 ,  박용수

    IPC: G01J5/20

    CPC classification number: G01J5/26 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0853 ,  H01L27/142

    Abstract: PURPOSE: A bolometer infrared sensor with improved uniformity of resistance between processes and a manufacturing method thereof are provided to avoid a change in the performance of a bolometer generated when the specific resistances of the infrared sensors are not identical by a deviation between sensors. CONSTITUTION: A bolometer infrared sensor with improved resistance uniformity between processes comprises a silicon substrate(510), a reflective plate(520), a metal support column(530), a first support layer(550), an absorbing layer(551), a temperature-sensitive resistor(540), a connection leg(542), and a second support layer(560). The silicon substrate includes a signal acquisition circuit. The reflective plate is formed on the silicon substrate and reflects infrared rays. The metal support column is formed on the reflective plate. The first support layer is connected to the metal support column and provides a structure thermally isolated. The absorbing layer is formed on the first support layer, thereby improving an absorption rate of the infrared rays becoming incident. The temperature-sensitive resistor is formed on the absorbing layer, and the resistance thereof is changed when temperature is changed by the infrared rays absorbed by the absorbing layer.

    Abstract translation: 目的：提供了具有改进的工艺电阻均匀性的辐射热量计红外传感器及其制造方法，以避免当红外传感器的比电阻不同于传感器之间的偏差时产生的测辐射热表的性能变化。 构造：具有改进的工艺电阻均匀性的测辐射热计红外传感器包括硅衬底（510），反射板（520），金属支撑柱（530），第一支撑层（550），吸收层（551） 温度敏感电阻器（540），连接支脚（542）和第二支撑层（560）。 硅衬底包括信号采集电路。 反射板形成在硅基板上并反射红外线。 金属支撑柱形成在反射板上。 第一支撑层连接到金属支撑柱并提供热隔离的结构。 吸收层形成在第一支撑层上，从而提高红外线入射的吸收率。 感温电阻器形成在吸收层上，并且当由吸收层吸收的红外线改变温度时，其电阻改变。

Patent Agency Ranking